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Sol-Gel方法制备掺Y PZT铁电薄膜材料的研究
被引量:
4
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作者
余大年
刘梅冬
+3 位作者
曾亦可
王培英
饶韫华
李楚容
《压电与声光》
CSCD
北大核心
1997年第1期50-53,共4页
介绍用Sol-Gel方法制备掺YPZT(PYZT)铁电薄膜的工艺,并比较了PZT和PYZT薄膜的性能参数。实验结果表明。
关键词
铁
电
薄膜
掺杂
压电铁电材料
在线阅读
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职称材料
题名
Sol-Gel方法制备掺Y PZT铁电薄膜材料的研究
被引量:
4
1
作者
余大年
刘梅冬
曾亦可
王培英
饶韫华
李楚容
机构
华中理工大学固体电子学系
出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
1997年第1期50-53,共4页
文摘
介绍用Sol-Gel方法制备掺YPZT(PYZT)铁电薄膜的工艺,并比较了PZT和PYZT薄膜的性能参数。实验结果表明。
关键词
铁
电
薄膜
掺杂
压电铁电材料
Keywords
ferroelectric thin film,Sol Gel method,Y dopped PZT
分类号
TN304.9 [电子电信—物理电子学]
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作者
出处
发文年
被引量
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1
Sol-Gel方法制备掺Y PZT铁电薄膜材料的研究
余大年
刘梅冬
曾亦可
王培英
饶韫华
李楚容
《压电与声光》
CSCD
北大核心
1997
4
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