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基于叠片式柔性铰链和压电陶瓷电动机的大行程直线驱动导轨设计
被引量:
3
1
作者
石旭东
李健丽
王立文
《制造技术与机床》
CSCD
北大核心
2007年第2期104-106,共3页
提出了一种叠片式柔性铰链导轨工作台,可以在保持柔性铰链微位移工作台高直线度的前提下,大幅度提高行程,同时还保持了柔性铰链微位移工作台无机械爬行现象的优点。采用压电陶瓷电动机作为叠片式柔性铰链工作台的驱动器,压电陶瓷电动机...
提出了一种叠片式柔性铰链导轨工作台,可以在保持柔性铰链微位移工作台高直线度的前提下,大幅度提高行程,同时还保持了柔性铰链微位移工作台无机械爬行现象的优点。采用压电陶瓷电动机作为叠片式柔性铰链工作台的驱动器,压电陶瓷电动机应用超声波驻波或行波驱动,具有定位精度高、行程大、频响高等优点,驱动分辨率可达20nm以下。
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关键词
柔性铰链
压电陶瓷电动机
超声波
电动机
有限元
机械爬行
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职称材料
微细电火花三维成型加工控制系统的研究
被引量:
1
2
作者
林海波
杨国哲
《制造技术与机床》
CSCD
北大核心
2009年第11期13-15,共3页
构造了一个可实现纳米级微量进给的运动平台,并对该平台的控制技术进行了研究,提出了数字PID结合双向静差补偿策略。该补偿策略作为微细电火花加工控制系统的组成部分,大大提高了运动平台的运动精度。实验结果证明此系统运行良好,具有...
构造了一个可实现纳米级微量进给的运动平台,并对该平台的控制技术进行了研究,提出了数字PID结合双向静差补偿策略。该补偿策略作为微细电火花加工控制系统的组成部分,大大提高了运动平台的运动精度。实验结果证明此系统运行良好,具有响应时间快、平稳超低速和超高分辨率的优点,达到了微细电火花加工的要求。
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关键词
压电陶瓷电动机
超精密平台
双向静差补偿
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职称材料
高精度三维微结构微细电火花加工系统研究
3
作者
林海波
杨国哲
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第3期526-528,532,共4页
针对微细电火花加工技术的特点,开发、研制了高精度三维微结构加工的细电火花设备,主要介绍了该装置的结构和数字比例、积分和微分(PID)结合双向静差补偿的控制方法,实现放电间隙与放电状态的自适应调节,并利用该装置进行了平台性能的...
针对微细电火花加工技术的特点,开发、研制了高精度三维微结构加工的细电火花设备,主要介绍了该装置的结构和数字比例、积分和微分(PID)结合双向静差补偿的控制方法,实现放电间隙与放电状态的自适应调节,并利用该装置进行了平台性能的试验研究,试验结果表明该加工技术响应时间快、平稳、超低速和超高分辨率、加工效率较高,可实现平台在100 mm行程内达到亚微米级精度,最低速度为0.1μm/s,闭环最小步进量为100nm,可满足微细电火花加工的要求。
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关键词
微细电火花加工
超精密
压电陶瓷电动机
自适应调节
双向静差补偿
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职称材料
负载对超精密平台性能影响的研究
4
作者
林海波
杨国哲
《制造技术与机床》
CSCD
北大核心
2010年第3期35-37,共3页
对平台整体进行设计,选择压电陶瓷低速电动机为驱动元件,Renishaw敞开式增量光栅作为位置反馈元件,并对平台在空载和负载情况下的性能进行实验和分析,显示负载情况对平台在前进、后退,转向时都有一定的影响,并提出对策,为研究微动工作...
