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薄膜反射镜的单电极控制静电成形
被引量：
4
1
作者
安源
金光
+3 位作者
齐迎春
孙小伟
蒋宁
艾晨光
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第8期1964-1970,共7页
考虑薄膜反射镜具有质量轻、柔韧性好、可折叠等优点,研究了由静电拉伸法制备薄膜反射镜的新技术。介绍了薄膜反射镜的静电成形机理,计算了单电极模式下薄膜所受力场,设计了单电极式薄膜反射镜的控制实验。给出了控制成型所需的主要参数...
考虑薄膜反射镜具有质量轻、柔韧性好、可折叠等优点,研究了由静电拉伸法制备薄膜反射镜的新技术。介绍了薄膜反射镜的静电成形机理,计算了单电极模式下薄膜所受力场,设计了单电极式薄膜反射镜的控制实验。给出了控制成型所需的主要参数,设计了薄膜反射镜的夹持结构和控制电路,并利用刀口仪测量了形成的反射面的焦距。实验结果显示,未通电时薄膜反射镜面形的PV值达到11.14λ,RMS值为1.86λ,在10000V的高压下可以形成焦距约为2.1m的反射镜面。通过Zernike拟合验证了数据的可靠性,结果表明,通过改善夹持结构精度和选取性能优良的薄膜材料,反射镜面形精度可进一步提高。
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关键词
薄膜反射镜
单电极控制
静电拉伸
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职称材料
题名
薄膜反射镜的单电极控制静电成形
被引量：
4
1
作者
安源
金光
齐迎春
孙小伟
蒋宁
艾晨光
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
吉林大学
长春理工大学
北京邮电大学
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第8期1964-1970,共7页
基金
国家863计划项目(No.2007AA12Z113)
文摘
考虑薄膜反射镜具有质量轻、柔韧性好、可折叠等优点,研究了由静电拉伸法制备薄膜反射镜的新技术。介绍了薄膜反射镜的静电成形机理,计算了单电极模式下薄膜所受力场,设计了单电极式薄膜反射镜的控制实验。给出了控制成型所需的主要参数,设计了薄膜反射镜的夹持结构和控制电路,并利用刀口仪测量了形成的反射面的焦距。实验结果显示,未通电时薄膜反射镜面形的PV值达到11.14λ,RMS值为1.86λ,在10000V的高压下可以形成焦距约为2.1m的反射镜面。通过Zernike拟合验证了数据的可靠性,结果表明,通过改善夹持结构精度和选取性能优良的薄膜材料,反射镜面形精度可进一步提高。
关键词
薄膜反射镜
单电极控制
静电拉伸
Keywords
membrane mirror
controlled with single electrode
electrostatic stretching
分类号
TH704 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
薄膜反射镜的单电极控制静电成形
安源
金光
齐迎春
孙小伟
蒋宁
艾晨光
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
4
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