期刊文献+
共找到9篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
卤化物钙钛矿半导体单晶及核辐射探测器研究进展
1
作者 马文君 张国栋 +3 位作者 孙雪 刘宏杰 刘嘉欣 陶绪堂 《人工晶体学报》 北大核心 2025年第7期1091-1099,共9页
卤化物钙钛矿晶体具有平均原子序数高、载流子迁移率寿命积(μτ)大、易大面积制备、材料体系丰富等优点,已成为一类极具应用前景的新型核辐射探测材料。本文综述了国内外钙钛矿半导体单晶的生长方法及辐射探测器的研究进展。大尺寸高... 卤化物钙钛矿晶体具有平均原子序数高、载流子迁移率寿命积(μτ)大、易大面积制备、材料体系丰富等优点,已成为一类极具应用前景的新型核辐射探测材料。本文综述了国内外钙钛矿半导体单晶的生长方法及辐射探测器的研究进展。大尺寸高质量单晶的可控生长是制备高性能探测器的关键,通过革新晶体生长技术,结合阴阳离子协同掺杂、添加剂辅助工程策略可以显著提升晶体的尺寸和电学性能;钙钛矿半导体单晶在光子计数X射线成像和γ射线能谱分辨中展现出钙钛矿薄膜无法比拟的优势,然而,在进一步提升晶体的本征质量、抑制离子迁移引发的器件稳定性问题,以及优化晶体与像素芯片键合工艺等环节仍面临诸多挑战。未来研究亟需深化晶体结构与性能关系的探索,优化生长工艺参数,创新探测器构型,从而推动卤化物钙钛矿晶体在核辐射探测领域的产业化进程。 展开更多
关键词 卤化物钙钛矿 半导体单晶 X射线探测 γ射线探测 晶体生长 核辐射探测器
在线阅读 下载PDF
热屏结构对300 mm半导体级单晶硅生长过程温度分布影响的数值模拟
2
作者 倪浩然 陈亚 +7 位作者 王黎光 芮阳 赵泽慧 马成 刘洁 张兴茂 赵延祥 杨少林 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2024年第7期1196-1211,共16页
半导体级单晶硅是芯片的基础核心材料,不仅要求控制杂质浓度,还对晶体的缺陷有很高的要求。原生点缺陷浓度作为衡量晶体品质的重要指标之一,需要通过热场的优化、晶体生长温度场的调整、晶体生长过程中晶棒温度分布的控制,以及V/G值(拉... 半导体级单晶硅是芯片的基础核心材料,不仅要求控制杂质浓度,还对晶体的缺陷有很高的要求。原生点缺陷浓度作为衡量晶体品质的重要指标之一,需要通过热场的优化、晶体生长温度场的调整、晶体生长过程中晶棒温度分布的控制,以及V/G值(拉速与晶棒内轴向温度梯度比值)的优化来调控。本文采用ANSYS软件中流体计算模块Fluent的有限体积分析法,研究了不同热屏结构对300 mm半导体级直拉单晶硅温度分布的影响。针对二段式热屏,模拟了不同热屏角度下拉晶初期(400 mm)、中期(800和1400 mm)和末期(2000 mm)三个等径阶段的温度分布、固液界面轴向温度梯度和V/G值。通过分析各阶段V/G值的变化,在相对较大的温度梯度下,寻找到了一种V/G值更接近临界值ζ且径向均一性更优的热屏结构,为控制缺陷的浓度提供更好的条件。通过对晶棒热历史的讨论,优化热屏结构以缩短降温周期,为控制缺陷的尺寸提供更好的条件。模拟计算结果表明,热屏夹角为110°、热屏下段厚度为70 mm、热屏内壁与晶棒间距为30 mm时,其结构设计能够提供低缺陷单晶硅生产的温度分布条件。 展开更多
关键词 半导体单晶 有限体积分析 热屏结构 温度场 流场 V/G值 缺陷
在线阅读 下载PDF
热屏结构对200 mm半导体级提拉单晶硅中氧含量分布的影响 被引量:5
3
作者 芮阳 王忠保 +6 位作者 盛旺 倪浩然 熊欢 邹啟鹏 陈炜南 黄柳青 罗学涛 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2023年第6期1110-1119,共10页
半导体级单晶硅是芯片的基础核心材料,其晶体的氧含量分布对晶圆品质有重要影响。通过优化提拉单晶炉的热屏结构可有效控制晶体生长过程中的氧含量分布,但难以通过实验探究其内在影响机制。本文采用ANSYS有限元分析,研究了热屏结构对200... 半导体级单晶硅是芯片的基础核心材料,其晶体的氧含量分布对晶圆品质有重要影响。通过优化提拉单晶炉的热屏结构可有效控制晶体生长过程中的氧含量分布,但难以通过实验探究其内在影响机制。本文采用ANSYS有限元分析,研究了热屏结构对200 mm半导体级直拉单晶硅氧含量分布的影响。针对一段式、二段式两种典型的商用单晶炉热屏结构,模拟了拉晶初期(300 mm)、中期(800 mm)、末期(1000 mm)三个等径阶段的温度场、流场分布,固液界面温度梯度及径向氧含量分布。计算结果表明,与二段式热屏相比,一段式热屏的熔体温度场均一性较好,固液界面的温度梯度较小。此外,一段式热屏的氩气流场有利于熔体自由表面上方SiO气体挥发和减弱熔体的剪切对流,使固液界面前端向晶体扩散的氧减少。因此,一段式热屏的固液界面径向氧含量分布均匀性较好且晶体中的氧含量较低。 展开更多
关键词 半导体单晶 氧含量 有限元分析 热屏结构 温度场 流场
在线阅读 下载PDF
横向磁场下坩埚转速对半导体级直拉单晶硅熔体中流场与氧浓度的影响机制 被引量:2
4
