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一种高性能硅基锗单行载流子光电探测器设计 被引量:1
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作者 马鹏程 孙思维 +5 位作者 刘丰满 薛海韵 孙瑜 何慧敏 李志雄 曹立强 《光通信研究》 北大核心 2019年第3期26-30,共5页
光电探测器作为光通信系统的核心器件之一,其性能对通信质量起着决定性的作用。随着光通信数据量的剧增,传统的光电探测器已经不能满足需求。文章提出一种集成氮化硅波导的高性能硅基锗单行载流子光电探测器。借助Lumerical FDTD和DEVIC... 光电探测器作为光通信系统的核心器件之一,其性能对通信质量起着决定性的作用。随着光通信数据量的剧增,传统的光电探测器已经不能满足需求。文章提出一种集成氮化硅波导的高性能硅基锗单行载流子光电探测器。借助Lumerical FDTD和DEVICE软件进行建模仿真,通过对波导结构以及探测器尺寸进行设计,最终该结构在1 550 nm波长和-1 V偏压下,响应度高达0.97 A/W,光电流线性输出>30 mA,3 dB带宽高达28 GHz。 展开更多
关键词 光通信 氮化硅波导 硅基锗 单行载流子光电探测器
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光生载流子复合对探测器光谱响应特性的影响研究
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作者 李青 丁奕婧 +4 位作者 Fayemi Omolola E. 谷宇 卞亚东 周建明 雷威 《传感技术学报》 北大核心 2025年第6期955-962,共8页
在宽谱光电探测过程中,人们通常关注探测响应度和比探测度等性能,因此在探测器的设计中重点研究入射光子的吸收和光生载流子的漂移等物理过程。在宽谱探测、窄带探测等光谱探测中需要探测器区分不同波长通道的响应信号,光生载流子复合... 在宽谱光电探测过程中,人们通常关注探测响应度和比探测度等性能,因此在探测器的设计中重点研究入射光子的吸收和光生载流子的漂移等物理过程。在宽谱探测、窄带探测等光谱探测中需要探测器区分不同波长通道的响应信号,光生载流子复合是调控不同光谱通道探测信号的重要手段。通过数值仿真的方法研究了异质结探测器的能带结构和电场强度分布,进而分析了光生载流子的复合过程。通过对探测器不同半导体层电子亲和势的设计,利用光生载流子复合调控不同波长通道的探测信号,最终使得不同偏置电压下探测器光谱响应特性呈现出较大的非线性。通过对四层传感器的设计,获得带隙分布为3.09 eV/2.51 eV/1.94 eV/1.36 eV,电子亲和势为3.09 eV/3.42 eV/3.71 eV/4.07 eV。与单带隙的PIN光电二极管相比较,优化后的四层传感器的光谱响应曲线的相关性系数从0.99降低到0.56。该研究成果为后续光谱信息重构获得有效探测信号提供了保障。 展开更多
关键词 光电探测器 光生载流子复合 数值仿真 光谱响应 入射光吸收
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宽带高功率三维异构集成微波光子探测器 被引量:1
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作者 许向前 龚广宇 +4 位作者 孙雷 李宇 康晓晨 李思敏 潘时龙 《红外与毫米波学报》 北大核心 2025年第1期112-117,共6页
本研究采用三维异构集成技术实现单行载流子光电二极管与微波集成电路芯片堆叠集成,研制出一款微波光子应用的高功率、宽带探测器芯片。通过优化单行载流子光电二极管的材料掺杂和外延工艺,显著提高了功率承受能力;采用集成背入射透镜... 本研究采用三维异构集成技术实现单行载流子光电二极管与微波集成电路芯片堆叠集成,研制出一款微波光子应用的高功率、宽带探测器芯片。通过优化单行载流子光电二极管的材料掺杂和外延工艺,显著提高了功率承受能力;采用集成背入射透镜和增设金属反射层的设计,有效提升了响应度;通过提取光电二极管的精确模型并采用阻抗补偿及宽带匹配电路设计技术,成功增强了宽带特性。将光电二极管芯片倒装集成在微波集成电路芯片上,大幅减小了芯片互连电路对高频性能的不利影响;采用高导热率底层芯片的设计,极大提升了探测器芯片的导热性能和高功率处理特性。研制的三维异构集成光电探测器1 dB带宽高达42 GHz,射频回波损耗优于11 dB,响应度优于0.85 A/W,暗电流低于50 nA,饱和输入光功率超过120 mW。三维异构集成微波光子探测器芯片实现了优异的带宽和响应度特性,该设计方法为微波光子应用提供了创新性的解决方案。 展开更多
