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压电陶瓷微位移作动器机械特性的研究及改进 被引量:1
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作者 杜正春 李春梅 颜景平 《机械设计》 CSCD 北大核心 1999年第10期16-18,共3页
本文对应用于误差补偿的压电微位移作动器,从机械结构的角度分析了其静动态特性,指出了其缺点,给出了结构设计基本原则,并设计出一种静动态特性均有改善的微位移作动器结构。
关键词 位移 压电陶瓷 机械特性
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环状电极压电作动器的制备与位移检测 被引量:1
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作者 李海吉 刘永刚 +1 位作者 王亚腾 杜哲 《传感器与微系统》 北大核心 2025年第4期110-113,共4页
本文提出了一种基于交叉指型排列分布的环状电极压电作动器,分析了其电极结构与驱动原理,采用丝网印刷法对环状电极压电作动器的电极进行制作,并进行极化,完成对待测元件的制备。搭建了位移检测平台,对待测元件的静态性能进行检测。试... 本文提出了一种基于交叉指型排列分布的环状电极压电作动器,分析了其电极结构与驱动原理,采用丝网印刷法对环状电极压电作动器的电极进行制作,并进行极化,完成对待测元件的制备。搭建了位移检测平台,对待测元件的静态性能进行检测。试验结果表明:激励信号波形对直径为?25 mm、厚度为2 mm、电极宽度为0.8 mm、分支电极中心距为1.6 mm的环状电极压电作动器的峰值位移影响不大。当激励频率从0.2 Hz逐渐增加到1.0 Hz时,其位移峰值从1.5μm降低到了1.3μm。激励电压对该元件的峰值位移影响比较大,当激励电压幅值为50 V时,其峰值位移只有0.4μm;当激励电压幅值为200 V时,其峰值位移达到了1.5μm,是相同结构的传统电极压电作动器的2.37倍,该驱动器具有较好的位移性能。 展开更多
关键词 环状电极 制备 压电 激励信号 径向位移
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压电陶瓷作动器的卡尔曼滤波输出反馈预测控制 被引量:1
3
作者 于树友 谭丽 +4 位作者 李建普 冯阳阳 刘冬梅 林宝君 孙绍瑜 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第11期1724-1735,共12页
为了抑制压电陶瓷的迟滞、非线性特性对压电微定位平台精度的影响,建立反映压电陶瓷作动器频率依赖迟滞非线性特性的Hammerstein模型:利用非对称Bouc-Wen模型来表示静态迟滞非线性和利用动态线性模型表征信号频率的影响。针对迟滞补偿... 为了抑制压电陶瓷的迟滞、非线性特性对压电微定位平台精度的影响,建立反映压电陶瓷作动器频率依赖迟滞非线性特性的Hammerstein模型:利用非对称Bouc-Wen模型来表示静态迟滞非线性和利用动态线性模型表征信号频率的影响。针对迟滞补偿器不能完全的进行补偿,并且存在噪音干扰实验设备,采用基于卡尔曼滤波的预测控制,提高压电微定位平台的控制精度。预测控制用来减小逆补偿误差以及建模误差等模型不确定性的影响,卡尔曼滤波用来获得系统的状态估计值。实验结果显示,该控制器在正弦波信号下的相对跟踪误差小于0.68%,三角波信号下相对跟踪误差小于0.70%。在迟滞补偿的基础上,采用卡尔曼滤波的预测控制,该方法可以有效地完成对微定位平台的高精度跟踪。 展开更多
关键词 预测控制 卡尔曼滤波 压电陶瓷 HAMMERSTEIN模型
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基于GRU-NN预测模型的压电作动器MPC-KAN控制方法
4
作者 郭辰星 李自成 徐瑞瑞 《压电与声光》 北大核心 2025年第1期157-162,171,共7页
