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采用单位激励影响矩阵数值计算的瑞奇-康芒检测技术
被引量：
6
1
作者
刘一鸣
李金鹏
+2 位作者
陈磊
林冬冬
郑锋华
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第4期771-777,共7页
在影响矩阵法瑞奇-康芒检验中,恢复被测面形的关键在于构建被检平面面形误差与系统波像差之间的Zernike系数影响矩阵。为了提高瑞奇-康芒法的检测精度,研究了采用单位激励法来精确计算影响矩阵的方法。分别重构平面镜仅包含某一种Zernik...
在影响矩阵法瑞奇-康芒检验中,恢复被测面形的关键在于构建被检平面面形误差与系统波像差之间的Zernike系数影响矩阵。为了提高瑞奇-康芒法的检测精度,研究了采用单位激励法来精确计算影响矩阵的方法。分别重构平面镜仅包含某一种Zernike波像差下的系统波像差分布,经Zernike拟合得到该种Zernike像差的影响系数向量;由各Zernike像差的影响系数向量组成影响矩阵,然后用最小二乘拟合出被检平面面形。对口径为90mm的平面镜进行实际检验,在瑞奇角为26.5°与40.6°的情况下进行波前恢复,得到被检平面镜PV值为0.141 3λ,RMS为0.019 4λ。与直接采用平面参考镜检测相比,瑞奇-康芒法检测误差PV值为0.082 8λ,RMS为0.010 9λ。该方法能够精确生成影响矩阵,抑制了影响矩阵法中对大F数的依赖,可用于精确恢复平面镜面形。
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关键词
光学检测
单位激励法
数值计算
瑞奇-康芒
法
Zernike拟合
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职称材料
题名
采用单位激励影响矩阵数值计算的瑞奇-康芒检测技术
被引量：
6
1
作者
刘一鸣
李金鹏
陈磊
林冬冬
郑锋华
机构
南京理工大学电光学院
中国科学院南京天文仪器有限公司
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第4期771-777,共7页
基金
江苏省自然科学基金资助项目(No.BK20160154)
国家自然基金联合基金资助项目(No.U1731115)
文摘
在影响矩阵法瑞奇-康芒检验中,恢复被测面形的关键在于构建被检平面面形误差与系统波像差之间的Zernike系数影响矩阵。为了提高瑞奇-康芒法的检测精度,研究了采用单位激励法来精确计算影响矩阵的方法。分别重构平面镜仅包含某一种Zernike波像差下的系统波像差分布,经Zernike拟合得到该种Zernike像差的影响系数向量;由各Zernike像差的影响系数向量组成影响矩阵,然后用最小二乘拟合出被检平面面形。对口径为90mm的平面镜进行实际检验,在瑞奇角为26.5°与40.6°的情况下进行波前恢复,得到被检平面镜PV值为0.141 3λ,RMS为0.019 4λ。与直接采用平面参考镜检测相比,瑞奇-康芒法检测误差PV值为0.082 8λ,RMS为0.010 9λ。该方法能够精确生成影响矩阵,抑制了影响矩阵法中对大F数的依赖,可用于精确恢复平面镜面形。
关键词
光学检测
单位激励法
数值计算
瑞奇-康芒
法
Zernike拟合
Keywords
optical inspection
unit-excitation method
numerical calculation
Ritchey-Common method
Zernike fitting
分类号
TH741 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
采用单位激励影响矩阵数值计算的瑞奇-康芒检测技术
刘一鸣
李金鹏
陈磊
林冬冬
郑锋华
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018
6
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