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Sol-Gel方法制备掺Y PZT铁电薄膜材料的研究 被引量:4
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作者 余大年 刘梅冬 +3 位作者 曾亦可 王培英 饶韫华 李楚容 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1997年第1期50-53,共4页
介绍用Sol-Gel方法制备掺YPZT(PYZT)铁电薄膜的工艺,并比较了PZT和PYZT薄膜的性能参数。实验结果表明。
关键词 薄膜 掺杂 压电铁电材料
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