为了提高压电作动器(PEAs)的轨迹跟踪性能,提出了一种基于门控递归单元(GRU)神经网络(NN)预测模型的Kolmogorov-Arnold网络前馈模型预测控制(MPC-KAN)。与神经网络逆模型控制不同,该方法使用GRU-NN正向建模,并根据模型预测结果调整模型... 为了提高压电作动器(PEAs)的轨迹跟踪性能,提出了一种基于门控递归单元(GRU)神经网络(NN)预测模型的Kolmogorov-Arnold网络前馈模型预测控制(MPC-KAN)。与神经网络逆模型控制不同,该方法使用GRU-NN正向建模,并根据模型预测结果调整模型预测控制(MPC)的输出。首先,根据线性化模型选择GRU-NN的训练输入特征,并训练该网络。然后,为了提高优化效果和缩短优化时间,将麻雀搜索算法(SSA)用作MPC优化器,并建立Kolmogorov-Arnold网络(KAN)以替代SSA优化。该方法的有效性在PEAs平台上得到验证,与传统方法相比,控制精度提高了约30%。 展开更多
关键词 压电陶瓷 高精度跟踪 模型预测控制 GRU网络 KAN网络
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压电陶瓷作动器的MPI动态迟滞建模与控制 被引量:1
5
作者 周子希 王贞艳 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2024年第18期131-136,共6页
压电陶瓷是一种具有迟滞非线性的智能材料。为了实现系统的精密跟踪控制,提出一种基于MPI(modified Prandtl-Ishlinskii)的Hammerstein动态迟滞模型,并基于该模型设计了滑模跟踪控制方案。在play算子的上升边沿和下降边沿阈值处引入了... 压电陶瓷是一种具有迟滞非线性的智能材料。为了实现系统的精密跟踪控制,提出一种基于MPI(modified Prandtl-Ishlinskii)的Hammerstein动态迟滞模型,并基于该模型设计了滑模跟踪控制方案。在play算子的上升边沿和下降边沿阈值处引入了延时系数,并串联死区算子构成改进的非对称PI(Prandtl-Ishlinskii)模型,基于MPI的Hammerstein动态迟滞非线性模型可以描述压电陶瓷作动器的率相关迟滞特性。通过采集在单频率10 Hz,40 Hz,80 Hz和复合频率10~90 Hz正弦输入电压信号下的压电陶瓷作动器的位移数据,并采用粒子群算法和最小二乘递推方法辨识MPI模型参数和ARX(auto regressive model with exogenous input)模型参数,验证了模型的可行性,相较于基于经典PI的Hammerstein动态迟滞模型,模型误差分别降低了37%,42%,35%和24%。最后,构建迟滞补偿器,利用Hammerstein模型的模块化特点,提出一种可以实现对系统动态跟踪控制的滑模控制方案,并搭建了滑模控制压电系统试验平台,对单频率1 Hz,40 Hz,80 Hz和复合频率10~90 Hz的正弦输入电压信号进行了微位移实时跟踪控制试验,试验中的相对误差在7.62%以内,均方根最大误差为1.8573μm,表明所提出的滑模控制器有较强的跟踪性能。 展开更多
关键词 压电陶瓷 迟滞非线性 Hammerstein态迟滞模型 MPI模型 滑模跟踪控制
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菱形微位移压电作动器的输入输出线性建模 被引量:14
6
作者 张春林 张希农 +1 位作者 陈杰 张帅 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期102-106,共5页
针对某定位装置的位移输出问题,研究了一种新型菱形微位移压电作动器,该压电作动器包括压电陶瓷、菱形微位移放大机构以及柔性铰链部分。对菱形微位移放大机构的放大系数进行了分析,发现该放大机构具有把压电堆的原始位移输出从30μm放... 针对某定位装置的位移输出问题,研究了一种新型菱形微位移压电作动器,该压电作动器包括压电陶瓷、菱形微位移放大机构以及柔性铰链部分。对菱形微位移放大机构的放大系数进行了分析,发现该放大机构具有把压电堆的原始位移输出从30μm放大到100μm的能力,放大倍数与菱形环自身夹角θ有关,并且在压电堆输出范围内为比例放大,这些结果可以为更大放大系数的菱形环设计提供依据。建立了该菱形微位移压电作动器输入输出关系的理论线性模型,并将线性模型的模拟结果与实验结果进行了对比,证明该压电作动器线性模型具有较好的精度,能比较准确地反映微位移压电作动器的输入输出关系。 展开更多
关键词 压电陶瓷 位移放大机构 线性建模