关键词 微波光子学 单行载流子光电二极管 宽带 高功率 三维异构集成
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X波段高功率InP/InGaAs单行载流子光电二极管
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作者 杨大宝 刘波 +3 位作者 周幸叶 许婧 邢东 冯志红 《半导体技术》 北大核心 2025年第10期1001-1005,共5页
为提高光电转换器件的输出功率,设计并制备了一种新型InP/InGaAs高功率电荷补偿(CC)改进型单行载流子(MUTC)光电二极管(PD)。InGaAs吸收层采用p型高斯掺杂部分耗尽层与非故意掺杂耗尽层相结合的形式,在异质结界面产生一个强电场以加速... 为提高光电转换器件的输出功率,设计并制备了一种新型InP/InGaAs高功率电荷补偿(CC)改进型单行载流子(MUTC)光电二极管(PD)。InGaAs吸收层采用p型高斯掺杂部分耗尽层与非故意掺杂耗尽层相结合的形式,在异质结界面产生一个强电场以加速电子通过异质结界面,从而起到缓解异质结电子积聚的作用,增大了芯片的3 dB带宽;在吸收层和收集层间增加一层n型掺杂InP崖层,以增强异质结界面的电场,有效缓解了芯片空间电荷效应。为提高器件的高功率输出性能,将芯片阳极结直径增大到40μm,以增加芯片的散热面积;将背入射式芯片以倒装焊方式安装到300μm厚的金刚石基片上,以提高其散热性能。经测试,在1.55μm波长的激光照射下,该CC-MUCT-PD芯片的响应度在-6 V偏压下达到0.7 A/W,在10 GHz处脉冲输出功率为313 mW。 展开更多
关键词 高输出功率 电荷补偿(CC)改进型单行载流子(MUTC)光电二极管(PD) 高斯掺杂 背入射 金刚石基底
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超宽带高饱和单行载流子光探测器研究(特邀) 被引量:4
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作者 熊兵 晁恩飞 +6 位作者 罗毅 孙长征 韩彦军 王健 郝智彪 汪莱 李洪涛 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2021年第7期64-69,共6页
超宽带单行载流子(UTC)光电探测器因其仅需快速的电子输运过程,较传统PIN探测器具有明显宽带优势,是6G宽带无线通信、太赫兹成像、超宽带噪声发生器等亚太赫兹频段系统中的核心光电子器件之一。面向亚太赫兹频段光电转换需求,针对UTC探... 超宽带单行载流子(UTC)光电探测器因其仅需快速的电子输运过程,较传统PIN探测器具有明显宽带优势,是6G宽带无线通信、太赫兹成像、超宽带噪声发生器等亚太赫兹频段系统中的核心光电子器件之一。面向亚太赫兹频段光电转换需求,针对UTC探测器中大带宽与高饱和功率之间的矛盾问题,分别研究并突破了光生载流子高速输运机理、感性共面波导器件(CPW)结构等关键技术,研制成功带宽106 GHz、饱和输出功率7.3 dBm的双漂移层结构MUTC探测器芯片,和带宽超过150 GHz的超宽带MUTC探测器芯片。 展开更多
关键词 探测器 单行载流子结构 亚太赫兹 高饱和功率
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表面等离激元热载流子光电探测器研究进展 被引量:2
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作者 邱开放 翟爱平 +3 位作者 王文艳 李国辉 郝玉英 崔艳霞 《半导体技术》 CAS 北大核心 2020年第3期169-178,共10页
