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利用工艺和器件仿真优化发射极提高单晶硅电池转换效率 被引量:6
1
作者 邢宇鹏 韩培德 +3 位作者 范玉杰 王帅 梁鹏 叶舟 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第10期1999-2003,共5页
利用半导体工艺及器件仿真工具TCAD软件的工艺仿真模块模拟单晶硅电池制造过程中的扩散和热氧化过程,得到与测试结果相一致的掺杂分布曲线。在工艺仿真基础上,利用TCAD软件的器件仿真模块计算电池的转换效率和内量子效率,发现通过降低... 利用半导体工艺及器件仿真工具TCAD软件的工艺仿真模块模拟单晶硅电池制造过程中的扩散和热氧化过程,得到与测试结果相一致的掺杂分布曲线。在工艺仿真基础上,利用TCAD软件的器件仿真模块计算电池的转换效率和内量子效率,发现通过降低扩散温度以及在扩散之后加入热氧化工艺可减小发射极表面附近的掺杂,从而减小发射极复合以及表面复合,且热氧化还可减少发射极方阻,如果电池接触电阻增加较小的话,上述工艺可提高转换效率。通过测试实际电池的量子效率曲线对仿真进行验证,说明了器件仿真的准确性。 展开更多
关键词 单晶硅电池 发射极 仿真 磷扩散
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CO_2连续激光对单晶硅电池的辐照效应 被引量:4
2
作者 邱冬冬 王睿 +1 位作者 程湘爱 金华松 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第6期1671-1674,共4页
研究了CO2激光对单晶硅太阳能电池的辐照效应,并对其损伤机理进行了分析。在激光功率密度较低而不能使电池产生物理损伤时,电池的性能会因在被辐照过程中温度的升高而产生暂时性降低;当激光功率密度高到使电池产生物理损伤时,电池的输... 研究了CO2激光对单晶硅太阳能电池的辐照效应,并对其损伤机理进行了分析。在激光功率密度较低而不能使电池产生物理损伤时,电池的性能会因在被辐照过程中温度的升高而产生暂时性降低;当激光功率密度高到使电池产生物理损伤时,电池的输出性能便产生永久下降。通过对比激光辐照前后电池伏安特性曲线和输出功率曲线的变化情况,结合对损伤形貌的分析,表明:当电池被物理损伤之后,电池的性能会出现大幅度下降,硅PN结的严重烧蚀破坏是主要原因。 展开更多
关键词 CO2连续激光 单晶硅电池 损伤效应 伏安特性曲线
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激光辐照单晶硅电池转换效率的研究 被引量:11
3
作者 杨鹏 杨雁南 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2012年第5期696-699,共4页
为了研究激光照射下单晶硅电池的转换效率,在理想电池太阳光照射下极限转换效率研究方法的基础上,提出激光照射下理想电池转换效率的计算方法,并推导出解析表达式,通过计算和实验测量研究了激光波长、激光强度、环境温度等因素对转换效... 为了研究激光照射下单晶硅电池的转换效率,在理想电池太阳光照射下极限转换效率研究方法的基础上,提出激光照射下理想电池转换效率的计算方法,并推导出解析表达式,通过计算和实验测量研究了激光波长、激光强度、环境温度等因素对转换效率的影响。结果表明,相对太阳光,单晶硅电池对单色激光的光电转换效率明显提高,最高转换效率可达27.7%。该结果对激光电力传输应用的研究具有一定的参考价值。 展开更多
关键词 激光技术 激光电力传输 单晶硅电池 转换效率
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单晶硅电池对不同波长色光响应程度的研究 被引量:2
4
作者 刘建科 王浩 李冠强 《陕西科技大学学报(自然科学版)》 2016年第2期165-168,共4页
