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Cr原子在高斯型激光驻波场中汇聚沉积的仿真研究
被引量:
2
1
作者
马彬
王占山
+2 位作者
赵敏
马艳
马姗姗
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2006年第6期667-672,共6页
在激光汇聚原子束沉积纳米光栅的研究中,半经典理论是一种简单而有效的方法。利用半经典理论模型,对Cr原子在高斯型激光驻波场中的汇聚沉积进行了模拟分析和研究。通过龙格-库塔法数值模拟出在不同失谐量Δ、激光功率P、Cr原子束的横向...
在激光汇聚原子束沉积纳米光栅的研究中,半经典理论是一种简单而有效的方法。利用半经典理论模型,对Cr原子在高斯型激光驻波场中的汇聚沉积进行了模拟分析和研究。通过龙格-库塔法数值模拟出在不同失谐量Δ、激光功率P、Cr原子束的横向纵向速度、基片摆放位置zf和高斯光束束腰0ω条件下,Cr原子沉积光栅结构的变化,根据所得各光栅图形参数,分析了不同因素对Cr原子沉积的影响。
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关键词
原子沉积
半经典理论模型
激光驻波场
对比度
分辨率
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职称材料
题名
Cr原子在高斯型激光驻波场中汇聚沉积的仿真研究
被引量:
2
1
作者
马彬
王占山
赵敏
马艳
马姗姗
机构
同济大学精密光学工程技术研究所
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2006年第6期667-672,共6页
基金
上海市科技发展项目资助项目(0259nm034
0452nm029)
文摘
在激光汇聚原子束沉积纳米光栅的研究中,半经典理论是一种简单而有效的方法。利用半经典理论模型,对Cr原子在高斯型激光驻波场中的汇聚沉积进行了模拟分析和研究。通过龙格-库塔法数值模拟出在不同失谐量Δ、激光功率P、Cr原子束的横向纵向速度、基片摆放位置zf和高斯光束束腰0ω条件下,Cr原子沉积光栅结构的变化,根据所得各光栅图形参数,分析了不同因素对Cr原子沉积的影响。
关键词
原子沉积
半经典理论模型
激光驻波场
对比度
分辨率
Keywords
Atom deposition
Semi-classical approximation
Laser standing field
Contrast
Resolution
分类号
O431.2 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
Cr原子在高斯型激光驻波场中汇聚沉积的仿真研究
马彬
王占山
赵敏
马艳
马姗姗
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2006
2
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