表面等离激元热载流子光电探测器最近几年颇受关注。可通过合理设计金属微纳结构,如改变其构成、形状、维度来实现能量低于材料带隙的光子光电转换,提升现有器件的综合性能。这一思路极大地拓展了传统半导体光电器件的设计范畴,因此被... 表面等离激元热载流子光电探测器最近几年颇受关注。可通过合理设计金属微纳结构,如改变其构成、形状、维度来实现能量低于材料带隙的光子光电转换,提升现有器件的综合性能。这一思路极大地拓展了传统半导体光电器件的设计范畴,因此被广泛应用于光催化、光伏、光电探测等领域。综述了表面等离激元热载流子光电探测器的研究进展,介绍了其工作原理,并根据金属微纳结构的不同,从器件物理与计算、关键工艺、关键材料和应用范畴等方面详细介绍了颗粒型、光栅型和其他复合型结构的表面等离激元热载流子光电探测器的研究历史及现状,最后对表面等离激元热载流子光电探测器的应用前景进行了展望。 展开更多
关键词 光电探测器 光电子器件 表面等离激元 载流子 微纳结构
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110~200GHz频段InP单行载流子光电二极管 被引量:1
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作者 杨大宝 邢东 +2 位作者 赵向阳 刘波 冯志红 《半导体技术》 北大核心 2024年第1期39-44,共6页
设计制备了一种基于InP材料低偏压工作的单行载流子光电二极管(UTC-PD),该器件的工作频率范围为110~200 GHz。为提升器件的带宽特性,UTC-PD芯片的吸收层采用p型高斯掺杂的InGaAs材料,芯片的InP衬底减薄至12μm。UTC-PD采用背照式的方式... 设计制备了一种基于InP材料低偏压工作的单行载流子光电二极管(UTC-PD),该器件的工作频率范围为110~200 GHz。为提升器件的带宽特性,UTC-PD芯片的吸收层采用p型高斯掺杂的InGaAs材料,芯片的InP衬底减薄至12μm。UTC-PD采用背照式的方式输入光信号。通过倒装焊的形式将芯片安装在厚度为50μm的AlN基片上的共面波导焊盘上进行测试。在-3 V偏压和155μm波长输入光条件下,制备器件的响应度超过02 A/W;在110 GHz处获得最高输出功率为-56 dBm,19783 GHz处的输出功率最低为-106 dBm。 展开更多
关键词 低偏压 单行载流子光电二极管(UTC-PD) 高斯掺杂 背照式 响应度
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表面等离激元热载流子光电探测器研究进展(续)
8
作者 邱开放 翟爱平 +3 位作者 王文艳 李国辉 郝玉英 崔艳霞 《半导体技术》 CAS 北大核心 2020年第4期249-254,共6页
4其他方式激发SPP效应前文介绍了目前用来激发SPP效应最常见的几种方式,但研究者们也通过其他方式实现了SPP效应的激发,改善了器件的光电性能。最早研究的是利用棱镜耦合来激发SPP[82-85]。激发方式主要分为Kretschmann结构[83]和Otto[... 4其他方式激发SPP效应前文介绍了目前用来激发SPP效应最常见的几种方式,但研究者们也通过其他方式实现了SPP效应的激发,改善了器件的光电性能。最早研究的是利用棱镜耦合来激发SPP[82-85]。激发方式主要分为Kretschmann结构[83]和Otto[82]结构,如图16(a)和(b)所示,图中θi为光的入射角度。 展开更多
关键词 载流子 光电探测器 光电探测器 等离激元 半导体结
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石墨烯/二氧化钛异质结场效应探测器光电特性 被引量:6
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作者 周全 张恩亮 +3 位作者 白向兴 申钧 魏大鹏 汪岳峰 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第6期18-26,共9页
利用二氧化钛薄膜光吸收及表面钝化特性,在硅晶圆基底表面制备石墨烯/二氧化钛异质结场效应管光电探测器,并研究其光电响应特性.结果表明,二氧化钛钝化后的探测器可以有效抑制沟道表面的气体小分子吸附,降低器件的暗电流漂移;同时,探测... 利用二氧化钛薄膜光吸收及表面钝化特性,在硅晶圆基底表面制备石墨烯/二氧化钛异质结场效应管光电探测器,并研究其光电响应特性.结果表明,二氧化钛钝化后的探测器可以有效抑制沟道表面的气体小分子吸附,降低器件的暗电流漂移;同时,探测器利用石墨烯的电荷敏感和复合薄膜的光谱吸收特性,显著提高了石墨烯场效应管的响应度.紫外波段,顶层二氧化钛吸光产生的光生电子将注入到石墨烯沟道中,对石墨烯沟道产生n型掺杂,器件最大响应度可达3.5×10~5A/W.在可见光波段,因为二氧化钛层与石墨烯薄膜间存在杂质能级,界面间的电荷转移使沟道载流子寿命显著提高.相对于传统的二氧化钛阵列探测器,该探测器在响应波段与响应度性能上都具有明显优势. 展开更多