以氙灯为光源,经五种不同的滤色片进行滤光并对每一种光用光谱仪进行测定并与标准谱比对,然后分别照射在太阳能电池片上,通过调节氙灯的电源及光源与电池片之间的距离控制不同的光照强度,测量其开路电压、短路电流及最大输出功率.通过... 以氙灯为光源,经五种不同的滤色片进行滤光并对每一种光用光谱仪进行测定并与标准谱比对,然后分别照射在太阳能电池片上,通过调节氙灯的电源及光源与电池片之间的距离控制不同的光照强度,测量其开路电压、短路电流及最大输出功率.通过这些数据来计算太阳能电池的其他参数,并以波长为基础对每一种参数进行分析对比,得出了太阳能电池对这五种不同波长单色光的光电响应情况.结果表明波长为577nm的单色光响应情况最为显著,并且伴随着光强的增加,其效率增长速度也随之增加. 展开更多
关键词 单晶硅电池 单色光波长 光强特性曲线 光生伏特效应
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单晶硅电池碱腐蚀制绒工艺的试验研究 被引量:2
5
作者 赵洪涛 《可再生能源》 CAS 北大核心 2012年第11期10-14,共5页
介绍了单晶硅电池碱腐蚀制绒技术和金字塔结构形成的原理,通过NaOH碱性溶液浓度、异丙醇浓度、制绒腐蚀时间、制绒腐蚀温度、硅酸钠含量等优化试验,制备出具有不同金字塔状绒面的太阳能电池。采用扫描电子显微镜观察样品的表面形貌,并... 介绍了单晶硅电池碱腐蚀制绒技术和金字塔结构形成的原理,通过NaOH碱性溶液浓度、异丙醇浓度、制绒腐蚀时间、制绒腐蚀温度、硅酸钠含量等优化试验,制备出具有不同金字塔状绒面的太阳能电池。采用扫描电子显微镜观察样品的表面形貌,并进行了分析讨论。通过对影响金字塔状绒面性能质量的关键因素研究,得出了碱腐蚀制绒的最佳工艺参数:NaOH浓度为15 g/L;异丙醇体积浓度为3%~10%;反应时间为30 min;反应温度为85℃;Na2Si03.9H2O质量含量为5%;样品绒面平均反射率为9.1%。 展开更多
关键词 单晶硅电池 碱腐蚀 金字塔状绒面
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单晶硅电池表面织构与光电特性的关系 被引量:2
6
作者 方正 王大镇 +2 位作者 许志龙 杨星 李煌 《微纳电子技术》 北大核心 2019年第11期888-894,共7页
针对在单晶硅片表面制备陷光织构可提高吸光率,但同时将导致光生伏特效应被削弱的问题,定义了电池的光学特性系数和电学特性系数,以表征电池光电特性。通过采用不同的化学制绒工艺参数,在单晶硅片表面获得不同尺寸的表面织构,分析了织... 针对在单晶硅片表面制备陷光织构可提高吸光率,但同时将导致光生伏特效应被削弱的问题,定义了电池的光学特性系数和电学特性系数,以表征电池光电特性。通过采用不同的化学制绒工艺参数,在单晶硅片表面获得不同尺寸的表面织构,分析了织构平均高度对电池光电特性和转换效率的影响规律。结果表明:随着单晶硅片表面织构平均高度的增大,单晶硅电池的光学特性系数呈现先升高再降低的规律,电学特性系数呈现逐渐减小的规律;基于中型金字塔绒织构的硅电池同时兼顾了光学特性和电学特性,得到最高的光电转换效率为19.49%。 展开更多
关键词 单晶硅电池 表面织构 反射率 少子寿命 量子效率 光电特性 光电转换效率
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工业视觉机器人在单晶硅电池片PVD工艺中的应用
7
作者 郭晋竹 李大伟 +1 位作者 乔雷 郑凯 《电子工业专用设备》 2017年第2期30-35,共6页
介绍了单晶硅电池片物理气相沉积(PVD)工序封装解决方案及工艺流程。通过设计基于视觉技术的SCARA工业机器人系统,实现了封装流程的自动化,解决了人工封装过程效率低、成本高、容易污染硅片的问题。并对该系统进行了分析优化,给出了提... 介绍了单晶硅电池片物理气相沉积(PVD)工序封装解决方案及工艺流程。通过设计基于视觉技术的SCARA工业机器人系统,实现了封装流程的自动化,解决了人工封装过程效率低、成本高、容易污染硅片的问题。并对该系统进行了分析优化,给出了提高精度、速度的优化方案。 展开更多
