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谐振敏感式低噪声压电微机电系统水听器: 1; 作者葛宣佐朴胜春 +4 位作者张强雷亚辉龚李佳王大成陈丽洁《哈尔滨工程大学学报》北大核心 2025年第8期1660-1668,共9页; 针对水下无人平台低噪声高灵敏探测需求,本文提出基于目标频谱特征信息的谐振敏感检测思想。利用水听器在谐振频率处具有高灵敏的特点,根据水下目标的频域特征信息设计水听器敏感结构。本文研制了谐振敏感式压电微机电系统芯片和水听器... 展开更多; 关键词谐振敏感压电微机电系统水听器低噪声敏感结构设计水下目标频谱特征零级海况; 在线阅读下载PDF 职称材料

氮化铝压电微机电系统轮廓模式谐振器技术及应用被引量：1: 2; 作者俞燕王璐烽 +1 位作者丁芩华何杰《压电与声光》 CAS 北大核心 2022年第4期667-672,共6页; 压电微机电系统(MEMS)为各种高性能滤波器、振荡器和传感器等提供了一个多功能平台。氮化铝(AlN)MEMS轮廓模谐振器(CMR)具有工作频率跨度大,品质因数高,体积小及能在单个芯片上集成多频器件且与集成电路(IC)技术兼容等优点,具有较好的... 展开更多; 关键词压电微机电系统氮化铝轮廓模式谐振器滤波器振荡器射频前端模块; 在线阅读下载PDF 职称材料

用于压电微机电系统的高性能压电薄膜(英文) 被引量：2: 3; 作者和佐清孝《南京大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2013年第1期32-39,共8页; 压电基(PZT)-ABO3型钙钛矿陶瓷体材料可用于制作各种压电微机电系统(MEMS).通常PZT-基陶瓷显示多晶结构,而单晶PZT-基薄膜材料吸取PZT-基陶瓷优良的铁电性,可用于制作薄膜压电MEMS.在PZT-基材料中,三元钙钛矿,即由二元钙钛矿PZT固溶体... 展开更多; 关键词铁电薄膜三元钙钛矿 PMnN-PZT 压电微机电系统; 在线阅读下载PDF 职称材料

压电MEMS兰姆波器件技术的最新进展与展望被引量：5: 4; 作者于晓权何杰马晋毅《压电与声光》 CAS 北大核心 2022年第2期223-229,233,共8页; 兰姆波谐振器(LWR)作为一种新兴的压电微机电系统(MEMS)声学器件,同时具有高工作频率、高机电耦合系数、高品质因数值及低功耗等特点,其制造工艺与集成电路工艺兼容,可在单片晶圆上实现多频率器件。基于LWR的声学滤波器是实现高性能射... 展开更多; 关键词兰姆波谐振器(LWR) 压电微机电系统(MEMS) 横向激励声体波谐振器(XBAR) 高次谐波组合模式谐振器(CORs) 截面拉梅模式谐振器(CLMRs); 在线阅读下载PDF 职称材料

基于Al_(0.8)Sc_(0.2)N压电薄膜MEMS声波器件的研制被引量：1: 5; 作者黄湘俊邸啸 +5 位作者刘娅李鑫易拥洁吴鹏程安兴朱鑫《压电与声光》 CAS 北大核心 2022年第3期397-402,共6页; 该文介绍了一种由5×5个半径为200μm圆形阵列组成,应用于水听器的高性能压电微机电系统(MEMS)声波器件,尺寸为3 mm×3 mm。采用钪掺杂(质量分数为20%)增强了AlN薄膜的压电系数,并通过双电极结构配置及优化结构尺寸来增强声压... 展开更多; 关键词压电微机电系统(MEMS) 声波器件 Al_(0.8)Sc_(0.2)N薄膜阵列结构灵敏度水听器; 在线阅读下载PDF 职称材料

MEMS压电指向性传声器仿真与性能优化被引量：1: 6; 作者翟禹光李俊红 +1 位作者樊青青王文《压电与声光》 CAS 北大核心 2021年第6期830-833,839,共5页; 为提高微机电系统(MEMS)压电指向性传声器的声压灵敏度,该文采用有限元法对一种MEMS压电指向性传声器进行了仿真与性能优化。对于该压电指向性传声器结构的声压灵敏度随压电层材料种类、厚度及长度的变化进行了研究,优化了结构参数,提... 展开更多; 关键词有限元方法微机电系统(MEMS)压电指向性传声器压电结构灵敏度特征频率; 在线阅读下载PDF 职称材料