关键词 石墨烯 异质结 场效应管 光电探测器 背栅调制 耦合 载流子寿命
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基于光子晶体的一维位置敏感探测器 被引量:3
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作者 席锋 秦岚 +1 位作者 薛联 段莹 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第4期1035-1039,共5页
位置敏感探测器(PSD)是基于半导体的横向光电效应的光电转换器件。根据横向光电效应的原理,增强光生载流子的寿命可提高光生载流子的扩散长度,从而实现横向光电效应的增强。利用缺陷和完整光子晶体设计了一维位置敏感探测器,并用传输矩... 位置敏感探测器(PSD)是基于半导体的横向光电效应的光电转换器件。根据横向光电效应的原理,增强光生载流子的寿命可提高光生载流子的扩散长度,从而实现横向光电效应的增强。利用缺陷和完整光子晶体设计了一维位置敏感探测器,并用传输矩阵法计算了缺陷光子晶体的透射率和完整光子晶体的反射率。从所设计的位置敏感探测器对入射光的响应理论研究表明,提高缺陷光子晶体的透射率和完整光子晶体的反射率可提高光生载流子的寿命,从而实现增强位置敏感探测器的横向光电效应。 展开更多
关键词 位置敏感探测器 横向光电效应 光子晶体 光生载流子
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光探测器偏压调制技术的理论研究(英文) 被引量:1
11
作者 徐晓慧 黄永清 +2 位作者 段晓峰 刘凯 任晓敏 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第5期42-51,共10页
为了简化和改善光载无线通信系统,提出了一种光探测器偏压调制技术,利用PIN光探测器(PIN-PD)和单行载流子光探测器(UTC-PD)的输出光电流随偏压变化的特性进行调制.采用光探测器偏置调制技术,光电探测和调制可以在一个光探测器上同时实现... 为了简化和改善光载无线通信系统,提出了一种光探测器偏压调制技术,利用PIN光探测器(PIN-PD)和单行载流子光探测器(UTC-PD)的输出光电流随偏压变化的特性进行调制.采用光探测器偏置调制技术,光电探测和调制可以在一个光探测器上同时实现.研究表明当入射光功率为2.93dBm时,PIN-PD在10GHz射频副载波上的调制带宽为800MHz,UTC-PD在150GHz射频副载波上的调制带宽为18.75GHz.调制带宽随入射光功率的增大而增大,当入射光功率为12.93dBm时,UTC-PD在150GHz射频副载波上的调制带宽可达25GHz.调制深度与正弦偏压调制信号的最小值有关. 展开更多
关键词 PIN光探测器 单行载流子探测器 非线性 偏压调制 光载无线通信
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光电探测技术及器件
12
《中国光学》 EI CAS 1998年第3期73-74,共2页
TN364.2 98031903用于电路模拟的PIN雪崩光电二极管模型=PINavalanche photodiode model for circuit simula-tion[刊.中]/陈维友,刘式墉(吉林大学.吉林,长春(130023))∥固体电子学研究与进展.—1997,17(3).—242—249针对PIN结构的特殊... TN364.2 98031903用于电路模拟的PIN雪崩光电二极管模型=PINavalanche photodiode model for circuit simula-tion[刊.中]/陈维友,刘式墉(吉林大学.吉林,长春(130023))∥固体电子学研究与进展.—1997,17(3).—242—249针对PIN结构的特殊性,作了适当的合理近似,考虑了p,n区少子扩散,i区载流子漂移,给出一个完整的PIN雪崩光电二极管电路模型。它可用于直。 展开更多
关键词 雪崩光电二极管 研究与进展 电路模型 表面固定电荷密度 固体电子学 器件 毫米波 光电探测器 载流子 特殊性
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光电探测技术及器件
