期刊文献+
共找到3篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
压电陶瓷拨爪电机驱动特性研究
1
作者 范伟 李钟慎 崔长彩 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第23期2788-2792,共5页
利用PCI-7484数据采集卡、光栅和加速度传感器等构建了压电陶瓷拨爪电机驱动测试系统,对其驱动特性进行了实验性分析研究,得到了压电陶瓷拨爪电机交流驱动模式所产生附加振动的规律以及直流工作模式下的纳米级驱动特性曲线,从而为进一... 利用PCI-7484数据采集卡、光栅和加速度传感器等构建了压电陶瓷拨爪电机驱动测试系统,对其驱动特性进行了实验性分析研究,得到了压电陶瓷拨爪电机交流驱动模式所产生附加振动的规律以及直流工作模式下的纳米级驱动特性曲线,从而为进一步提高压电陶瓷拨爪电机驱动系统的控制精度提供了参考依据。 展开更多
关键词 压电陶瓷拨爪电机 纳米 驱动特性 振动
在线阅读 下载PDF
纳米电机驱动大行程超精密工作台的设计研究 被引量:8
2
作者 范伟 余晓芬 奚琳 《电子测量与仪器学报》 CSCD 2008年第2期42-45,共4页
介绍了一种由压电陶瓷拨爪电机驱动的一维纳米级定位精度工作台的工作原理及其设计。压电陶瓷拨爪电机可以避免使用传统的粗精两级定位机构,直接实现纳米级驱动定位。针对压电陶瓷拨爪电机的特性,设计了低摩擦的磁悬浮导轨,并采用分体... 介绍了一种由压电陶瓷拨爪电机驱动的一维纳米级定位精度工作台的工作原理及其设计。压电陶瓷拨爪电机可以避免使用传统的粗精两级定位机构,直接实现纳米级驱动定位。针对压电陶瓷拨爪电机的特性,设计了低摩擦的磁悬浮导轨,并采用分体式结构和柔性铰链,将驱动系统与定位工作台隔离,从而有效减少了压电陶瓷拨爪电机在驱动时产生的高频震动对定位精度的影响。固定在工作台上的直光栅实现了对工作台位移的高精度闭环检测。经测试,工作台可以实现0-200mm范围,10nm分辨率的快速、高精度定位,满足纳米测量的要求。 展开更多
关键词 压电陶瓷拨爪电机 纳米工作台 磁悬浮导轨 柔性铰链 光栅
在线阅读 下载PDF
基于VB的纳米级驱动控制系统研究 被引量:2
3
作者 范伟 余晓芬 奚琳 《计量学报》 CSCD 北大核心 2006年第z1期96-99,共4页
压电陶瓷拨爪电机具有大行程、高速、位移分辨率高等突出优点,可以避免使用传统的二级驱动,直接实现纳米级驱动定位.利用PCI-7484数据采集卡和FAGOR自反馈光栅数显卡提供的DLL动态连接库函数及VB中的Timer控件,实现了对压电陶瓷拨爪电... 压电陶瓷拨爪电机具有大行程、高速、位移分辨率高等突出优点,可以避免使用传统的二级驱动,直接实现纳米级驱动定位.利用PCI-7484数据采集卡和FAGOR自反馈光栅数显卡提供的DLL动态连接库函数及VB中的Timer控件,实现了对压电陶瓷拨爪电机的实时可编程控制以及位移信号的获取,成功地构建了纳米级驱动控制系统.经测试,该系统的位移分辨率可达10 nm. 展开更多
关键词 计量学 压电陶瓷拨爪电机 纳米级驱动控制系统 位移信号
在线阅读 下载PDF
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部