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体硅加工的压电式微加速度计的设计
被引量：
6
1
作者
杨慧
李伟红
郭航
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第2期237-240,共4页
提出并设计了一种采用体硅微制造工艺制造的压电式微加速度计,其中体硅加工的硅质量块由悬臂梁支撑且悬臂梁部分区域沉积ZnO压电薄膜。通过对压电悬臂梁建立一维解析模型,研究了影响加速度计灵敏度的结构因素。在此基础上,利用有限元方...
提出并设计了一种采用体硅微制造工艺制造的压电式微加速度计,其中体硅加工的硅质量块由悬臂梁支撑且悬臂梁部分区域沉积ZnO压电薄膜。通过对压电悬臂梁建立一维解析模型,研究了影响加速度计灵敏度的结构因素。在此基础上,利用有限元方法软件ANSYS设计了实际的微加速度计,并对六种不同的微加速度计结构进行了分析,得到了不同结构微加速度计的工作频率范围及灵敏度结果。
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关键词
MEMS
体硅微
加
工工艺
压电式微加速度计
氧化锌
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职称材料
题名
体硅加工的压电式微加速度计的设计
被引量：
6
1
作者
杨慧
李伟红
郭航
机构
厦门大学萨本栋微机电研究中心
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第2期237-240,共4页
基金
厦门大学引进人才科研启动基金资助(0000-X07191)
文摘
提出并设计了一种采用体硅微制造工艺制造的压电式微加速度计,其中体硅加工的硅质量块由悬臂梁支撑且悬臂梁部分区域沉积ZnO压电薄膜。通过对压电悬臂梁建立一维解析模型,研究了影响加速度计灵敏度的结构因素。在此基础上,利用有限元方法软件ANSYS设计了实际的微加速度计,并对六种不同的微加速度计结构进行了分析,得到了不同结构微加速度计的工作频率范围及灵敏度结果。
关键词
MEMS
体硅微
加
工工艺
压电式微加速度计
氧化锌
Keywords
MEMS
bulk-micromachining
piezoelectric microaccelerometer
zinc oxide
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
体硅加工的压电式微加速度计的设计
杨慧
李伟红
郭航
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008
6
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