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逆压电效应的压电常数和压电陶瓷微位移驱动器 被引量:16
7
作者 陈大任 李国荣 殷庆瑞 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1997年第6期861-866,共6页
本文介绍了由过压电效应的应变-电场曲线测得弱场和强场下的压电常数d_33、d_31.测量发现S~E曲线上呈现应变和压电系数突增的阈值场强E_b,用铁电陶瓷固有的90°畴转向对应变的贡献进行了分析和讨论.该方法与以往常用的正压电效... 本文介绍了由过压电效应的应变-电场曲线测得弱场和强场下的压电常数d_33、d_31.测量发现S~E曲线上呈现应变和压电系数突增的阈值场强E_b,用铁电陶瓷固有的90°畴转向对应变的贡献进行了分析和讨论.该方法与以往常用的正压电效应的压电常数测试相比,方便、简单,尤其对过压电效应的压电微位移驱动器应用更具有实际意义. 展开更多
关键词 压电常数 压电效应 压电陶瓷 位移
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压电作动器在微力微位移装置中的应用 被引量:3
8
作者 王海容 赵则祥 蒋庄德 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2002年第2期101-103,共3页
在微力微位移装置中采用闭环控制压电作动器实现微位移进给和微力加载 ,设计了加载机构 ,建立加载机构的压电作动器输入电压、加载装置输出位移和输出力之间的关系。通过电容测位移仪检测输出位移 ,实验得到加载系统刚度 ,根据压电作动... 在微力微位移装置中采用闭环控制压电作动器实现微位移进给和微力加载 ,设计了加载机构 ,建立加载机构的压电作动器输入电压、加载装置输出位移和输出力之间的关系。通过电容测位移仪检测输出位移 ,实验得到加载系统刚度 ,根据压电作动器输入电压、加载装置刚度 ,计算出加载力大小。 展开更多
关键词 压电 位移装置 闭环控制 柔性铰链 加载机构
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压电陶瓷微致动器的制作及驱动行为研究 被引量:4
9
作者 荆阳 雒建斌 杨文言 《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期77-81,共5页
制作一种新型压电陶瓷微致动器 ,用于高密度硬盘驱动器磁头的精确定位。该致动器采用高d31特性的压电陶瓷材料 ,采用烧结成型工艺 ,并使用溅射和反应离子刻蚀工艺制作而成 ,然后进行了退极化性能等分析。此外 ,建立了一种有限元简化模... 制作一种新型压电陶瓷微致动器 ,用于高密度硬盘驱动器磁头的精确定位。该致动器采用高d31特性的压电陶瓷材料 ,采用烧结成型工艺 ,并使用溅射和反应离子刻蚀工艺制作而成 ,然后进行了退极化性能等分析。此外 ,建立了一种有限元简化模型并分析其驱动能力。结果显示 ,当采用双层结构的压电微致动器时 ,在外加电压± 30V作用下 ,悬臂自由端位移和谐振频率分别达到 0 93μm和2 0 4 2 5kHz ,表明该致动器满足硬盘驱动器对微致动器位移 /电压灵敏度、谐振频率等要求。 展开更多
关键词 硬盘驱 高密度硬盘 磁头 显示 压电陶瓷 谐振频率 反应离子刻蚀 能力
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一种闭环控制的压电陶瓷微位移器驱动电源 被引量:4
10
作者 王广林 王慧峰 +1 位作者 邵东向 卢泽生 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2005年第2期121-123,135,共4页
介绍了压电陶瓷微位移器驱动电源的闭环反馈控制驱动系统的组成和工作原理,并对控制器的硬件系统构成进行了说明。软件采用模块化设计,可根据实际工作场合通过软件设定为开环控制和闭环控制。在数字控制算法d(t)和可控输出稳压电压源的... 介绍了压电陶瓷微位移器驱动电源的闭环反馈控制驱动系统的组成和工作原理,并对控制器的硬件系统构成进行了说明。软件采用模块化设计,可根据实际工作场合通过软件设定为开环控制和闭环控制。在数字控制算法d(t)和可控输出稳压电压源的设计上有所突破。通过合理地设计软件算法d(t)来补偿电致伸缩陶瓷h(t)特性上的缺陷。 展开更多