C波段横向激励薄膜体声波谐振器设计与制备: 7; 作者吴高米马晋毅 +5 位作者李尚志司美菊唐小龙蒋世义江洪敏张祖伟《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第3期285-289,共5页; 针对未来移动通信对射频前端器件提出的多频率、高集成新要求,开展了兼具声表面波(SAW)谐振器和薄膜体声波谐振器(FBAR)技术特点的新型横向激励兰姆波谐振器研究。该文介绍了基于c轴择优取向氮化铝(AlN)压电薄膜的C波段横向激励薄膜体... 展开更多; 关键词压电微机电系统(MEMS)器件 C波段射频滤波器横向激励薄膜体声波谐振器(XBAR) 多频率高集成; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名谐振敏感式低噪声压电微机电系统水听器: 1; 作者葛宣佐朴胜春张强雷亚辉龚李佳王大成陈丽洁; 机构哈尔滨工程大学水声技术全国重点实验室海洋信息获取与安全工信部重点实验室(哈尔滨工程大学)工业和信息化部哈尔滨工程大学水声工程学院; 出处《哈尔滨工程大学学报》北大核心 2025年第8期1660-1668,共9页; 基金国家自然科学基金项目(52375529).; 文摘针对水下无人平台低噪声高灵敏探测需求,本文提出基于目标频谱特征信息的谐振敏感检测思想。利用水听器在谐振频率处具有高灵敏的特点,根据水下目标的频域特征信息设计水听器敏感结构。本文研制了谐振敏感式压电微机电系统芯片和水听器样机,并进行了实验测试。所设计水听器样机在谐振频率处实现了高灵敏响应(-146 dB@12 kHz(Re.1V/μPa)和-138 dB@4 kHz(Re.1V/μPa))和远低于knudsen零级海况的自噪声水平(M5#样机在谐振频率处等效噪声声压谱密度级22.03 dB@4 kHz(Re.1μPa/Hz))。本文所提出的基于目标特征信息的谐振敏感检测思想为水下目标检测提供了思路。; 关键词谐振敏感压电微机电系统水听器低噪声敏感结构设计水下目标频谱特征零级海况; Keywords resonance sensitivity piezoelectric MEMS hydrophone low noise sensitive structural design under-water target spectral characteristics zero level sea condition; 分类号 TP212.6 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名氮化铝压电微机电系统轮廓模式谐振器技术及应用被引量：1: 2; 作者俞燕王璐烽丁芩华何杰; 机构重庆工业职业技术学院苏州中材非金属矿工业设计研究院有限公司中国电子科技集团公司第二十六研究所; 出处《压电与声光》 CAS 北大核心 2022年第4期667-672,共6页; 文摘压电微机电系统(MEMS)为各种高性能滤波器、振荡器和传感器等提供了一个多功能平台。氮化铝(AlN)MEMS轮廓模谐振器(CMR)具有工作频率跨度大,品质因数高,体积小及能在单个芯片上集成多频器件且与集成电路(IC)技术兼容等优点,具有较好的应用前景。该文对AlN MEMS CMR的原理与典型结构、制备工艺及应用进行了综合性阐述,并分析了CMR技术未来的发展方向。; 关键词压电微机电系统氮化铝轮廓模式谐振器滤波器振荡器射频前端模块; Keywords piezoelectric microelectromechanical system(MEMS) AlN contour mode resonator(CMR) filter oscillator RF front-end module; 分类号 TN713.3 [电子电信—电路与系统] TN752.2 [电子电信—电路与系统]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名用于压电微机电系统的高性能压电薄膜(英文) 被引量：2: 3; 作者和佐清孝; 机构日本京都大学微工程系; 出处《南京大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2013年第1期32-39,共8页; 文摘压电基(PZT)-ABO3型钙钛矿陶瓷体材料可用于制作各种压电微机电系统(MEMS).通常PZT-基陶瓷显示多晶结构,而单晶PZT-基薄膜材料吸取PZT-基陶瓷优良的铁电性,可用于制作薄膜压电MEMS.在PZT-基材料中,三元钙钛矿,即由二元钙钛矿PZT固溶体掺入添加物(如:Pb(Mg,Nb)O3(PMN)和Pb(Mn,Nb)O3)(PMnN)),可用于制作薄膜MEMS,因为掺入的添加物扩展了原二元钙钛矿PZT的介电和铁电响应.本文研究由射频溅射法外延生长在具有SrRuO3/Pt过渡层的(001)MgO单晶基片上的PZT-基三元配合物(PMnN-PZT)单晶薄膜,发现溅射的PZT-基三元配合物xPMnN-(1-x)PZT,x=0.06,显示高密度单晶、而无体单晶的晶粒和界面层结构.