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微机械光学进展
1
作者
王跃林
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1995年第S1期51-54,共4页
本文介绍了微机械光学的基本概念及其出现的内在原因，讨论了其发展方向，列举了几个典型的研究实例来说明微机械光学的意义，最后就我国微机械光学的发展提出了一些见解。
关键词
微机械技术
干涉仪
斩光器
机械运动
光学平台
微光学元件
压力的传感器
硅微机械
微透镜
光波导
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职称材料
题名
微机械光学进展
1
作者
王跃林
机构
浙江大学
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1995年第S1期51-54,共4页
文摘
本文介绍了微机械光学的基本概念及其出现的内在原因，讨论了其发展方向，列举了几个典型的研究实例来说明微机械光学的意义，最后就我国微机械光学的发展提出了一些见解。
关键词
微机械技术
干涉仪
斩光器
机械运动
光学平台
微光学元件
压力的传感器
硅微机械
微透镜
光波导
分类号
TH74 [机械工程—光学工程]
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作者
出处
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1
微机械光学进展
王跃林
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1995
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