作者 王黎光 芮阳 +7 位作者 盛旺 马吟霜 马成 陈炜南 邹啟鹏 杜朋轩 黄柳青 罗学涛 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2023年第9期1641-1650,共10页
利用ANSYS有限元软件分析了横向磁场下不同坩埚转速对200 mm半导体级直拉单晶硅的流场及氧浓度的影响。研究结果表明:在横向磁场下,硅熔体的流场和氧浓度分布呈三维非对称性,熔体对流形式主要包括泰勒-普劳德曼漩涡、浮力-热毛细漩涡及... 利用ANSYS有限元软件分析了横向磁场下不同坩埚转速对200 mm半导体级直拉单晶硅的流场及氧浓度的影响。研究结果表明:在横向磁场下,硅熔体的流场和氧浓度分布呈三维非对称性,熔体对流形式主要包括泰勒-普劳德曼漩涡、浮力-热毛细漩涡及次漩涡,其中前两者有助于氧挥发,而次漩涡则起到抑制作用。当坩埚转速较低(0.5~1.0 r/min)时,较弱的熔体对流强度导致坩埚壁与固液界面间的热传导效率低,氧主要以扩散机制迁移至固液界面,熔硅中氧浓度高;当坩埚转速较高(2~2.5 r/min)时,氧通过强对流形式迁移至固液界面。随着坩埚转速增加,次漩涡和浮力-热毛细漩涡的作用强度提高,浮力-热毛细漩涡影响区域远离自由表面,使硅熔体中的氧浓度呈先下降后上升的趋势。数值模拟结果与实验结果均表明,在横向磁场条件下优选1.5 r/min的坩埚转速可获得平均氧浓度较低的单晶硅。上述分析结果可以为横向磁场下半导体级单晶硅拉晶参数优化提供参考依据。 展开更多
关键词 ANSYS有限元分析 200 mm半导体单晶 直拉法 坩埚转速 流场 氧浓度
在线阅读 下载PDF
透射式半导体光电阴极的制作方法
5
作者 张素勤 《红外技术》 1980年第4期29-32,共4页
单晶半导体材料是一种透明的材料,但易受热分解。首先在这种单晶半导体材料制成的扁平基体的一个表面上蒸上一层可以防止基体分解的透明的抗反射材料,然后在能引起基体材料分解的温度下,在基休的另一个表面上外延生长一层或多层单晶半... 单晶半导体材料是一种透明的材料,但易受热分解。首先在这种单晶半导体材料制成的扁平基体的一个表面上蒸上一层可以防止基体分解的透明的抗反射材料,然后在能引起基体材料分解的温度下,在基休的另一个表面上外延生长一层或多层单晶半导体材料。后来生长的这种外延层,在入射光激发下能够产生电子。最后,在外延层上再沉积一层降低逸出功的材料。 展开更多
关键词 半导体材料 电工材料 透射式 基体材料 反应堆材料 单晶半导体 光电阴极 制作方法
在线阅读 下载PDF
半导体导电型号非接触式测量方法
6
作者 梁永一 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1991年第1期50-52,共3页
本文论述非接触式半导体P/N型判别方法。把红外光脉冲照射在半导体单晶的样片上,以产生光电动势,利用P型半导体和N型半导体所产生的光电动势的极性不同,可以判别其导电型号。
关键词 半导体单晶 导电型号 测量法
在线阅读 下载PDF
Visible to near-infrared photodetector based on organic semiconductor single crystal
7
作者 LI Xiang HU Jin-Han +7 位作者 ZHONG Zhi-Peng CHEN Yu-Zhong WANG Zhi-Qiang SONG Miao-Miao WANG Yang ZHANG Lei LI Jian-Feng HUANG Hai 《红外与毫米波学报》 北大核心 2025年第1期46-51,共6页
Organic semiconductor materials have shown unique advantages in the development of optoelectronic devices due to their ease of preparation,low cost,lightweight,and flexibility.In this work,we explored the application ... Organic semiconductor materials have shown unique advantages in the development of optoelectronic devices due to their ease of preparation,low cost,lightweight,and flexibility.In this work,we explored the application of the organic semiconductor Y6-1O single crystal in photodetection devices.Firstly,Y6-1O single crystal material was prepared on a silicon substrate using solution droplet casting method.The optical properties of Y6-1O material were characterized by polarized optical microscopy,fluorescence spectroscopy,etc.,confirming