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压电式高频振动台的研制
1
作者
杨丽峰
于梅
徐爱华
《计量学报》
CSCD
北大核心
2012年第4期299-302,共4页
根据高频振动基准装置的研究现状和应用需求,研究了压电式高频振动台的优化设计方案,并对压电式高频振动台在设计中的几个重要问题:高频台各组成部分的功能及选择、压电叠堆设计参数的优化、接触界面对振动台性能的影响与预应力的选择...
根据高频振动基准装置的研究现状和应用需求,研究了压电式高频振动台的优化设计方案,并对压电式高频振动台在设计中的几个重要问题:高频台各组成部分的功能及选择、压电叠堆设计参数的优化、接触界面对振动台性能的影响与预应力的选择及影响等进行了分析。研制了新型压电式高频振动台,其工作频率为2-50kHz,最大振幅500nm。给出了新型压电式高频振动台的主要技术指标和比对实验数据。
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关键词
计量学
压电式高频振动台
压电
叠堆
预应力
压电
陶瓷
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职称材料
题名
压电式高频振动台的研制
1
作者
杨丽峰
于梅
徐爱华
机构
中国计量科学研究院
出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2012年第4期299-302,共4页
基金
中国计量科学研究院青年基金(AKYQ0706)
文摘
根据高频振动基准装置的研究现状和应用需求,研究了压电式高频振动台的优化设计方案,并对压电式高频振动台在设计中的几个重要问题:高频台各组成部分的功能及选择、压电叠堆设计参数的优化、接触界面对振动台性能的影响与预应力的选择及影响等进行了分析。研制了新型压电式高频振动台,其工作频率为2-50kHz,最大振幅500nm。给出了新型压电式高频振动台的主要技术指标和比对实验数据。
关键词
计量学
压电式高频振动台
压电
叠堆
预应力
压电
陶瓷
Keywords
Metrology
Piezoelectric high frequency vibrator
Piezoelectric stack
Pre-stress
Piezoelectric ceramics
分类号
TB936 [机械工程—测试计量技术及仪器]
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1
压电式高频振动台的研制
杨丽峰
于梅
徐爱华
《计量学报》
CSCD
北大核心
2012
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