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基于共振隧穿二极管的GaAs悬臂式声传感器研究
被引量：
5
1
作者
张文栋
王建
+3 位作者
薛晨阳
熊继军
张斌珍
仝召民
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第05B期2293-2296,共4页
实验研究了基于AlAs/InxGa1-xAs/GaAs共振隧穿二极管(RTD)的振荡器的压力-频率转换特性,实验结果表明:该特性具有良好的线性特征,且其线性灵敏度达到0.84kHz/MPa.利用此压力-频率转换特性,首次设计并利用微机械控制孔技术加工制作了基于...
实验研究了基于AlAs/InxGa1-xAs/GaAs共振隧穿二极管(RTD)的振荡器的压力-频率转换特性,实验结果表明:该特性具有良好的线性特征,且其线性灵敏度达到0.84kHz/MPa.利用此压力-频率转换特性,首次设计并利用微机械控制孔技术加工制作了基于RTD的GaAs基悬臂式声传感器结构,实现了RTD与GaAs基微机械加工技术的工艺集成.
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关键词
RTD振荡器
压力-频率特性
GAAS
悬臂式声传感器
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职称材料
题名
基于共振隧穿二极管的GaAs悬臂式声传感器研究
被引量：
5
1
作者
张文栋
王建
薛晨阳
熊继军
张斌珍
仝召民
机构
中北大学电子测试技术国家重点实验室
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第05B期2293-2296,共4页
基金
国家自然科学基金资助(50405025
50375050)
文摘
实验研究了基于AlAs/InxGa1-xAs/GaAs共振隧穿二极管(RTD)的振荡器的压力-频率转换特性,实验结果表明:该特性具有良好的线性特征,且其线性灵敏度达到0.84kHz/MPa.利用此压力-频率转换特性,首次设计并利用微机械控制孔技术加工制作了基于RTD的GaAs基悬臂式声传感器结构,实现了RTD与GaAs基微机械加工技术的工艺集成.
关键词
RTD振荡器
压力-频率特性
GAAS
悬臂式声传感器
Keywords
RTD oscillator
pressure
-
frequency
gaAs
cantilever acoustic sensor
分类号
TN312.2 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于共振隧穿二极管的GaAs悬臂式声传感器研究
张文栋
王建
薛晨阳
熊继军
张斌珍
仝召民
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2006
5
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