关键词 单晶硅电池 PVD工艺 工业视觉机器人
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链式热氧化与槽式碱抛光工艺条件对PERC单晶硅太阳电池光电转换效率的影响
8
作者 晏海刚 李宁 +3 位作者 张绳亮 王磊 张仕君 王慧芳 《太阳能》 2024年第8期95-103,共9页
针对PERC单晶硅太阳电池制备工艺中3合1工序的链式热氧化工艺的氧化性能与槽式碱抛光工艺酸洗槽的去氧化能力的工艺窗口及匹配性进行了研究。首先设计实验分别测试链式热氧化工艺条件(包括温度、氧气流量)、槽式碱抛光工艺的酸洗槽液体... 针对PERC单晶硅太阳电池制备工艺中3合1工序的链式热氧化工艺的氧化性能与槽式碱抛光工艺酸洗槽的去氧化能力的工艺窗口及匹配性进行了研究。首先设计实验分别测试链式热氧化工艺条件(包括温度、氧气流量)、槽式碱抛光工艺的酸洗槽液体浓度对扩散后硅片表面掺杂浓度及PERC单晶硅太阳电池光电转换效率的影响;再根据初步实验结果对链式热氧化工艺与槽式碱抛光工艺的匹配性进行分析,得到整体3合1工序的优化工艺方案;然后采用电化学微分电容电压(ECV)测试扩散后硅片表面掺杂浓度及结深的变化情况,对研究结果进行了佐证,最终达到提升PERC单晶硅太阳电池光电转换效率的目的。研究结果表明:3合1工序中的链式热氧化工艺与槽式碱抛光工艺对扩散后硅片表面掺杂浓度及PERC单晶硅太阳电池电性能存在重要影响,优化链式热氧化工艺的温度、氧气流量与槽式碱抛光工艺的酸洗槽液体浓度,提高二者的匹配性,使氧化能力与去氧化能力均达到临界点,可以最大程度地提高PERC单晶硅太阳电池的光电转换效率。 展开更多
关键词 PERC单晶硅太阳电池 链式热氧化 槽式碱抛光 酸洗槽液体浓度 掺杂浓度 光电转换效率 电性能
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单晶硅太阳电池的分步制绒工艺研究
9
作者 曹文学 郭望东 +3 位作者 孙敬红 晏海刚 王慧芳 张绳亮 《太阳能》 2024年第12期84-89,共6页
制绒工艺是单晶硅太阳电池制备过程中的一个重要环节,其对于提升太阳电池的整体电性能至关重要。在工业化大规模生产中,单晶硅太阳电池的制绒工艺主要依托于氢氧化钠溶液体系。该溶液体系巧妙利用了单晶硅不同晶面间显著的腐蚀差异性特... 制绒工艺是单晶硅太阳电池制备过程中的一个重要环节,其对于提升太阳电池的整体电性能至关重要。在工业化大规模生产中,单晶硅太阳电池的制绒工艺主要依托于氢氧化钠溶液体系。该溶液体系巧妙利用了单晶硅不同晶面间显著的腐蚀差异性特点。当与低浓度氢氧化钠溶液接触时,这种腐蚀差异性得以充分发挥,进而驱动单晶硅表面演化出类似“金字塔”结构的微米级绒面形态。提出了不同于常规一步制绒工艺的分步制绒工艺,通过调整制绒槽的连接方式,实现了对绒面的再处理。针对不同制绒工艺对单晶硅片表面参数、微观形貌、膜层厚度及PERC太阳电池电性能的影响进行了对比分析。分析结果显示:1)相较于采用常规制绒工艺,采用分步制绒工艺后,单晶硅片表面的绒面高度、反射率均出现了下降,且出绒率有所提升;2)由分步制绒工艺得到的硅片表面“金字塔”结构较为密集,“金字塔”大小较为均匀,优于常规制绒工艺得到的“金字塔”;3)与采用常规制绒工艺后制备得到的PERC太阳电池相比,采用分步制绒工艺后制备得到的PERC太阳电池在光电转换效率、短路电流、填充因子方面均存在优势。 展开更多
关键词 单晶硅太阳电池 制绒工艺 分步制绒 绒面优化 电性能
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超短脉冲激光对单晶硅太阳能电池的损伤效应 被引量:10
10
作者 邱冬冬 王睿 +2 位作者 程湘爱 张震 江天 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2012年第1期112-115,共4页