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《中国光学》 EI CAS 1998年第5期76-76,共1页
TN364.2 98053323硅光敏管内量子效率与硅的能带结构=Quantumefficiency in silicon photodiode and band struc—ture of silicon[刊,中]/胡东红,张玲,张明(湖北大学物理系。湖北,武汉(430062))∥光电子技术.—1997,17(2).—98—101讨... TN364.2 98053323硅光敏管内量子效率与硅的能带结构=Quantumefficiency in silicon photodiode and band struc—ture of silicon[刊,中]/胡东红,张玲,张明(湖北大学物理系。湖北,武汉(430062))∥光电子技术.—1997,17(2).—98—101讨论了硅光敏管内量子效率与硅的能带结构、硅的光吸收系数的关系,认为在硅光敏管PN结实现100%收集载流子的情况下,内量子效率曲线在一定程度上反映了硅的能带结构、能态密度。图4参4(严寒) 展开更多
关键词 能带结构 内量子效率 光敏管 光吸收系数 光电子技术 能态密度 湖北大学 载流子 探测器 探测技术
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旋转双层石墨烯光电器件 被引量:1
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作者 谭平恒 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2016年第5期1047-1048,共2页
石墨烯是由单层碳原子按六方晶格排布构成的二维原子晶体,碳原子的核外电子以sp^2杂化成σ键,未参与杂化的pz轨道构成π键。在能带上,π键使石墨烯在费米面附近形成线性狄拉克锥形能带结构,这一晶格及能带结构使石墨烯的光生载流子可以... 石墨烯是由单层碳原子按六方晶格排布构成的二维原子晶体,碳原子的核外电子以sp^2杂化成σ键,未参与杂化的pz轨道构成π键。在能带上,π键使石墨烯在费米面附近形成线性狄拉克锥形能带结构,这一晶格及能带结构使石墨烯的光生载流子可以在非常短的时间内产生和复合(分别50 fs及10 ps量级),因此,石墨烯在超快光电探测上有很大的潜力。 展开更多
关键词 石墨烯 光电探测器 六方晶格 Π键 能带结构 光生载流子 碳原子 杂化 原子晶体 Σ键
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光探测与器件
15
《中国光学》 EI CAS 2003年第2期61-62,共2页
TL816 2003021251CdSe核辐射探测器的噪声与漏电流=Noise and leakagecurrent in CdSe detectors with MSM structure[刊,中]/金应荣(四川大学材料科学系.四川,成都(610064)),朱世富…//半导体学报.—2002,23(8).—835-839对具有金属-... TL816 2003021251CdSe核辐射探测器的噪声与漏电流=Noise and leakagecurrent in CdSe detectors with MSM structure[刊,中]/金应荣(四川大学材料科学系.四川,成都(610064)),朱世富…//半导体学报.—2002,23(8).—835-839对具有金属-半导体-金属(MSM)结构的CdSe探测器的噪声进行了实验观测,并对探测器中光生载流子的输运过程进行了分析,结果表明探测器的噪声是由从正极注入的空穴电流引起的。因此只有改变正极接触,才能有效地阻止空穴注入,从而消除探测器噪声。 展开更多
关键词 光电探测器系统 半导体 噪声 核辐射探测器 器件 光生载流子 电光探针 肖特基势垒 输运过程 材料科学
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面向6G无线通信应用的太赫兹收发器 被引量:6
16
作者 张真真 王长 +1 位作者 谭智勇 曹俊诚 《无线电通信技术》 2021年第6期772-779,共8页
