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压电定位台RBF非奇异快速终端滑模跟踪控制 被引量:2
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作者 陈群 杨宗霄 付主木 《河南科技大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2021年第1期20-26,I0002,共8页
为了实现对具有强非线性压电定位台的精确位置跟踪,提出了一种基于径向基函数(RBF)神经网络和非奇异快速终端滑模面的自适应控制方法。对压电定位台进行了自适应控制建模,设计了非奇异快速终端滑模控制器。结合RBF神经网络实现了控制器... 为了实现对具有强非线性压电定位台的精确位置跟踪,提出了一种基于径向基函数(RBF)神经网络和非奇异快速终端滑模面的自适应控制方法。对压电定位台进行了自适应控制建模,设计了非奇异快速终端滑模控制器。结合RBF神经网络实现了控制器的改进,提出了RBF非奇异快速终端滑模控制器及其参数更新规律,采用李雅普诺夫理论进行了稳定性证明。仿真结果表明:非奇异快速终端滑模控制器能够实现对时变正弦信号的有效跟踪,其平均误差为0.07μm,均方根误差为0.021μm;当采用RBF非奇异快速终端滑模控制器时,因神经网络的逼近作用,在相同时间内其平均误差为0.06μm,均方根误差为0.017μm。 展开更多
关键词 压电定位台 RBF神经网络 跟踪控制 非奇异快速终端滑模
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压电微定位台的率相关动态迟滞建模及参数辨识 被引量:19
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作者 杨晓京 胡俊文 李庭树 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第3期610-618,共9页
针对压电微定位台固有的率相关迟滞非线性严重限制其微定位精度的问题,研究了基于Backlash-Like的Hammerstein率相关迟滞非线性模型及其建模方法。以改进的Backlash-Like分段辨识模型描述压电微定位台的静态非线性特性,结合ARX(Auto Reg... 针对压电微定位台固有的率相关迟滞非线性严重限制其微定位精度的问题,研究了基于Backlash-Like的Hammerstein率相关迟滞非线性模型及其建模方法。以改进的Backlash-Like分段辨识模型描述压电微定位台的静态非线性特性,结合ARX(Auto Regressive eXogenous)模型,建立描述压电微定位台的率相关动态迟滞模型。同时,针对传统的粒子群算法(Particle Swarm Optimization,PSO)进行模型参数辨识时易陷入局部最优的问题,提出一种具有交叉变异策略的改进型粒子群算法进行模型的参数辨识。实验结果表明:与传统的Backlash-Like模型相比,改进的Backlash-Like分段辨识模型在输入电压为60V,频率为2Hz的信号时,模型辨识的最大误差由0.68μm下降到了0.104μm,最大相对误差由2.69%下降为0.35%。当压电微定位台输入电压为60V,频率分别为30Hz,60Hz和90Hz的单频信号时,Hammerstein率相关迟滞模型较Backlash-Like分段辨识模型,均方根误差由0.393 1~0.700 6μm下降至0.054 1~0.190 4μm,相对误差由1.721%~3.087%下降至0.236%~0.831%。验证了基于改进Backlash-Like的Hammerstein率相关迟滞模型较传统的Backlash-Like静态迟滞模型能精确地描述压电微定位台的率相关动态迟滞特性,具有较好的频率泛化能力,提高了压电微定位平台的定位精度。 展开更多
关键词 压电定位 率相关迟滞 Backlash-Like模型 HAMMERSTEIN模型 参数辨识 改进粒子群算法
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压电超精密定位台的动态迟滞建模研究 被引量:10
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作者 杨晓京 李庭树 刘浩 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第10期2492-2499,共8页
为了提高压电超精密定位台的建模精度,采用Backlash-Like迟滞非线性模型来描述压电超精密定位台的迟滞特性,采用基于遗传因子的递推最小二乘法来辨识Backlash-Like模型的参数,并结合压电超精密定位台的动态特性,建立了压电超精密定位台... 为了提高压电超精密定位台的建模精度,采用Backlash-Like迟滞非线性模型来描述压电超精密定位台的迟滞特性,采用基于遗传因子的递推最小二乘法来辨识Backlash-Like模型的参数,并结合压电超精密定位台的动态特性,建立了压电超精密定位台的二阶动态迟滞模型。通过实验得到,对比Backlash-Like模型,动态迟滞模型在频率为30和40 Hz时,最大输出位移误差由1.21和1.39μm下降到0.32和0.44μm,且最大相对误差分别仅为3.5%和4.4%,平均位移误差由0.53和0.76μm下降到0.17和0.21μm,平均相对误差由1.93%和3.38%下降到1.11%和1.37%。实验结果验证了提出的动态迟滞模型,既能减小了因压电超精密定位台的动态特性而引起的系统误差,又能很好地模拟其迟滞特性与动态特性,并且避免了不同频率下的模型参数反复辨识问题,提高了压电超精密定位台在高频、快速、大行程定位中的精度。该方法简单且适应性强,易于工程实现。 展开更多
关键词 压电超精密定位 Backlash-Like迟滞模型 遗传因子的递推最小二乘法 动态模型
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应用迭代学习控制的压电电机定位台高精度跟踪 被引量:9
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作者 严刚峰 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2018年第20期6127-6133,共7页
压电电机广泛应用于工业领域,针对选用的压电电机定位台系统,考虑到迭代学习控制不能补偿非重复性干扰,而PI控制容易使系统稳定,并能有效克服未知和非重复扰动的特点,提出PI控制加迭代学习控制的复合控制算法,并基于迭代学习控制理论的... 压电电机广泛应用于工业领域,针对选用的压电电机定位台系统,考虑到迭代学习控制不能补偿非重复性干扰,而PI控制容易使系统稳定,并能有效克服未知和非重复扰动的特点,提出PI控制加迭代学习控制的复合控制算法,并基于迭代学习控制理论的频率域设计准则,根据压电电机定位台模型的形式,给出该算法的详细设计过程,最后进行信号跟踪的实验测试,得到微米级(3.8μm)的控制精度,实验结果验证该文所设计控制算法的有效性。 展开更多
关键词 压电电机定位 迭代学习控制 PI控制 跟踪控制
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基于递归正位置反馈的三阶压电纳米定位台谐振控制 被引量:1
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作者 吴智仁 许素安 +1 位作者 富雅琼 武泽宇 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第5期738-743,共6页
针对压电纳米定位台的低阻尼谐振振动,设计了一种基于递归结构的正位置反馈控制器(RPPF)的闭环控制方法。利用激励信号输入平台进行系统辨识并使用零极点对消方法简化三阶系统,对闭环特征方程使用费拉里法求解。针对控制器参数较多,极... 针对压电纳米定位台的低阻尼谐振振动,设计了一种基于递归结构的正位置反馈控制器(RPPF)的闭环控制方法。利用激励信号输入平台进行系统辨识并使用零极点对消方法简化三阶系统,对闭环特征方程使用费拉里法求解。针对控制器参数较多,极点配置不够准确等问题,利用飞蛾扑火算法对RPPF控制器进行参数配置。实验结果表明,与正位置反馈控制器(PPF)相比,递归正位置反馈控制器(RPPF)将三阶压电纳米定位台的闭环带宽从531 Hz提升到663 Hz,且50 Hz三角跟踪的最大绝对误差和均方根误差分别降低了30.12%和26.47%,具有更好的跟踪速度和精度。 展开更多
关键词 压电纳米定位 低阻尼谐振模态抑制 极点配置法 递归结构 主动阻尼控制器
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