关键词 压电陶瓷位移 电源 闭环控制 控制驱系统 电致伸缩陶瓷 模块化设计 原理 闭环反馈 系统构成 输出稳压 控制算法 开环控制 软件算法 控制 电压源 硬件
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一种单片机控制的压电陶瓷微位移器的驱动电路设计 被引量:9
11
作者 程继兴 刘霞 《电子测量技术》 2012年第11期58-62,共5页
介绍了一种利用AT89C51单片机开关控制压电陶瓷微位移器位移的方法,通过单片机的定时器,在安全的TTL电平下实现对压电陶瓷应变片的高压开关控制。该功能是通过选择合适的耐压场效应管实现的,综合开关速率、耐压性、关断电流等方面的因素... 介绍了一种利用AT89C51单片机开关控制压电陶瓷微位移器位移的方法,通过单片机的定时器,在安全的TTL电平下实现对压电陶瓷应变片的高压开关控制。该功能是通过选择合适的耐压场效应管实现的,综合开关速率、耐压性、关断电流等方面的因素,采用的场效应管是IRF610型。作出对压电器件、场效应管的选择以及压电陶瓷应变片的单片机驱动电路的设计,并给出了该系统的控制程序。最后对系统进行了仿真实验,仿真结果表明:驱动电压增大,输出位移量也增大,在驱动电压140~200V时,电压增大和减小2个方向测量得到的位移-电压曲线不是重合的,这表明了压电陶瓷的测量迟滞性,驱动电压在150~190V时,函数的线性度最好,两者的迟滞性误差也最小,据此我们可以选择驱动电压范围为150~190V。 展开更多
关键词 AT89C51 单片机 压电陶瓷 位移 电路
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压电陶瓷微位移器及其驱动电源的研制 被引量:2
12
作者 王永红 王硕 +1 位作者 马蛟 梁恒 《实验室研究与探索》 CAS 北大核心 2013年第12期68-71,156,共5页
针对相移干涉测量系统中微位移的要求,研制了一种新型压电陶瓷微位移器及其驱动电源,该驱动电源采用集成功率运算放大器配合外围器件组成直流放大式结构,能够有效解决输出电压的非线性问题,减少自激现象,提高系统的稳定性。对研制的压... 针对相移干涉测量系统中微位移的要求,研制了一种新型压电陶瓷微位移器及其驱动电源,该驱动电源采用集成功率运算放大器配合外围器件组成直流放大式结构,能够有效解决输出电压的非线性问题,减少自激现象,提高系统的稳定性。对研制的压电陶瓷微位移器进行了实验标定。经测试,研制的驱动电源具有驱动能力强、线性度好、重复性好等特点。干涉实验验证了研制的压电陶瓷微位移器性能的可靠性和位移的精确性。 展开更多
关键词 压电陶瓷位移 电源 相移
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压电陶瓷微位移驱动器在FY—3卫星G型辐射制冷器上的应用 被引量:5
13
作者 涂锋华 王维扬 +1 位作者 董德平 付立英 《科学技术与工程》 2008年第14期4029-4032,共4页
压电陶瓷微位移驱动器是利用逆压电效应来实现电控位移并产生驱动力的一种新型微位移器件。FY—3气象卫星有效载荷中分辨率光谱成像仪(MERSI)采用大冷量G型辐射制冷器冷却碲镉汞(HgCdTe)红外探测器,即长波红外和短波红外线列探测器,分... 压电陶瓷微位移驱动器是利用逆压电效应来实现电控位移并产生驱动力的一种新型微位移器件。FY—3气象卫星有效载荷中分辨率光谱成像仪(MERSI)采用大冷量G型辐射制冷器冷却碲镉汞(HgCdTe)红外探测器,即长波红外和短波红外线列探测器,分别安装在辐射制冷器二级和一级上。在对G型辐射制冷器的后光路校核过程中,根据传递函数(MTF)值确定其相对于红外探测器组件的最终位置。压电陶瓷微位移驱动器作为真空和低温下红外透镜组件的驱动工具。 展开更多
关键词 G型辐射制冷 压电陶瓷位移 低温红外光校 低温标定
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压电微作动器相位特性分析与改进 被引量:3
14
作者 杜正春 杨建国 姚振强 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2003年第1期39-42,共4页
