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用于高功率激光装置的压电步进驱动器
被引量：
3
1
作者
王斌
张涛
+2 位作者
杨朋千
王勇
朱健强
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第9期2087-2091,共5页
根据神光Ⅱ高功率激光装置的具体工程需求,设计了一种以层叠式压电陶瓷为驱动元件的新型压电步进驱动器。驱动器利用杠杆机构实现箝位机构和进给机构交替箝位动子,通过对压电陶瓷小步距的位移连续累加的步进方式,实现大行程直线位移;具...
根据神光Ⅱ高功率激光装置的具体工程需求,设计了一种以层叠式压电陶瓷为驱动元件的新型压电步进驱动器。驱动器利用杠杆机构实现箝位机构和进给机构交替箝位动子,通过对压电陶瓷小步距的位移连续累加的步进方式,实现大行程直线位移;具有控制简单、行程大、分辨力高及断电箝位的特点。样机试验结果表明,驱动器的运动分辨力达到nm级,步距分辨力达到50nm,行程21mm。
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关键词
层叠式
压电
陶瓷
柔性铰链
压电步进驱动器
高功率激光装置
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职称材料
题名
用于高功率激光装置的压电步进驱动器
被引量：
3
1
作者
王斌
张涛
杨朋千
王勇
朱健强
机构
中国科学院上海光学精密机械研究所
中国科学院研究生院
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第9期2087-2091,共5页
文摘
根据神光Ⅱ高功率激光装置的具体工程需求,设计了一种以层叠式压电陶瓷为驱动元件的新型压电步进驱动器。驱动器利用杠杆机构实现箝位机构和进给机构交替箝位动子,通过对压电陶瓷小步距的位移连续累加的步进方式,实现大行程直线位移;具有控制简单、行程大、分辨力高及断电箝位的特点。样机试验结果表明,驱动器的运动分辨力达到nm级,步距分辨力达到50nm,行程21mm。
关键词
层叠式
压电
陶瓷
柔性铰链
压电步进驱动器
高功率激光装置
Keywords
piezoelectric stack
flexure hinge
piezoelectric stepper actuator
high power laser facility
分类号
TH703 [机械工程—精密仪器及机械]
TN384 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
用于高功率激光装置的压电步进驱动器
王斌
张涛
杨朋千
王勇
朱健强
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
3
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