its highly single crystalline performance and emission properties in the near-infrared region.Phototransistors based on Y6-1O materials with different thicknesses were then fabricated and tested.It was found that the devices exhibited good visible to near-infrared photoresponse,with the maximum photoresponse in the near-infrared region at 785 nm.The photocurrent on/off ratio reaches 10^(2),and photoresponsivity reaches 16 mA/W.It was also found that the spectral response of the device could be regulated by gate voltage as well as the material thickness,providing important conditions for optimizing the performance of near-infrared photodetectors.This study not only demonstrates the excellent performance of organic phototransistors based on Y6-1O single crystal material in near-infrared detection but also provides new ideas and directions for the future development of infrared detectors. 展开更多
关键词 near-infrared photodetector organic semiconductor Y6-1O single crystal spectral response
在线阅读 下载PDF
抗辐射模拟CMOS集成电路研究与设计 被引量:10
8
作者 赵源 徐立新 +1 位作者 赵琦 金星 《中国空间科学技术》 EI CSCD 北大核心 2013年第3期72-76,共5页
为研究宇宙辐射环境中航天器里的模拟互补金属氧化物半导体(Complementary Metal Oxide Semiconductor,CMOS)集成电路性能和各种效应,并在辐射效应所产生机制的基础上,从设计和工艺方面提出了模拟CMOS集成电路主要抗辐射加固设计方法。... 为研究宇宙辐射环境中航天器里的模拟互补金属氧化物半导体(Complementary Metal Oxide Semiconductor,CMOS)集成电路性能和各种效应,并在辐射效应所产生机制的基础上,从设计和工艺方面提出了模拟CMOS集成电路主要抗辐射加固设计方法。在宇宙环境中,卫星中的模拟CMOS集成电路存在CMOS半导体元器件阈值电压偏离、线性跨导减小、衬底的漏电流增加和转角1/f噪声幅值增加。所以提出了3种对模拟CMOS集成电路进行抗辐射加固的方法:1)抗辐射模拟CMOS集成电路的设计;2)抗辐射集成电路版图设计;3)单晶半导体硅膜(Silicon on Insulator,SOI)抗辐射工艺与加固设计。根据上面的设计方法研制了抗辐射加固模拟CMOS集成电路,可以取得较好的抗辐射效果。 展开更多
关键词 互补金属氧化物半导体 阈值电压 跨导 抗辐射 单晶半导体硅膜 空间环境 航天器
在线阅读 下载PDF
离子色谱法测定蚀刻槽废氢氟酸中的六氟硅酸 被引量:4
9
作者 霍世欣 罗全迁 曹琳 《色谱》 CAS CSCD 北大核心 2016年第10期982-985,共4页
建立了一种新的检测蚀刻槽废氢氟酸中六氟硅酸的离子色谱方法.色谱柱为Metrosep A Supp 7 阴离子交 换柱,流动相为3. 2 mmol/L 碳酸钠-1. 0 mmol/L 碳酸氢钠,流速为0. 7 mL/min.六氟桂酸经过抑制型电导检测 器后进行衍生化反应,在360 n... 建立了一种新的检测蚀刻槽废氢氟酸中六氟硅酸的离子色谱方法.色谱柱为Metrosep A Supp 7 阴离子交 换柱,流动相为3. 2 mmol/L 碳酸钠-1. 0 mmol/L 碳酸氢钠,流速为0. 7 mL/min.六氟桂酸经过抑制型电导检测 器后进行衍生化反应,在360 nm波长下用紫外检测器检测.六氟硅酸的线性范围为2. 4- 120 mg/L ,相关系数r 2 大于0. 999,定量限为0. 24 mg/L ,平均加标回收率为97. 2%.本方法还可以同时利用电导检测器检测废氢氟酸中 的氢氟酸、醋酸、盐酸、硝酸、磷酸和硫酸的含量.该方法快速、准确,适用于蚀刻槽液中六氟硅酸的检测. 展开更多
关键词 离子色谱 紫外检测器 电导检测器 六氟硅酸
在线阅读 下载PDF
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部