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单晶硅反射镜的超精密磨削工艺
被引量：
14
1
作者
王紫光
康仁科
+2 位作者
周平
高尚
董志刚
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第5期1087-1095,共9页
为了实现单晶硅反射镜高效低损伤的超精密加工,研究了基于工件旋转法磨削原理的单晶硅反射镜超精密磨削工艺。通过形貌检测和成份测试的方法分析了该工艺采用的超细粒度金刚石砂轮的组织结构特征,并对单晶硅进行了超精密磨削试验,研究...
为了实现单晶硅反射镜高效低损伤的超精密加工,研究了基于工件旋转法磨削原理的单晶硅反射镜超精密磨削工艺。通过形貌检测和成份测试的方法分析了该工艺采用的超细粒度金刚石砂轮的组织结构特征,并对单晶硅进行了超精密磨削试验,研究了超细粒度金刚石砂轮的磨削性能。通过砂轮主轴角度与工件面形之间的数学关系实现对磨削工件面形的控制。最后,采用超细粒度金刚石砂轮对Φ100mm×5mm的单晶硅反射镜进行了超精密磨削试验验证。试验结果表明,超细粒度金刚石砂轮磨削后的单晶硅表面粗糙度Ra值小于10nm,亚表面损伤深度小于100nm,磨削后的单晶硅反射镜面形PV值从初始的8.1μm减小到1.5μm。由此说明采用该工艺磨削单晶硅反射镜能够高效地获得低损伤表面和高精度面形。
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关键词
单晶硅反射镜
工件旋转法磨削
表面/亚表面损伤
面形控制
超细粒度金刚石砂轮
在线阅读
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职称材料
题名
单晶硅反射镜的超精密磨削工艺
被引量：
14
1
作者
王紫光
康仁科
周平
高尚
董志刚
机构
大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第5期1087-1095,共9页
基金
国家自然科学基金重大研究计划集成项目(No.91323302)
国家自然科学基金资助项目(No.51875078)
+1 种基金
国家自然科学基金青年基金项目(No.51505063)
国家科技重大专项(02专项)(No.2014ZX02504001)
文摘
为了实现单晶硅反射镜高效低损伤的超精密加工,研究了基于工件旋转法磨削原理的单晶硅反射镜超精密磨削工艺。通过形貌检测和成份测试的方法分析了该工艺采用的超细粒度金刚石砂轮的组织结构特征,并对单晶硅进行了超精密磨削试验,研究了超细粒度金刚石砂轮的磨削性能。通过砂轮主轴角度与工件面形之间的数学关系实现对磨削工件面形的控制。最后,采用超细粒度金刚石砂轮对Φ100mm×5mm的单晶硅反射镜进行了超精密磨削试验验证。试验结果表明,超细粒度金刚石砂轮磨削后的单晶硅表面粗糙度Ra值小于10nm,亚表面损伤深度小于100nm,磨削后的单晶硅反射镜面形PV值从初始的8.1μm减小到1.5μm。由此说明采用该工艺磨削单晶硅反射镜能够高效地获得低损伤表面和高精度面形。
关键词
单晶硅反射镜
工件旋转法磨削
表面/亚表面损伤
面形控制
超细粒度金刚石砂轮
Keywords
silicon reflector
workpiece rotational grinding
surface and subsurface damage
surface profile control
ultra-fine diamond wheel
分类号
TN248 [电子电信—物理电子学]
O786 [理学—晶体学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
单晶硅反射镜的超精密磨削工艺
王紫光
康仁科
周平
高尚
董志刚
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019
14
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