误差补偿作动器相位特性等动态性能对补偿控制系统有着非常重要的影响。该文在对压电陶瓷叠堆微位移作动器电压驱动过程分析的基础后,首次给出完整的相位特性分析,分析了影响压电陶瓷微作动器相位特性的三个主要因素及它们相应引起的相... 误差补偿作动器相位特性等动态性能对补偿控制系统有着非常重要的影响。该文在对压电陶瓷叠堆微位移作动器电压驱动过程分析的基础后,首次给出完整的相位特性分析,分析了影响压电陶瓷微作动器相位特性的三个主要因素及它们相应引起的相位滞后量。计算结果显示出机械结构引起的相位滞后占整个压电微作动器相位滞后量的主要成分。该文分析方法和结果有助于PMDA控制系统优化设计,并使机床误差实时补偿更有效、精确和容易。 展开更多
关键词 压电陶瓷微位移作动器 相位滞后 机械结构 误差补偿 PMDA
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菱形微位移压电作动器输入输出杂交建模 被引量:2
15
作者 张春林 贺国京 易锦 《振动.测试与诊断》 EI CSCD 北大核心 2017年第3期518-524,共7页
针对某定位装置,研究了一种新型菱形微位移压电作动器,该压电作动器由压电堆、菱形位移放大机构以及柔性铰链组成。菱形微位移压电作动器的核心驱动部件为压电堆,由于压电材料的迟滞特性,菱形压电作动器具有非线性迟滞特性。为了消除迟... 针对某定位装置,研究了一种新型菱形微位移压电作动器,该压电作动器由压电堆、菱形位移放大机构以及柔性铰链组成。菱形微位移压电作动器的核心驱动部件为压电堆,由于压电材料的迟滞特性,菱形压电作动器具有非线性迟滞特性。为了消除迟滞对压电作动器在后续控制中的影响,发展了一种Preisach杂交建模的方法,该方法在传统Preisach模型的基础上,有效结合了Preisach离散模型和支持向量机(support vector machine,简称SVM),建立了微位移压电作动器输入输出杂交模型。试验结果表明,SVM有效解决了因1阶滞回曲线数量不足而导致Preisach模型精度低的问题,同时与传统Preisach模型相比,杂交建模能更准确地描述迟滞特性,具有更高的精度。 展开更多
关键词 位移放大机构 压电 迟滞 杂交建模
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面向细胞微操作的柔性并联压电定位台设计与实验
16
作者 康升征 王浩文 《光学精密工程》 北大核心 2025年第2期220-235,共16页
为实现细胞级的操作如细胞捕获、切割、分离及注射,本文设计了一种面向生物细胞工程的柔性并联压电定位台,并对其进行了建模、仿真和测试。该定位台由动平台、底座、三级放大机构和三个压电作动器组成。压电作动器所产生的位移经三级放... 为实现细胞级的操作如细胞捕获、切割、分离及注射,本文设计了一种面向生物细胞工程的柔性并联压电定位台,并对其进行了建模、仿真和测试。该定位台由动平台、底座、三级放大机构和三个压电作动器组成。压电作动器所产生的位移经三级放大机构进行放大,并通过反馈控制实现定位台的精确运动,从而达到目标定位效果。在设计过程中,采用了伪刚体法结合柔性铰链刚度计算模型对该机构进行运动静力学分析。利用Lagrange方程,采用集中质量法建立所设计的柔性并联压电定位台动力学模型。在确定结构参数后,对其进行了有限元分析,以验证推导出的理论模型,仿真结果表明:理论与仿真模型的误差小于10%,该机构能够实现大行程以及较高频率的运动。此外,还搭建了柔性并联压电定位台样机系统,进行了实验测试,以评估其开环和闭环性能。实验结果表明:所设计的定位台具有125μm×126μm的工作行程,X和Y方向上的固有频率分别为128.9 Hz,132.8 Hz,相应的运动分辨率均优于400 nm。 展开更多
关键词 细胞 压电 柔性并联机构 定位平台
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双向变步长大位移压电作动器 被引量:7
17
作者 张治君 徐明龙 +1 位作者 冯勃 张希农 《应用力学学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第1期108-112,共5页