太阳能是未来的主要能源之一,关于太阳能电池的研究也逐渐成为热点。长期以来,人们对太阳能电池的高能粒子辐射特性进行了广泛的研究,对其激光辐照损伤特性的研究却很少。随着光电对抗技术的发展,对这方面的研究需求也越来越迫切。研究... 太阳能是未来的主要能源之一,关于太阳能电池的研究也逐渐成为热点。长期以来,人们对太阳能电池的高能粒子辐射特性进行了广泛的研究,对其激光辐照损伤特性的研究却很少。随着光电对抗技术的发展,对这方面的研究需求也越来越迫切。研究了532 nm、20 ns和300 ps脉冲激光对单晶硅太阳能电池的辐照效应,分析了超短脉冲激光对单晶硅太阳能电池的损伤机理。对比了超短脉冲激光和长脉冲激光、连续激光的损伤机理的异同。阐述了在激光单脉冲能量一定的情况下,损伤效果与脉宽和重频的关系。通过分析,指出了太阳能电池损伤的主因,激光对太阳能电池的破坏主要是依靠热效应。 展开更多
关键词 超短脉冲激光 单晶硅太阳能电池 损伤效应
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常规单晶硅太阳电池在低倍聚光条件下应用研究 被引量:18
11
作者 苑进社 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第2期253-256,共4页
利用常规单晶硅光伏电池 ,在进行输出特性研究的基础上 ,设计研制出带有非对称复合抛物面聚光器的光伏发电系统。该系统利用聚光器的有效聚光比随季节的变化 ,使光电池上接收到的太阳辐射量全年相对均衡 。
关键词 单晶硅太阳电池 光伏发电 非对称CPC聚光器
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激光消熔单晶硅太阳电池理论模拟与实验对照 被引量:1
12
作者 李涛 周春兰 +4 位作者 宋洋 郜志华 段野 李友忠 王文静 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第7期1149-1153,共5页
采用热动力学的方法建立连续激光消熔单晶硅太阳电池的理论模型,计算简化模型温度场分布的解析解。根据实际中激光消熔单晶硅模型的高度非线性化,使用优化网格步长的Matlab程序,采用有限差分方法,在合适的时间内计算模拟了过程中非稳态... 采用热动力学的方法建立连续激光消熔单晶硅太阳电池的理论模型,计算简化模型温度场分布的解析解。根据实际中激光消熔单晶硅模型的高度非线性化,使用优化网格步长的Matlab程序,采用有限差分方法,在合适的时间内计算模拟了过程中非稳态温度场的分布以及消熔深度、消熔宽度和消熔形貌,得到的模拟结果与实验观测相吻合。 展开更多
关键词 消熔 单晶硅太阳电池 理论模拟 实验对照 非线性化
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单晶硅太阳电池制备工艺探讨 被引量:1
13
作者 何京鸿 赵恒利 李雷 《楚雄师范学院学报》 2012年第6期26-30,共5页
本文介绍目前晶体硅太阳电池制造工艺,通过实验给出各个工艺流程的工艺参数及可调节范围,说明各环节对太阳电池的贡献及注意问题。提出了通过优化各工艺流程来提高晶体硅太阳电池效率的一些方法。
关键词 单晶硅太阳电池 制备工艺 工艺参数
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单晶硅太阳电池的温度特性及温度对其影响研究 被引量:2
14
作者 刘丹娟 《科技创新与应用》 2014年第35期54-54,共1页
为提高单晶硅太阳电池的输出性能,加强单晶硅太阳电池的转换功效,这需要人们进一步了解单晶硅太阳电池各方面的特性,抓住对单晶硅太阳电池产生最大影响的因素。经实验测试发现温度是单晶硅太阳电池功效的最主要影响因素,文章从单晶硅太... 为提高单晶硅太阳电池的输出性能,加强单晶硅太阳电池的转换功效,这需要人们进一步了解单晶硅太阳电池各方面的特性,抓住对单晶硅太阳电池产生最大影响的因素。经实验测试发现温度是单晶硅太阳电池功效的最主要影响因素,文章从单晶硅太阳电池的温度特性分析入手,进而探究温度对单晶硅太阳电池各方面(开路电压、短路电流、填充因子、转换效率)的影响。 展开更多
关键词 单晶硅太阳电池 温度 开路电压 短路电流 填充因子 影响
