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单晶氧化镁高温光纤传感技术应用方法研究
1
作者
刘佳
廖宇康
+2 位作者
涂嘉成
李加顺
刘豪
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024年第11期61-72,共12页
提出采用氧化镁制作方形法珀腔的压力敏感单元,利用微机电系统技术实现其热应力匹配一体化、批量化加工,集成光纤实现高温压力检测。对氧化镁压力敏感单元进行全温区和动态仿真以及高温压力测试平台实验验证,结果表明采用氧化镁作为敏...
提出采用氧化镁制作方形法珀腔的压力敏感单元,利用微机电系统技术实现其热应力匹配一体化、批量化加工,集成光纤实现高温压力检测。对氧化镁压力敏感单元进行全温区和动态仿真以及高温压力测试平台实验验证,结果表明采用氧化镁作为敏感材料的传感器在室温、15 MPa的压力范围内腔长呈近似线性变化,非线性误差为0.75%FS,且在室温~800℃范围内均能稳定工作。该材料在传感领域的应用为航空发动机内外部高温狭小空间或受关注位置的原位压力测试提供了一种新的思路。
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关键词
氧化镁晶圆
微机电系统
光纤法珀
压力敏感单元
高温
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职称材料
题名
单晶氧化镁高温光纤传感技术应用方法研究
1
作者
刘佳
廖宇康
涂嘉成
李加顺
刘豪
机构
中北大学省部共建动态测试技术国家重点实验室
中国电子科技集团公司第四十六研究所光纤应用技术事业部
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024年第11期61-72,共12页
基金
山西省基础研究项目(Nos.20210302124266,20210302124311)
国家自然科学基金(No.62105304)
天津市自然科学基金青年(No.22JCQNJC00340)。
文摘
提出采用氧化镁制作方形法珀腔的压力敏感单元,利用微机电系统技术实现其热应力匹配一体化、批量化加工,集成光纤实现高温压力检测。对氧化镁压力敏感单元进行全温区和动态仿真以及高温压力测试平台实验验证,结果表明采用氧化镁作为敏感材料的传感器在室温、15 MPa的压力范围内腔长呈近似线性变化,非线性误差为0.75%FS,且在室温~800℃范围内均能稳定工作。该材料在传感领域的应用为航空发动机内外部高温狭小空间或受关注位置的原位压力测试提供了一种新的思路。
关键词
氧化镁晶圆
微机电系统
光纤法珀
压力敏感单元
高温
Keywords
MgO wafer
MEMS
Fiber-optic Fabry-Perot
Pressure sensitive unit
High temperature
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
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1
单晶氧化镁高温光纤传感技术应用方法研究
刘佳
廖宇康
涂嘉成
李加顺
刘豪
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024
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