提出一种基于蠕动式运动原理的新型双向变步长的大位移压电作动器,建立了该作动器的动力学模型。在30Hz作动频率下,采用MATLAB-SIMULINK软件进行了仿真。设计了含有高电压驱动器的作动器实验系统,作动器样机整体机构由嵌位部分、作动部... 提出一种基于蠕动式运动原理的新型双向变步长的大位移压电作动器,建立了该作动器的动力学模型。在30Hz作动频率下,采用MATLAB-SIMULINK软件进行了仿真。设计了含有高电压驱动器的作动器实验系统,作动器样机整体机构由嵌位部分、作动部分和轨道间距微调部分组成。研究结果表明,该作动器实际可提供±8mm的双向往返运动,实际作动曲线与计算机仿真结果在0.1μm级精度条件下吻合良好。 展开更多
关键词 变步长 位移 压电
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WTYD型压电陶瓷微位移器的迟滞特性建模与实验验证 被引量:11
18
作者 王代华 朱炜 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第1期205-211,共7页
为了模拟WTYD型压电陶瓷微位移器的输出位移与驱动电压之间的迟滞曲线,通过采用Bouc-Wen模型模拟迟滞分量,提出了一种表征WTYD型压电陶瓷微位移器的输出位移与驱动电压之间迟滞关系的Bouc-Wen模型并建立了相应的参数辨识方法。为了验证B... 为了模拟WTYD型压电陶瓷微位移器的输出位移与驱动电压之间的迟滞曲线,通过采用Bouc-Wen模型模拟迟滞分量,提出了一种表征WTYD型压电陶瓷微位移器的输出位移与驱动电压之间迟滞关系的Bouc-Wen模型并建立了相应的参数辨识方法。为了验证Bouc-Wen模型及其相应的参数辨识方法的有效性,建立了相应的实验装置并对模型进行了实验验证。研究结果表明,Bouc-Wen模型的最大绝对误差为3.78μm,最大相对误差为5.79%,表明Bouc-Wen模型及相应的参数辨识方法能较好地模拟WTYD型压电陶瓷微位移器的迟滞特性。 展开更多
关键词 压电陶瓷位移 迟滞曲线 BOUC-WEN模型 参数辨识
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压电作动器位移输出特性分析 被引量:4
19
作者 陶帅 白鸿柏 +1 位作者 何建设 侯军芳 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2010年第5期807-810,共4页
通过对一种用于微隔振平台的压电作动器进行实验研究,得出了位移迟滞非线性输出曲线,综合整理并分析了压电作动器输出位移曲线特点,从微观上系统分析了作动器位移输出特性的机理。结果表明,蠕变导致作动器驱动电压回零时,作动器输出存... 通过对一种用于微隔振平台的压电作动器进行实验研究,得出了位移迟滞非线性输出曲线,综合整理并分析了压电作动器输出位移曲线特点,从微观上系统分析了作动器位移输出特性的机理。结果表明,蠕变导致作动器驱动电压回零时,作动器输出存在残留位移;迟滞大小不仅与预压力有关,还与加压次数和加压频率等有关;作动器位移输出曲线具有一定的漂移特性,对作动器的精确建模造成一定困难。为进一步修正和减少建模误差的影响、提高系统的控制精度,提供了科学的依据。 展开更多
关键词 隔振平台 压电 预压 迟滞 蠕变
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压电陶瓷微致动器在计算机硬盘磁道定位机构中的应用 被引量:2
20
作者 李国荣 陈大任 +5 位作者 张申 沈卫 殷庆瑞 毕超 郭伟 郑广德 《应用科学学报》 CAS CSCD 2000年第2期104-108,共5页
计算机硬盘磁道定位机构是计算机硬盘中的一个十分重要部件 .快速、准确地读取计算机硬盘上宽度为μm级的磁道信号是计算机硬盘磁道定位器设计和制作中的关键课题 ,对提高硬盘存储信号密度和读取时间有着重要意义 .文中利用多层片式压... 计算机硬盘磁道定位机构是计算机硬盘中的一个十分重要部件 .快速、准确地读取计算机硬盘上宽度为μm级的磁道信号是计算机硬盘磁道定位器设计和制作中的关键课题 ,对提高硬盘存储信号密度和读取时间有着重要意义 .文中利用多层片式压电陶瓷微致动器制作了适合计算机硬盘磁头二级定位用的磁道定位机构 ,并对该定位器的驱动性能进行了分析和研究 . 展开更多
关键词 计算机 磁盘 压电陶瓷 磁道定位机构
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