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高方块电阻发射区单晶硅太阳电池的性能优化
15
作者 沈洲 沈鸿烈 +1 位作者 马跃 陈军 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2011年第2期74-78,共5页
通过提高发射区的方块电阻和优化发射区的磷杂质浓度纵向分布,制备了性能优良的单晶硅太阳电池。I-V测量分析表明:高表面活性磷杂质浓度浅结发射区太阳电池短路电流密度、开路电压和填充因子分别提高了0.32mA/cm2,1.19mV和0.22%,因此转... 通过提高发射区的方块电阻和优化发射区的磷杂质浓度纵向分布,制备了性能优良的单晶硅太阳电池。I-V测量分析表明:高表面活性磷杂质浓度浅结发射区太阳电池短路电流密度、开路电压和填充因子分别提高了0.32mA/cm2,1.19mV和0.22%,因此转换效率提高了0.22%。内量子效率分析表明:高表面活性磷杂质浓度浅结发射区太阳电池短路电流密度的提高是由于短波光谱响应增强了。SEM分析表明:高表面活性磷杂质浓度浅结发射区太阳电池在发射区硅表面沉积的Ag晶粒分布数量更多、一致性更好,从而更容易收集光生电流传输到Ag栅线,改善了太阳电池的性能。 展开更多
关键词 单晶硅太阳电池 磷扩散 高方块电阻发射区 光谱响应 转换效率
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单晶硅太阳电池在槽式聚光与普通光照条件下伏安特性的对比研究
16
作者 何建华 李明 +4 位作者 王六玲 徐永峰 张兴华 项明 王云峰 《能源工程》 2008年第1期24-27,共4页
为进一步对开发聚光热电联供系统提供依据与指导,在槽式聚光器中,设计了槽式单晶硅太阳能电池热电联供测试系统,并在太阳聚光条件下对单晶硅太阳电池进行了伏安特性的测试。测试结果表明,普通单晶硅太阳能电池在聚光10倍左右的情况下,... 为进一步对开发聚光热电联供系统提供依据与指导,在槽式聚光器中,设计了槽式单晶硅太阳能电池热电联供测试系统,并在太阳聚光条件下对单晶硅太阳电池进行了伏安特性的测试。测试结果表明,普通单晶硅太阳能电池在聚光10倍左右的情况下,开路电压变化不大,开路电流放大了4.1倍左右,伏安特性曲线基本满足线性关系。 展开更多
关键词 槽式聚光 单晶硅太阳电池 伏安曲线
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高效单晶硅太阳电池的最新进展及发展趋势 被引量:36
17
作者 陈俊帆 赵生盛 +6 位作者 高天 徐玉增 张力 丁毅 张晓丹 赵颖 侯国付 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第1期110-116,共7页
晶体硅太阳电池是目前光伏市场的主流产品,其又可分为多晶硅电池和单晶硅(c-Si)电池。目前,多晶硅电池成本较低,市场份额较大,但其效率较低;单晶硅电池成本相对偏高,但其效率更高,市场份额小于多晶硅电池。随着硅材料和硅片切割技术的进... 晶体硅太阳电池是目前光伏市场的主流产品,其又可分为多晶硅电池和单晶硅(c-Si)电池。目前,多晶硅电池成本较低,市场份额较大,但其效率较低;单晶硅电池成本相对偏高,但其效率更高,市场份额小于多晶硅电池。随着硅材料和硅片切割技术的进步,单晶硅片的成本持续下降,且未来市场对高效率的高端光伏产品需求日益增长。因此,高效率的单晶硅电池将受到更多的关注。为进一步提高单晶硅太阳电池的效率,近几年的研究工作主要集中于提高硅片质量来降低体缺陷,寻找新型钝化材料来降低表面和界面缺陷,开发先进的减反技术(新型的绒面陷光结构和材料)以提高光的利用率,引入低电阻金属化技术降低串联电阻,优化PN结制备技术以及器件结构等。2014年至今,单晶硅太阳电池的转换效率得到连续突破。目前,最高效率是日本Kaneka公司创造的26.6%,其他效率达到或者超过25%的晶硅电池包括钝化发射极背面局部场接触(PERL)电池、交叉指式背接触(IBC)电池、硅异质结(SHJ)电池、交叉指式背接触异质结(HBC)电池、隧穿氧化层钝化接触(TOPCon)电池、多晶硅氧化物选择钝化接触(POLO)电池等。