溅射的薄膜显示奇异的铁电性质,即:非常高自极化Pr(Pr=80～100μC,体陶瓷:Pr=20～30μC),高居里点Tc(Tc=500～600℃,体陶瓷:Tc=350～380 ℃),小介电常数ε*(ε*=100～150,体陶瓷:ε*=800～1300).这些奇异的铁电性质是所溅射的薄膜结构所固有的,不可能由传统的PZT-基陶瓷得到.最后,对这些奇异的铁电性质可能应用于压电薄膜MEMS进行了讨论.; 关键词铁电薄膜三元钙钛矿 PMnN-PZT 压电微机电系统; Keywords ferroelectric thin films, ternary perovskite, PMnN piezoelectric, piezoelectric micro electromechanical systems; 分类号 TN304.21 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名压电MEMS兰姆波器件技术的最新进展与展望被引量：5: 4; 作者于晓权何杰马晋毅; 机构中国电子科技集团公司第二十四研究所中国电子科技集团公司第二十六研究所; 出处《压电与声光》 CAS 北大核心 2022年第2期223-229,233,共8页; 文摘兰姆波谐振器(LWR)作为一种新兴的压电微机电系统(MEMS)声学器件,同时具有高工作频率、高机电耦合系数、高品质因数值及低功耗等特点,其制造工艺与集成电路工艺兼容,可在单片晶圆上实现多频率器件。基于LWR的声学滤波器是实现高性能射频前端组件的有效解决方案之一,能够满足未来通信设备多频率及集成化的发展要求,其相关研究已成为微声器件领域的热点。该文简要介绍了兰姆波的基本原理,综述了近年来基于氮化铝(AlN)薄膜和铌酸锂薄膜(LNOI)的压电MEMS兰姆波器件研究取得的最新成果,并讨论了压电MEMS兰姆波器件的发展趋势。; 关键词兰姆波谐振器(LWR) 压电微机电系统(MEMS) 横向激励声体波谐振器(XBAR) 高次谐波组合模式谐振器(CORs) 截面拉梅模式谐振器(CLMRs); Keywords Lamb wave resonator piezoelectric micro-electro-mechanical system(MEMS) laterally-excited bulk-wave resonators(XBAR) combined overtone resonators(CORs) cross-sectional-Lamé-mode resonator(CLMRs); 分类号 TN384 [电子电信—物理电子学] TN65 [电子电信—电路与系统]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于Al_(0.8)Sc_(0.2)N压电薄膜MEMS声波器件的研制被引量：1: 5; 作者黄湘俊邸啸刘娅李鑫易拥洁吴鹏程安兴朱鑫; 机构联合微电子中心有限公司中国电子科技集团公司第二十六研究所; 出处《压电与声光》 CAS 北大核心 2022年第3期397-402,共6页; 文摘该文介绍了一种由5×5个半径为200μm圆形阵列组成,应用于水听器的高性能压电微机电系统(MEMS)声波器件,尺寸为3 mm×3 mm。采用钪掺杂(质量分数为20%)增强了AlN薄膜的压电系数,并通过双电极结构配置及优化结构尺寸来增强声压作用下的电信号输出,以实现压电MEMS声波器件具有更好的接收灵敏度。声波器件在空气中的接收灵敏度为-166.8 dB(Ref.1 V/μPa),比相同结构基于AlN薄膜的声波器件约高2.6 dB。在50 Hz~3 kHz带宽范围内,器件灵敏度曲线变化小于1.5 dB,具有平坦的声学响应。结果表明,基于Al_(0.8)Sc_(0.2)N薄膜的压电MEMS声波器件具有更高的接收灵敏度,经水密封装制成的水听器可应用于管道泄漏探测及海洋噪声监测等工程中。; 关键词压电微机电系统(MEMS) 声波器件 Al_(0.8)Sc_(0.2)N薄膜阵列结构灵敏度水听器; Keywords piezoelectric MEMS acoustic device Al_(0.8)Sc_(0.2)N film array structure sensitivity hydrophone; 分类号 TN384 [电子电信—物理电子学] TN64 [电子电信—电路与系统] TB565.1 [交通运输工程—水声工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名MEMS压电指向性传声器仿真与性能优化被引量：1: 6; 作者翟禹光李俊红樊青青王文; 机构中国科学院声学研究所中国科学院大学; 出处《压电与声光》 CAS 北大核心 2021年第6期830-833,839,共5页; 基金国家自然科学基金资助项目(11874388)。