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新型高灵敏度压电陶瓷多层膜结构加速度传感器
被引量：
1
1
作者
张望重
李国荣
+1 位作者
郑嘹赢
殷庆瑞
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第5期624-626,共3页
采用压电陶瓷粉体厚膜流延成型工艺和陶瓷内电极共烧技术制成了一种圆环状多层膜结构的压电陶瓷片,用它代替以往圆环状单片压电陶瓷片后,其压电加速度的灵敏度大幅度提高。本文对该加速度的性能进行了研究。这种体积小、重量轻、灵敏...
采用压电陶瓷粉体厚膜流延成型工艺和陶瓷内电极共烧技术制成了一种圆环状多层膜结构的压电陶瓷片,用它代替以往圆环状单片压电陶瓷片后,其压电加速度的灵敏度大幅度提高。本文对该加速度的性能进行了研究。这种体积小、重量轻、灵敏度高的新型加速度计可望在高新技术领域中获得应用。
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关键词
流延技术
多层片式结构
压电陶瓷敏感元件
加速度传感器
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职称材料
题名
新型高灵敏度压电陶瓷多层膜结构加速度传感器
被引量：
1
1
作者
张望重
李国荣
郑嘹赢
殷庆瑞
机构
中国科学院上海硅酸盐研究所高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室
出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第5期624-626,共3页
基金
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2001AA325031)
国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(2002CB613306)
文摘
采用压电陶瓷粉体厚膜流延成型工艺和陶瓷内电极共烧技术制成了一种圆环状多层膜结构的压电陶瓷片,用它代替以往圆环状单片压电陶瓷片后,其压电加速度的灵敏度大幅度提高。本文对该加速度的性能进行了研究。这种体积小、重量轻、灵敏度高的新型加速度计可望在高新技术领域中获得应用。
关键词
流延技术
多层片式结构
压电陶瓷敏感元件
加速度传感器
Keywords
tape-casting
monolithic multilayer
piezoelectric sensitive element
accelerometer the monolithic multilayered piezoelectric sensitive element
分类号
O611 [理学—无机化学]
O782 [理学—晶体学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
新型高灵敏度压电陶瓷多层膜结构加速度传感器
张望重
李国荣
郑嘹赢
殷庆瑞
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004
1
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