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双纵模He-Ne激光单模干涉在大尺寸测量中的研究
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作者 吴斌 喻洪平 莫莉 《中国测试》 CAS 2010年第5期12-14,共3页
采用双纵模热稳频He-Ne激光作为光源,其拍波波长作为测量大尺寸的基准,可实现大尺寸零件的精密测量。在前期研究的基础上利用其两个单模干涉实现整数倍拍波波长被测长度的确定,解决了该段长度测量精度难题,并利用激光单模干涉实现不足... 采用双纵模热稳频He-Ne激光作为光源,其拍波波长作为测量大尺寸的基准,可实现大尺寸零件的精密测量。在前期研究的基础上利用其两个单模干涉实现整数倍拍波波长被测长度的确定,解决了该段长度测量精度难题,并利用激光单模干涉实现不足一个拍波波长长度的测量。该方法可实现对大尺寸工件几何尺寸的现场测量,并具有较高的精度。 展开更多
关键词 大尺寸 热稳频 拍波波长 单模干涉
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