分析这些典型电池的关键技术可以发现,栅线电极与c-Si的金属-半导体接触复合成为影响电池效率的关键因素。为减小这些复合,一方面通过电池背面局部开孔来减小金属与c-Si直接接触的面积,包括钝化发射极背场点接触(PERC)、PERL、钝化发射极和背面全扩散(PERT)等电池。另一方面则是开发既能够实现优异的表面钝化,同时又无需开孔便可分离与输运载流子的新型载流子选择性钝化接触技术,如SHJ电池、TOPCon电池等。此外,采用交叉指式背接触技术与其他电池结构结合则是最大限度提高光利用率的必然选择,包括IBC电池和HBC电池。本文介绍了当前国际上转化效率达到或超过25%的典型高效单晶硅太阳电池,分别对其器件结构、核心工艺、关键材料等进行了分析,在总结这些高效单晶硅太阳电池各自特点的基础上对该领域的发展前景进行了展望。 展开更多
关键词 单晶硅太阳电池 减反技术 新型钝化材料 载流子选择性钝化接触 交叉指式背接触
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单晶硅太阳电池技术分析
18
作者 白路 梁宗存 +2 位作者 孙韵琳 沈辉 姜辰明 《建筑电气》 2014年第11期51-56,共6页
简要叙述太阳电池的发展历程及当前的状况,针对目前单晶硅太阳电池研究热点,从单晶硅材料、制绒、扩散、钝化、浆料、印刷、烧结、高效电池的工艺及设备等方面分别进行了深入分析,对其提高阳光的吸收能和光电转换效能的技术发展做出预测。
关键词 单晶硅太阳电池 制绒 扩散 钝化 浆料 印刷 烧结 高效电池
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背电极花样对单晶硅太阳电池机械性能的影响 被引量:5
19
作者 李中兰 汪雷 +3 位作者 杨德仁 朱鑫 施易展 蒋维楠 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第2期225-228,共4页
用三点弯方法研究了3种不同背电极花样的单晶硅太阳电池前后主电极附近以及铝背场和细栅区域的机械性能,初步探讨了背电极花样对断裂强度的影响。研究表明:背电极花样对太阳电池的断裂强度有明显影响,通过改进背电极花样能够有效提高太... 用三点弯方法研究了3种不同背电极花样的单晶硅太阳电池前后主电极附近以及铝背场和细栅区域的机械性能,初步探讨了背电极花样对断裂强度的影响。研究表明:背电极花样对太阳电池的断裂强度有明显影响,通过改进背电极花样能够有效提高太阳电池的机械性能,降低其破碎率。 展开更多
关键词 单晶硅太阳电池 背电极花样 机械性能 三点弯
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PERL结构单晶硅太阳电池的研究 被引量:2
20
作者 陈丽萍 王永谦 +6 位作者 钱洪强 陆红艳 陈如龙 杨健 李果华 朱景兵 施正荣 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第12期2170-2174,共5页
通过采用SiO2/SiNx叠层膜作为背钝化介质层,PECVD沉积掺硼氧化硅结合激光掺杂形成局部背场,依次经过背面溅射铝、低温烧结形成背面电极,电镀形成正面电极制备PERL结构单晶硅太阳电池。对比不同清洗条件对表面钝化的影响,背面电极不同烧... 通过采用SiO2/SiNx叠层膜作为背钝化介质层,PECVD沉积掺硼氧化硅结合激光掺杂形成局部背场,依次经过背面溅射铝、低温烧结形成背面电极,电镀形成正面电极制备PERL结构单晶硅太阳电池。对比不同清洗条件对表面钝化的影响,背面电极不同烧结条件对单晶PERL电池电性能的影响,优化后单晶电池转换效率可达20.36%。 展开更多
关键词 单晶硅太阳电池 背面钝化 激光掺杂 钝化发射极背面局域扩散(PERL)
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