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压电探针应用于原子力显微镜液体成像的研究
被引量：
6
1
作者
李艳宁
赵倩云
+5 位作者
王忠顺
房轩
宋丽薇
李树民
傅星
胡小唐
《西安交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第3期341-343,372,共4页
研究了采用微悬臂梁上集成的ZnO压电薄膜作为微驱动的探针的直接激振方法，比较了间接激振和直接激振方法下探针在液体中的振动性能，以标准生理溶液中的海拉细胞为样品，对原子力显微镜在液体环境下轻敲模式的成像性能进行了实验研究...
研究了采用微悬臂梁上集成的ZnO压电薄膜作为微驱动的探针的直接激振方法，比较了间接激振和直接激振方法下探针在液体中的振动性能，以标准生理溶液中的海拉细胞为样品，对原子力显微镜在液体环境下轻敲模式的成像性能进行了实验研究．研究表明，采用压电探针的直接激振方法在探针振动的幅频曲线中仅有单一谐振峰，可以避免在压电陶瓷管激振方法下由液体振动造成的寄生谐振峰，因此使用压电探针不仅提高了探针振动频率的控制精度，而且减小了针尖对样品的损坏，还提高了仪器的带宽和成像速度．对于512×512点阵和60μm×60μm范围的图像，使用该方法可将采集速度由原来的2～3min／帧提高到15-20s／帧，并且扫描速度的提高对原子力显微镜在动态过程中的研究有着重要的参考价值．
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关键词
原子力显微镜
压电探针
微悬臂梁
轻敲模式
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职称材料
压电微悬臂梁探针的制作工艺研究
被引量：
2
2
作者
崔岩
张吕权
+1 位作者
夏劲松
王立鼎
《西安交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第1期79-82,共4页
为实现压电探针在纳米器件表征和加工领域的应用,设计并制作了一种压电微悬臂梁探针.采用各向异性湿法腐蚀的方法得到纳米级硅针尖,用局部压电层方法解决了压电微悬臂梁探针制作过程中探针、压电薄膜和微悬臂梁之间的工艺兼容性问题.使...
为实现压电探针在纳米器件表征和加工领域的应用,设计并制作了一种压电微悬臂梁探针.采用各向异性湿法腐蚀的方法得到纳米级硅针尖,用局部压电层方法解决了压电微悬臂梁探针制作过程中探针、压电薄膜和微悬臂梁之间的工艺兼容性问题.使用微力传感器测试平台对尺寸为450μm×70μm的压电悬臂梁探针进行测试,结果表明,这种尺寸的压电悬臂梁探针的弹性常数为21.17N/m,与理论计算值相符.通过对压电探针的设计制作,总结了湿法腐蚀-干法刻蚀等工艺的结合方案,为压电探针的广泛应用奠定了基础.
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关键词
压电探针
局部
压电
层
纳米硅尖
弹性常数
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职称材料
题名
压电探针应用于原子力显微镜液体成像的研究
被引量：
6
1
作者
李艳宁
赵倩云
王忠顺
房轩
宋丽薇
李树民
傅星
胡小唐
机构
天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
出处
《西安交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第3期341-343,372,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(50305025)
天津市自然科学基金资助项目(043601711)
教育部留学回国人员科研启动基金资助项目
文摘
研究了采用微悬臂梁上集成的ZnO压电薄膜作为微驱动的探针的直接激振方法，比较了间接激振和直接激振方法下探针在液体中的振动性能，以标准生理溶液中的海拉细胞为样品，对原子力显微镜在液体环境下轻敲模式的成像性能进行了实验研究．研究表明，采用压电探针的直接激振方法在探针振动的幅频曲线中仅有单一谐振峰，可以避免在压电陶瓷管激振方法下由液体振动造成的寄生谐振峰，因此使用压电探针不仅提高了探针振动频率的控制精度，而且减小了针尖对样品的损坏，还提高了仪器的带宽和成像速度．对于512×512点阵和60μm×60μm范围的图像，使用该方法可将采集速度由原来的2～3min／帧提高到15-20s／帧，并且扫描速度的提高对原子力显微镜在动态过程中的研究有着重要的参考价值．
关键词
原子力显微镜
压电探针
微悬臂梁
轻敲模式
Keywords
atomic force microscope
active probe
microcantilever
tapping-mode
分类号
TN16 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
压电微悬臂梁探针的制作工艺研究
被引量：
2
2
作者
崔岩
张吕权
夏劲松
王立鼎
机构
大连理工大学微纳米技术及系统辽宁省重点实验室
大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室
出处
《西安交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第1期79-82,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(90607002)
辽宁省自然科学基金资助项目(20082169)
文摘
为实现压电探针在纳米器件表征和加工领域的应用,设计并制作了一种压电微悬臂梁探针.采用各向异性湿法腐蚀的方法得到纳米级硅针尖,用局部压电层方法解决了压电微悬臂梁探针制作过程中探针、压电薄膜和微悬臂梁之间的工艺兼容性问题.使用微力传感器测试平台对尺寸为450μm×70μm的压电悬臂梁探针进行测试,结果表明,这种尺寸的压电悬臂梁探针的弹性常数为21.17N/m,与理论计算值相符.通过对压电探针的设计制作,总结了湿法腐蚀-干法刻蚀等工艺的结合方案,为压电探针的广泛应用奠定了基础.
关键词
压电探针
局部
压电
层
纳米硅尖
弹性常数
Keywords
piezoelectric probe
local piezoelectric layer
nano-silicon-tip
elastic constant
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
压电探针应用于原子力显微镜液体成像的研究
李艳宁
赵倩云
王忠顺
房轩
宋丽薇
李树民
傅星
胡小唐
《西安交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
6
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
压电微悬臂梁探针的制作工艺研究
崔岩
张吕权
夏劲松
王立鼎
《西安交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
2
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职称材料
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