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分辨率高达0.0005℃的新型水晶谐振式温度传感器 被引量:9
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作者 林江 范加玲 +1 位作者 张滨华 武树岭 《传感器技术》 CSCD 1995年第4期19-22,共4页
探讨了采用厚度切变C模式的新型水晶温度传感器优化设计法。该传感器使用切型、平凸结构谐振器、5MHz频率工作。实测数据表明,它具有超高灵敏度和良好的线性特性,其分辨率为0.0005℃,线性度为0.07℃。
关键词 水晶谐振 压电谐振元件 温度传感器
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