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基于递归正位置反馈的三阶压电纳米定位台谐振控制
1
作者
吴智仁
许素安
+1 位作者
富雅琼
武泽宇
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2023年第5期738-743,共6页
针对压电纳米定位台的低阻尼谐振振动,设计了一种基于递归结构的正位置反馈控制器(RPPF)的闭环控制方法。利用激励信号输入平台进行系统辨识并使用零极点对消方法简化三阶系统,对闭环特征方程使用费拉里法求解。针对控制器参数较多,极...
针对压电纳米定位台的低阻尼谐振振动,设计了一种基于递归结构的正位置反馈控制器(RPPF)的闭环控制方法。利用激励信号输入平台进行系统辨识并使用零极点对消方法简化三阶系统,对闭环特征方程使用费拉里法求解。针对控制器参数较多,极点配置不够准确等问题,利用飞蛾扑火算法对RPPF控制器进行参数配置。实验结果表明,与正位置反馈控制器(PPF)相比,递归正位置反馈控制器(RPPF)将三阶压电纳米定位台的闭环带宽从531 Hz提升到663 Hz,且50 Hz三角跟踪的最大绝对误差和均方根误差分别降低了30.12%和26.47%,具有更好的跟踪速度和精度。
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关键词
压电纳米定位台
低阻尼谐振模态抑制
极点配置法
递归结构
主动阻尼控制器
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职称材料
题名
基于递归正位置反馈的三阶压电纳米定位台谐振控制
1
作者
吴智仁
许素安
富雅琼
武泽宇
机构
中国计量大学机电工程学院
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2023年第5期738-743,共6页
基金
国家自然科学基金项目(51105348)。
文摘
针对压电纳米定位台的低阻尼谐振振动,设计了一种基于递归结构的正位置反馈控制器(RPPF)的闭环控制方法。利用激励信号输入平台进行系统辨识并使用零极点对消方法简化三阶系统,对闭环特征方程使用费拉里法求解。针对控制器参数较多,极点配置不够准确等问题,利用飞蛾扑火算法对RPPF控制器进行参数配置。实验结果表明,与正位置反馈控制器(PPF)相比,递归正位置反馈控制器(RPPF)将三阶压电纳米定位台的闭环带宽从531 Hz提升到663 Hz,且50 Hz三角跟踪的最大绝对误差和均方根误差分别降低了30.12%和26.47%,具有更好的跟踪速度和精度。
关键词
压电纳米定位台
低阻尼谐振模态抑制
极点配置法
递归结构
主动阻尼控制器
Keywords
piezo nanopositioning stage
suppression of low damped resonant modes
pole placement method
recursive link
active damping controller
分类号
TP273.3 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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作者
出处
发文年
被引量
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1
基于递归正位置反馈的三阶压电纳米定位台谐振控制
吴智仁
许素安
富雅琼
武泽宇
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2023
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