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分辨率高达0.0005℃的新型水晶谐振式温度传感器
被引量:
9
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作者
林江
范加玲
+1 位作者
张滨华
武树岭
《传感器技术》
CSCD
1995年第4期19-22,共4页
探讨了采用厚度切变C模式的新型水晶温度传感器优化设计法。该传感器使用切型、平凸结构谐振器、5MHz频率工作。实测数据表明,它具有超高灵敏度和良好的线性特性,其分辨率为0.0005℃,线性度为0.07℃。
关键词
水晶
谐振
器
压电谐振元件
温度传感器
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职称材料
题名
分辨率高达0.0005℃的新型水晶谐振式温度传感器
被引量:
9
1
作者
林江
范加玲
张滨华
武树岭
机构
东北传感技术研究所
出处
《传感器技术》
CSCD
1995年第4期19-22,共4页
文摘
探讨了采用厚度切变C模式的新型水晶温度传感器优化设计法。该传感器使用切型、平凸结构谐振器、5MHz频率工作。实测数据表明,它具有超高灵敏度和良好的线性特性,其分辨率为0.0005℃,线性度为0.07℃。
关键词
水晶
谐振
器
压电谐振元件
温度传感器
Keywords
Quartz resonator Piezoresonance element Temperature sensor
分类号
TP212.02 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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作者
出处
发文年
被引量
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1
分辨率高达0.0005℃的新型水晶谐振式温度传感器
林江
范加玲
张滨华
武树岭
《传感器技术》
CSCD
1995
9
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