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压电微致动器元件的制作及特性分析
被引量：
7
1
作者
荆阳
雒建斌
路新春
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2006年第2期147-149,共3页
目的是设计和制作一种新型压电微致动器，用于高密度硬盘磁头的精确定位。其中，压电元件由传统的或改进的溶胶一凝胶工艺制备并利用反应离子刻蚀成型，压电层厚度范围为0．6～3μm。采用X-射线衍射和原子力显微镜等对PZT薄膜的物相、...
目的是设计和制作一种新型压电微致动器，用于高密度硬盘磁头的精确定位。其中，压电元件由传统的或改进的溶胶一凝胶工艺制备并利用反应离子刻蚀成型，压电层厚度范围为0．6～3μm。采用X-射线衍射和原子力显微镜等对PZT薄膜的物相、表面形貌以及颗粒尺寸等进行分析。结果显示，随着PZT层厚度从0．6～3μm的不断增加，其内部颗粒尺寸也相应增大，粗糙度越低。此外，该微致动器的驱动机理通过多普勒干涉仪进行测量。结果表明，对于封装了3μm厚PZT元件的U型微致动器悬臂装置，在±20V交变电压作用下，微致动位移达到1．146μm，谐振频率超过22kHz。
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关键词
压电微致动器
PZT元件
硬盘驱
动
器
溶胶-凝胶法
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职称材料
压电陶瓷微致动器在计算机硬盘磁道定位机构中的应用
被引量：
2
2
作者
李国荣
陈大任
+5 位作者
张申
沈卫
殷庆瑞
毕超
郭伟
郑广德
《应用科学学报》
CAS
CSCD
2000年第2期104-108,共5页
计算机硬盘磁道定位机构是计算机硬盘中的一个十分重要部件 .快速、准确地读取计算机硬盘上宽度为μm级的磁道信号是计算机硬盘磁道定位器设计和制作中的关键课题 ,对提高硬盘存储信号密度和读取时间有着重要意义 .文中利用多层片式压...
计算机硬盘磁道定位机构是计算机硬盘中的一个十分重要部件 .快速、准确地读取计算机硬盘上宽度为μm级的磁道信号是计算机硬盘磁道定位器设计和制作中的关键课题 ,对提高硬盘存储信号密度和读取时间有着重要意义 .文中利用多层片式压电陶瓷微致动器制作了适合计算机硬盘磁头二级定位用的磁道定位机构 ,并对该定位器的驱动性能进行了分析和研究 .
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关键词
计算机
磁盘
压电
陶瓷
微致
动
器
磁道定位机构
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职称材料
题名
压电微致动器元件的制作及特性分析
被引量：
7
1
作者
荆阳
雒建斌
路新春
机构
清华大学摩擦学国家重点实验室
出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2006年第2期147-149,共3页
基金
国家自然科学基金资助项目(90206022)
文摘
目的是设计和制作一种新型压电微致动器，用于高密度硬盘磁头的精确定位。其中，压电元件由传统的或改进的溶胶一凝胶工艺制备并利用反应离子刻蚀成型，压电层厚度范围为0．6～3μm。采用X-射线衍射和原子力显微镜等对PZT薄膜的物相、表面形貌以及颗粒尺寸等进行分析。结果显示，随着PZT层厚度从0．6～3μm的不断增加，其内部颗粒尺寸也相应增大，粗糙度越低。此外，该微致动器的驱动机理通过多普勒干涉仪进行测量。结果表明，对于封装了3μm厚PZT元件的U型微致动器悬臂装置，在±20V交变电压作用下，微致动位移达到1．146μm，谐振频率超过22kHz。
关键词
压电微致动器
PZT元件
硬盘驱
动
器
溶胶-凝胶法
Keywords
piezoelectric micro-actuator
PZT elements
hard disc drives
Sol-Gel process
分类号
TH7 [机械工程—精密仪器及机械]
TN4 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
压电陶瓷微致动器在计算机硬盘磁道定位机构中的应用
被引量：
2
2
作者
李国荣
陈大任
张申
沈卫
殷庆瑞
毕超
郭伟
郑广德
机构
中国科学院上海硅酸盐研究所无机功能材料开放实验室
新加坡数据存储研究所
出处
《应用科学学报》
CAS
CSCD
2000年第2期104-108,共5页
基金
上海市科委自然科学基金重大项目!( 95 JC14 0 16)
上海市科委<启明星计划>资助项目!( 96QE14 0 3 0 )
文摘
计算机硬盘磁道定位机构是计算机硬盘中的一个十分重要部件 .快速、准确地读取计算机硬盘上宽度为μm级的磁道信号是计算机硬盘磁道定位器设计和制作中的关键课题 ,对提高硬盘存储信号密度和读取时间有着重要意义 .文中利用多层片式压电陶瓷微致动器制作了适合计算机硬盘磁头二级定位用的磁道定位机构 ,并对该定位器的驱动性能进行了分析和研究 .
关键词
计算机
磁盘
压电
陶瓷
微致
动
器
磁道定位机构
Keywords
computer hard disk dual track system
multilayer piezoelectric actuator
displacement
finite element method(FEM)
分类号
TP333.2 [自动化与计算机技术—计算机系统结构]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
压电微致动器元件的制作及特性分析
荆阳
雒建斌
路新春
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2006
7
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职称材料
2
压电陶瓷微致动器在计算机硬盘磁道定位机构中的应用
李国荣
陈大任
张申
沈卫
殷庆瑞
毕超
郭伟
郑广德
《应用科学学报》
CAS
CSCD
2000
2
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