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弱吸收单面薄膜光学特性的表征方法
被引量：
1
1
作者
刘华松
傅翾
+4 位作者
王利栓
姜玉刚
冷健
庄克文
季一勤
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2013年第8期2108-2114,共7页
光谱法是测量光学薄膜光学性能的重要方法之一,能够直接表征薄膜-基底系统的光学特性,如:反射率、透过率和吸收率。通过研究薄膜-基底系统的光传输特性,推导出在基底具有弱吸收的一般条件下薄膜-基底系统反射率、透射率和吸收率的表达式...
光谱法是测量光学薄膜光学性能的重要方法之一,能够直接表征薄膜-基底系统的光学特性,如:反射率、透过率和吸收率。通过研究薄膜-基底系统的光传输特性,推导出在基底具有弱吸收的一般条件下薄膜-基底系统反射率、透射率和吸收率的表达式,确定了通过测量单面和双面抛光基底及其薄膜特性间接获得薄膜单面光学特性的方法;在实验中使用Lambda-900分光光度计对熔融石英基底的HfO2薄膜进行了测试,并通过测量误差分析,薄膜的单面反射率误差为1.00%,单面透过率的误差为0.601%。研究结果表明文中方法可适用于各类薄膜单面特性的表征与评价。
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关键词
光学特性
单面反射率
单面
透过率
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职称材料
题名
弱吸收单面薄膜光学特性的表征方法
被引量：
1
1
作者
刘华松
傅翾
王利栓
姜玉刚
冷健
庄克文
季一勤
机构
天津津航技术物理研究所天津市薄膜光学重点实验室
二炮驻天津地区军事代表室
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2013年第8期2108-2114,共7页
基金
国家自然科学基金(61235011)
天津市科委项目(12JCQNIC01200
13JCYBJC17300)
文摘
光谱法是测量光学薄膜光学性能的重要方法之一,能够直接表征薄膜-基底系统的光学特性,如:反射率、透过率和吸收率。通过研究薄膜-基底系统的光传输特性,推导出在基底具有弱吸收的一般条件下薄膜-基底系统反射率、透射率和吸收率的表达式,确定了通过测量单面和双面抛光基底及其薄膜特性间接获得薄膜单面光学特性的方法;在实验中使用Lambda-900分光光度计对熔融石英基底的HfO2薄膜进行了测试,并通过测量误差分析,薄膜的单面反射率误差为1.00%,单面透过率的误差为0.601%。研究结果表明文中方法可适用于各类薄膜单面特性的表征与评价。
关键词
光学特性
单面反射率
单面
透过率
Keywords
optical properties
single side reflectance
single side transmittance
分类号
O484 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
弱吸收单面薄膜光学特性的表征方法
刘华松
傅翾
王利栓
姜玉刚
冷健
庄克文
季一勤
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2013
1
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