对平台整体进行设计,选择压电陶瓷低速电动机为驱动元件,Renishaw敞开式增量光栅作为位置反馈元件,并对平台在空载和负载情况下的性能进行实验和分析,显示负载情况对平台在前进、后退,转向时都有一定的影响,并提出对策,为研究微动工作台提供了参考,证实了平台设计的可行性。
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关键词
负载
平台性能
超精密平台
压电陶瓷电动机
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职称材料
题名
基于叠片式柔性铰链和压电陶瓷电动机的大行程直线驱动导轨设计
被引量:
3
1
作者
石旭东
李健丽
王立文
机构
中国民航大学
出处
《制造技术与机床》
CSCD
北大核心
2007年第2期104-106,共3页
文摘
提出了一种叠片式柔性铰链导轨工作台,可以在保持柔性铰链微位移工作台高直线度的前提下,大幅度提高行程,同时还保持了柔性铰链微位移工作台无机械爬行现象的优点。采用压电陶瓷电动机作为叠片式柔性铰链工作台的驱动器,压电陶瓷电动机应用超声波驻波或行波驱动,具有定位精度高、行程大、频响高等优点,驱动分辨率可达20nm以下。
关键词
柔性铰链
压电陶瓷电动机
超声波
电动机
有限元
机械爬行
Keywords
Laminated Flexure Hinge
PZT Ultrasonic Motor
Finite Element Method
Mechanical Creep
分类号
TM359.4 [电气工程—电机]
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职称材料
题名
微细电火花三维成型加工控制系统的研究
被引量:
1
2
作者
林海波
杨国哲
机构
台州职业技术学院机电工程学院
沈阳工业大学机械工程学院
出处
《制造技术与机床》
CSCD
北大核心
2009年第11期13-15,共3页
基金
浙江省教育厅科研项目(Y200803309)
辽宁省教育厅自然科学基金资助项目(20060633)
文摘
构造了一个可实现纳米级微量进给的运动平台,并对该平台的控制技术进行了研究,提出了数字PID结合双向静差补偿策略。该补偿策略作为微细电火花加工控制系统的组成部分,大大提高了运动平台的运动精度。实验结果证明此系统运行良好,具有响应时间快、平稳超低速和超高分辨率的优点,达到了微细电火花加工的要求。
关键词
压电陶瓷电动机
超精密平台
双向静差补偿
Keywords
Piezoelectric Ceramic Motor
Ultra-precision Table
Bi-direcitonal Static Compensations
分类号
TG661 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
TP273 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
高精度三维微结构微细电火花加工系统研究
3
作者
林海波
杨国哲
机构
台州职业技术学院机电工程学院
沈阳工业大学机械工程学院
出处
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第3期526-528,532,共4页
基金
浙江省自然科学基金资助项目(LY14E050001)
2013年度浙江省高职高专院校专业带头人专业领军基金资助项目(lj2013140)
文摘
针对微细电火花加工技术的特点,开发、研制了高精度三维微结构加工的细电火花设备,主要介绍了该装置的结构和数字比例、积分和微分(PID)结合双向静差补偿的控制方法,实现放电间隙与放电状态的自适应调节,并利用该装置进行了平台性能的试验研究,试验结果表明该加工技术响应时间快、平稳、超低速和超高分辨率、加工效率较高,可实现平台在100 mm行程内达到亚微米级精度,最低速度为0.1μm/s,闭环最小步进量为100nm,可满足微细电火花加工的要求。
关键词
微细电火花加工
超精密
压电陶瓷电动机
自适应调节
双向静差补偿
Keywords
micro EDM
Ultra-precision
Piezoelectric Ceramic Motor
self-tuning regulator
bi-direcitonal staticcompensations
分类号
TG662 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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职称材料
题名
负载对超精密平台性能影响的研究
4
作者
林海波
杨国哲
机构
台州职业技术学院机电工程学院
沈阳工业大学机械工程学院
出处
《制造技术与机床》
CSCD
北大核心
2010年第3期35-37,共3页
基金
浙江省教育厅科研项目(Y200806038)
辽宁省教育厅自然科学基金资助项目(20060633)
台州职业技术学院校级课题(2010ZD05)
文摘
对平台整体进行设计,选择压电陶瓷低速电动机为驱动元件,Renishaw敞开式增量光栅作为位置反馈元件,并对平台在空载和负载情况下的性能进行实验和分析,显示负载情况对平台在前进、后退,转向时都有一定的影响,并提出对策,为研究微动工作台提供了参考,证实了平台设计的可行性。
关键词
负载
平台性能
超精密平台
压电陶瓷电动机
Keywords
Load
Stage Performance
Ultra-precision Stage
Piezoelectric Motor
分类号
TP311 [自动化与计算机技术—计算机软件与理论]
O643.36 [理学—物理化学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于叠片式柔性铰链和压电陶瓷电动机的大行程直线驱动导轨设计
石旭东
李健丽
王立文
《制造技术与机床》
CSCD
北大核心
2007
3
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
微细电火花三维成型加工控制系统的研究
林海波
杨国哲
《制造技术与机床》
CSCD
北大核心
2009
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
高精度三维微结构微细电火花加工系统研究
林海波
杨国哲
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2015
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
4
负载对超精密平台性能影响的研究
林海波
杨国哲
《制造技术与机床》
CSCD
北大核心
2010
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
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参考文献
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