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单晶硅探针修锐加工仿真与实验研究
1
作者
陈建超
高玉东
+2 位作者
许帅康
吴敬鑫
王加春
《组合机床与自动化加工技术》
北大核心
2022年第12期124-127,共4页
针对磨钝后的原子力显微镜单晶硅探针低成本修锐的需求,提出了一种基于超声调控磨粒流技术的修锐加工方法。采用有限元分析方法研究了探针针尖附近声流场的分布形式,基于原子力显微镜搭建了实验装置,开展了单晶硅探针的修锐加工实验。...
针对磨钝后的原子力显微镜单晶硅探针低成本修锐的需求,提出了一种基于超声调控磨粒流技术的修锐加工方法。采用有限元分析方法研究了探针针尖附近声流场的分布形式,基于原子力显微镜搭建了实验装置,开展了单晶硅探针的修锐加工实验。结果表明,在针尖两侧能够形成旋向相反的涡状声流场,验证了该方法加工原理的可行性,其次在数分钟加工时间内在针尖尖端产生了明显的加工去除痕迹;加工后的探针针尖圆弧半径与针尖侧角显著减小。
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关键词
超声
磨粒流
单晶硅探针
声流场
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职称材料
题名
单晶硅探针修锐加工仿真与实验研究
1
作者
陈建超
高玉东
许帅康
吴敬鑫
王加春
机构
燕山大学机械工程学院
燕山大学河北省重型智能制造装备技术创新中心
出处
《组合机床与自动化加工技术》
北大核心
2022年第12期124-127,共4页
基金
河北自然科学基金项目(E2021203185)
河北省研究生创新资助项目(CXZZSS2021056)。
文摘
针对磨钝后的原子力显微镜单晶硅探针低成本修锐的需求,提出了一种基于超声调控磨粒流技术的修锐加工方法。采用有限元分析方法研究了探针针尖附近声流场的分布形式,基于原子力显微镜搭建了实验装置,开展了单晶硅探针的修锐加工实验。结果表明,在针尖两侧能够形成旋向相反的涡状声流场,验证了该方法加工原理的可行性,其次在数分钟加工时间内在针尖尖端产生了明显的加工去除痕迹;加工后的探针针尖圆弧半径与针尖侧角显著减小。
关键词
超声
磨粒流
单晶硅探针
声流场
Keywords
ultrasonic
abrasive flow
single-crystal silicon probe
acoustic flow field
分类号
TH165 [机械工程—机械制造及自动化]
TG659 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
单晶硅探针修锐加工仿真与实验研究
陈建超
高玉东
许帅康
吴敬鑫
王加春
《组合机床与自动化加工技术》
北大核心
2022
0
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