太赫兹(Terahertz,THz)波的定义为频率从0.1~10 THz范围的电磁波。THz通信技术被认为是用于6G应用场景的新兴技术,该技术的优点在于具有更宽的信道带宽,并可以提供高达数T比特每秒(Tbit/s)的超高速数据传输。介绍了面向6G无线通信系统... 太赫兹(Terahertz,THz)波的定义为频率从0.1~10 THz范围的电磁波。THz通信技术被认为是用于6G应用场景的新兴技术,该技术的优点在于具有更宽的信道带宽,并可以提供高达数T比特每秒(Tbit/s)的超高速数据传输。介绍了面向6G无线通信系统应用颇具潜力的几种THz光子学收发器的工作原理和研究进展,包括单行载流子光电二极管(UTC-PD)、肖特基二极管(SBD)、THz量子级联激光器(THz QCL)和THz量子阱探测器(THz QWP)。研究表明,这4种收发器在未来6G无线通信中具有潜在的应用价值。 展开更多
关键词 太赫兹 无线通信 6G 单行载流子光电二极管 肖特基二极管 太赫兹量子级联激光器太赫兹量子阱探测器
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基于DPMZM和UTC-PD的宽带太赫兹信号产生及传输研究
17
作者 董洪建 葛锦蔓 李琪 《光通信技术》 2022年第1期20-24,共5页
为了能够充分利用微波光子倍频优势并简化系统复杂度,提出一种基于双平行马赫-曾德尔调制器(DPMZM)和单行载流子光电二极管(UTC-PD)的宽带太赫兹矢量信号产生及光纤传输方案,通过适当地调整DPMZM直流偏压和调制指数,矢量信号被调制在光... 为了能够充分利用微波光子倍频优势并简化系统复杂度,提出一种基于双平行马赫-曾德尔调制器(DPMZM)和单行载流子光电二极管(UTC-PD)的宽带太赫兹矢量信号产生及光纤传输方案,通过适当地调整DPMZM直流偏压和调制指数,矢量信号被调制在光波的+3阶边带,本振信号被调制在光波的-3阶边带,并采用VPI软件对方案进行了仿真验证。仿真结果表明:当系统采用36.7 GHz的本振信号六倍频后,产生了载频为220 GHz、码速率为20 GSym/s的正交相移键控的太赫兹矢量信号,经1~4 km的光纤传输,接收机功率损失小于3 dBm。 展开更多
关键词 太赫兹 矢量信号 单行载流子光电二极管 双平行马赫-曾德尔调制器 六倍频
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半导体所在锑化物纳米线研究中取得系列进展
18
《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第2期327-327,共1页
III-V族半导体纳米线凭借其独特的准一维结构和物理特性在纳米晶体管、纳米传感器和纳米光电探测器等方面有着重要潜在应用,是当前国际研究的热点。特别是,三元合金InAsSb纳米线除了具有超高的载流子迁移率和极小的有效质量外,其可调的... III-V族半导体纳米线凭借其独特的准一维结构和物理特性在纳米晶体管、纳米传感器和纳米光电探测器等方面有着重要潜在应用,是当前国际研究的热点。特别是,三元合金InAsSb纳米线除了具有超高的载流子迁移率和极小的有效质量外,其可调的带隙以及电、光学性能使其成为红外探测器的理想材料。目前,国际上广泛采用外来Au催化的气-液-固(VLS)机制制备纳米线, 展开更多
关键词 红外探测器 光电探测器 准一维 锑化物 光学性能 生长机制 三元合金 载流子迁移率 深能级 自催化
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半导体所在锑化物纳米线研究中取得系列进展
19
《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2016年第2期524-524,共1页
III-V族半导体纳米线凭借其独特的准一维结构和物理特性在纳米晶体管、纳米传感器和纳米光电探测器等方面有着重要潜在应用,是当前国际研究的热点。特别是,三元合金InA sS b纳米线除了具有超高的载流子迁移率和极小的有效质量外,其可调... III-V族半导体纳米线凭借其独特的准一维结构和物理特性在纳米晶体管、纳米传感器和纳米光电探测器等方面有着重要潜在应用,是当前国际研究的热点。特别是,三元合金InA sS b纳米线除了具有超高的载流子迁移率和极小的有效质量外,其可调的带隙以及电、光学性能使其成为红外探测器的理想材料。 展开更多
关键词 半导体纳米线 锑化物 载流子迁移率 纳米晶体管 光电探测器 纳米传感器 红外探测器 物理特性
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