; 文摘为提高微机电系统(MEMS)压电指向性传声器的声压灵敏度,该文采用有限元法对一种MEMS压电指向性传声器进行了仿真与性能优化。对于该压电指向性传声器结构的声压灵敏度随压电层材料种类、厚度及长度的变化进行了研究,优化了结构参数,提高了器件的灵敏度及信噪比。结果表明,当硅梁厚为10μm,压电层厚为6.3μm时,器件灵敏度达到最大,较先前结构提高了约14 dB。; 关键词有限元方法微机电系统(MEMS)压电指向性传声器压电结构灵敏度特征频率; Keywords finite element method micro-electro-mechanical system(MEMS)piezoelectric directional microphone piezoelectric structure sensitivity characteristic frequency; 分类号 TN384 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名C波段横向激励薄膜体声波谐振器设计与制备: 7; 作者吴高米马晋毅李尚志司美菊唐小龙蒋世义江洪敏张祖伟; 机构中国电子科技集团公司第二十四研究所中电科芯片技术(集团)有限公司国知创芯(重庆)科技有限公司; 出处《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第3期285-289,共5页; 基金重庆市博士后科学基金资助项目(CSTB2023NSCQ-BHX0030)。; 文摘针对未来移动通信对射频前端器件提出的多频率、高集成新要求,开展了兼具声表面波(SAW)谐振器和薄膜体声波谐振器(FBAR)技术特点的新型横向激励兰姆波谐振器研究。该文介绍了基于c轴择优取向氮化铝(AlN)压电薄膜的C波段横向激励薄膜体声波谐振器(XBAR)的结构设计、参数优化和制备方法,并进行了工艺验证。通过剥离和刻蚀等步骤制备了谐振频率4.464 GHz、品质因数3039、品质因数与频率之积(f×Q)达到1.56×10^(13)GHz、面积小于0.12 mm^(2)的低杂波XBAR谐振器,并仿真分析了其用于射频滤波器的可行性。该研究为进一步研制多频率、高集成的小型化XBAR滤波器组件提供了有效的设计技术和工艺技术支撑。; 关键词压电微机电系统(MEMS)器件 C波段射频滤波器横向激励薄膜体声波谐振器(XBAR) 多频率高集成; Keywords piezoelectric micro-electro-mechanical systems device C-band radio-frequency filter laterally excited bulk acoustic resonator multi-frequency high-integration; 分类号 TN384 [电子电信—物理电子学] TN65 [电子电信—电路与系统] TN713 [电子电信—电路与系统]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	谐振敏感式低噪声压电微机电系统水听器	葛宣佐朴胜春张强雷亚辉龚李佳王大成陈丽洁	《哈尔滨工程大学学报》北大核心	2025	0	在线阅读下载PDF 职称材料
2	氮化铝压电微机电系统轮廓模式谐振器技术及应用	俞燕王璐烽丁芩华何杰	《压电与声光》 CAS 北大核心	2022	1	在线阅读下载PDF 职称材料
3	用于压电微机电系统的高性能压电薄膜(英文)	和佐清孝	《南京大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心	2013	2	在线阅读下载PDF 职称材料
4	压电MEMS兰姆波器件技术的最新进展与展望	于晓权何杰马晋毅	《压电与声光》 CAS 北大核心	2022	5	在线阅读下载PDF 职称材料
5	基于Al_(0.8)Sc_(0.2)N压电薄膜MEMS声波器件的研制	黄湘俊邸啸刘娅李鑫易拥洁吴鹏程安兴朱鑫	《压电与声光》 CAS 北大核心	2022	1	在线阅读下载PDF 职称材料
6	MEMS压电指向性传声器仿真与性能优化	翟禹光李俊红樊青青王文	《压电与声光》 CAS 北大核心	2021	1	在线阅读下载PDF 职称材料
7	C波段横向激励薄膜体声波谐振器设计与制备	吴高米马晋毅李尚志司美菊唐小龙蒋世义江洪敏张祖伟	《压电与声光》 CAS 北大核心	2024	0	在线阅读下载PDF 职称材料