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X射线光电子能谱测试技术应用中常见问题探究
被引量：
1
1
作者
潘燕芳
杨文超
+3 位作者
李晓静
林晓倩
贺舜
许燕娜
《中国无机分析化学》
北大核心
2025年第1期73-85,共13页
X射线光电子能谱(XPS)已在新能源、催化和半导体等领域中得到广泛应用,然而XPS数据的可靠性与真实性与测试工程师的经验有关,是一种考验测试经验的表面分析技术。为归纳X射线光电子能谱测试技术的应用,主要从测试原理、制样方法、测试...
X射线光电子能谱(XPS)已在新能源、催化和半导体等领域中得到广泛应用,然而XPS数据的可靠性与真实性与测试工程师的经验有关,是一种考验测试经验的表面分析技术。为归纳X射线光电子能谱测试技术的应用,主要从测试原理、制样方法、测试参数设定、仪器校正及测试常见问题等方面进行了总结:在测试原理上概述了荷电效应及补偿方法、采样深度及靶材的选择;在制样上详细介绍样品要求、样品台的选择及制样要领;测试参数上阐述了表面采谱和深剖采谱的参数设定,并着重强调测试通能和能量分辨率的相互关系,举例说明X射线和溅射对某些物质的还原作用;在仪器校正上分述能量分辨率检验和非线性校正的物质;最后汇总XPS数据常见问题。希望未来能开发出空间分辨率好,能量分辨率高、功能更多更稳定的仪器,以满足更多的测试需求。
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关键词
X射线光电子能谱(XPS)
深度剖析
能量分辨率
半
高宽
(
fmhw
)
荷电效应
非线性校正
刻蚀还原
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职称材料
题名
X射线光电子能谱测试技术应用中常见问题探究
被引量：
1
1
作者
潘燕芳
杨文超
李晓静
林晓倩
贺舜
许燕娜
机构
清华大学深圳国际研究生院材料与器件检测技术中心
广西大学资源环境与材料学院
省部共建特色金属与组合结构全寿命安全国家重点实验室
深圳市电源技术学会
出处
《中国无机分析化学》
北大核心
2025年第1期73-85,共13页
基金
国家自然科学基金面上基金资助项目(52072208)
广西高等教育本科教学改革工程项目(2022JGB107)。
文摘
X射线光电子能谱(XPS)已在新能源、催化和半导体等领域中得到广泛应用,然而XPS数据的可靠性与真实性与测试工程师的经验有关,是一种考验测试经验的表面分析技术。为归纳X射线光电子能谱测试技术的应用,主要从测试原理、制样方法、测试参数设定、仪器校正及测试常见问题等方面进行了总结:在测试原理上概述了荷电效应及补偿方法、采样深度及靶材的选择;在制样上详细介绍样品要求、样品台的选择及制样要领;测试参数上阐述了表面采谱和深剖采谱的参数设定,并着重强调测试通能和能量分辨率的相互关系,举例说明X射线和溅射对某些物质的还原作用;在仪器校正上分述能量分辨率检验和非线性校正的物质;最后汇总XPS数据常见问题。希望未来能开发出空间分辨率好,能量分辨率高、功能更多更稳定的仪器,以满足更多的测试需求。
关键词
X射线光电子能谱(XPS)
深度剖析
能量分辨率
半
高宽
(
fmhw
)
荷电效应
非线性校正
刻蚀还原
Keywords
X-ray photoelectron spectroscopy(XPS)
depth profile
energy resolution
full width at half maximum(
fmhw
)
charge effect
nonlinear correction
sputter reduction
分类号
O657.62 [理学—分析化学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
X射线光电子能谱测试技术应用中常见问题探究
潘燕芳
杨文超
李晓静
林晓倩
贺舜
许燕娜
《中国无机分析化学》
北大核心
2025
1
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