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基于叠片式柔性铰链和压电陶瓷电动机的大行程直线驱动导轨设计 被引量:3
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作者 石旭东 李健丽 王立文 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2007年第2期104-106,共3页
提出了一种叠片式柔性铰链导轨工作台,可以在保持柔性铰链微位移工作台高直线度的前提下,大幅度提高行程,同时还保持了柔性铰链微位移工作台无机械爬行现象的优点。采用压电陶瓷电动机作为叠片式柔性铰链工作台的驱动器,压电陶瓷电动机... 提出了一种叠片式柔性铰链导轨工作台,可以在保持柔性铰链微位移工作台高直线度的前提下,大幅度提高行程,同时还保持了柔性铰链微位移工作台无机械爬行现象的优点。采用压电陶瓷电动机作为叠片式柔性铰链工作台的驱动器,压电陶瓷电动机应用超声波驻波或行波驱动,具有定位精度高、行程大、频响高等优点,驱动分辨率可达20nm以下。 展开更多
关键词 柔性铰链 压电陶瓷电动机 超声波电动机 有限元 机械爬行
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微细电火花三维成型加工控制系统的研究 被引量:1
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作者 林海波 杨国哲 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2009年第11期13-15,共3页
构造了一个可实现纳米级微量进给的运动平台,并对该平台的控制技术进行了研究,提出了数字PID结合双向静差补偿策略。该补偿策略作为微细电火花加工控制系统的组成部分,大大提高了运动平台的运动精度。实验结果证明此系统运行良好,具有... 构造了一个可实现纳米级微量进给的运动平台,并对该平台的控制技术进行了研究,提出了数字PID结合双向静差补偿策略。该补偿策略作为微细电火花加工控制系统的组成部分,大大提高了运动平台的运动精度。实验结果证明此系统运行良好,具有响应时间快、平稳超低速和超高分辨率的优点,达到了微细电火花加工的要求。 展开更多
关键词 压电陶瓷电动机 超精密平台 双向静差补偿
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高精度三维微结构微细电火花加工系统研究
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作者 林海波 杨国哲 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2015年第3期526-528,532,共4页
针对微细电火花加工技术的特点,开发、研制了高精度三维微结构加工的细电火花设备,主要介绍了该装置的结构和数字比例、积分和微分(PID)结合双向静差补偿的控制方法,实现放电间隙与放电状态的自适应调节,并利用该装置进行了平台性能的... 针对微细电火花加工技术的特点,开发、研制了高精度三维微结构加工的细电火花设备,主要介绍了该装置的结构和数字比例、积分和微分(PID)结合双向静差补偿的控制方法,实现放电间隙与放电状态的自适应调节,并利用该装置进行了平台性能的试验研究,试验结果表明该加工技术响应时间快、平稳、超低速和超高分辨率、加工效率较高,可实现平台在100 mm行程内达到亚微米级精度,最低速度为0.1μm/s,闭环最小步进量为100nm,可满足微细电火花加工的要求。 展开更多
关键词 微细电火花加工 超精密 压电陶瓷电动机 自适应调节 双向静差补偿
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负载对超精密平台性能影响的研究
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作者 林海波 杨国哲 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2010年第3期35-37,共3页
对平台整体进行设计,选择压电陶瓷低速电动机为驱动元件,Renishaw敞开式增量光栅作为位置反馈元件,并对平台在空载和负载情况下的性能进行实验和分析,显示负载情况对平台在前进、后退,转向时都有一定的影响,并提出对策,为研究微动工作... 对平台整体进行设计,选择压电陶瓷低速电动机为驱动元件,Renishaw敞开式增量光栅作为位置反馈元件,并对平台在空载和负载情况下的性能进行实验和分析,显示负载情况对平台在前进、后退,转向时都有一定的影响,并提出对策,为研究微动工作台提供了参考,证实了平台设计的可行性。 展开更多
关键词 负载 平台性能 超精密平台 压电陶瓷电动机
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