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扫描探针显微镜单管式扫描器结构误差的研究
被引量：
3
1
作者
刘安伟
胡小唐
张国雄
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1999年第1期45-48,共4页
单管式扫描器的结构误差是影响扫描探针显微镜测量精度的主要误差因素之一。本文对单管式扫描器的结构误差，主要包括交叉耦合误差、非正交误差以及扫描器形状误差，进行了实验和理论研究，并提出了一些相应的补偿措施。
关键词
扫描
探针显微镜
单管式扫描器
结构误差
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职称材料
题名
扫描探针显微镜单管式扫描器结构误差的研究
被引量：
3
1
作者
刘安伟
胡小唐
张国雄
机构
天津大学精密仪器及光电子工程学院
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1999年第1期45-48,共4页
基金
国家自然科学基金
微米/纳米国防预研微机理研究专项青年基金
文摘
单管式扫描器的结构误差是影响扫描探针显微镜测量精度的主要误差因素之一。本文对单管式扫描器的结构误差，主要包括交叉耦合误差、非正交误差以及扫描器形状误差，进行了实验和理论研究，并提出了一些相应的补偿措施。
关键词
扫描
探针显微镜
单管式扫描器
结构误差
Keywords
Scanning probe microscope Tube scanner Structure errors
分类号
TH741.801 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
扫描探针显微镜单管式扫描器结构误差的研究
刘安伟
胡小唐
张国雄
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1999
3
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