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题名压电-活塞式合成射流驱动器结构与性能
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作者
张立
王帮峰
周勇
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机构
南京航空航天大学
南京信息工程大学
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出处
《宇航学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第8期1859-1864,共6页
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基金
国家自然科学基金(90405008
10772081
90605003)
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文摘
在传统的压电合成射流驱动器驱动器的基础之上,结合活塞式合成射流驱动器的结构特点,设计了一种新型的压电式合成射流驱动器结构。使用ANSYS仿真出这种新结构的振型模态并与传统压电式合成射流驱动器的振动模态对比。通过热线风速仪对新驱动器的驱动能力进行测量。得到了这种新型驱动器的频率响应曲线、瞬时速度、中心线上速度分布和开口处横向速度分布曲线。实验结果显示出这种新型的压电-活塞式合成射流驱动器峰值速度可以达到80m/s以上,可以有效增加驱动器的驱动能力。
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关键词
合成射流
压电-活塞式
热线风速仪
振动模态
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Keywords
Synthetic jet actuator
Piezoelectric
Hotwire anemometer
Vibration model
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分类号
O34
[理学—固体力学]
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题名多材料按需微滴喷射系统设计与实验研究
被引量：7
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作者
舒霞云
张鸿海
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机构
华中科技大学机械科学与工程学院
厦门理工学院机械与汽车工程学院
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出处
《机械科学与技术》
CSCD
北大核心
2015年第2期257-262,共6页
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基金
国家自然科学基金项目(61108043,51175204)
高等学校博士学科点专项科研基金项目(20120142130011)资助
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文摘
为满足微电子制造、封装领域中不同性质材料按需精确分配的需求,提出了一种由多微滴喷射单元构成的多材料按需微滴喷射系统。该系统的微滴产生模块由用于低黏度流体材料的气动膜片式微滴喷射单元、用于熔融金属流体的压电活塞式微滴喷射单元和用于高黏度流体的机械阀式微滴喷射单元组成。同时由数字相机、模拟相机+图像采集卡构成的图像采集系统,实现液滴沉积的视觉引导对准定位,以及微滴产生过程的图像采集。利用该系统,进行水基混合物、金属焊料和环氧树脂胶的微滴喷射实验,分析了不同黏度对液体微滴喷射过程的影响,实现了金属焊料的微滴喷射,获得了平均直径为70.5μm的焊球及焊球阵列,其直径偏差小于2%。同时也获得了平均直径为0.6 mm的环氧树脂胶点阵列,其直径偏差小于4%。实验结果表明:该系统可用于包括高黏度环氧树脂胶、金属焊料等在内的多种不同黏度的材料,实现微米级微滴的按需喷射。
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关键词
微滴喷射
按需喷射
气动膜片式
压电活塞式
机械阀式
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Keywords
concept design
design of experiments
design
dispensers
droplet-on-demand
drops
experiments
feedback
image acquisition
jets
mechanical valve droplet generating
microelectronics
nozzles
piezoelectric piston droplet generating
piezoelectricity
pneumatic diaphragm droplet generating
viscosity
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分类号
TN405
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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