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题名石英玻璃性能对半球陀螺谐振子的影响
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作者
艾毅智
谭品恒
徐思宇
孙赵荣
张楠
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机构
中电科芯片技术(集团)有限公司
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出处
《压电与声光》
2025年第4期652-656,共5页
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文摘
聚焦石英玻璃在半球陀螺谐振子上的应用,分析了石英玻璃主要性能对半球陀螺谐振子的影响。通过对石英玻璃的杂质含量、气泡条纹等网格缺陷、弹性模量、羟基浓度等性能参数进行差异分析,揭示了材料特性与加工工艺、谐振子关键指标Q值和频率裂解的关联性。对其主要性能参数分别开展控制变量实验,实测结果数据在一定程度上验证了理论影响分析。研究结果为高精度半球陀螺谐振子的石英玻璃材料选择提供了参考,同时提出了未来石英玻璃在惯性器件领域中的应用发展方向及行业标准制定的研究方向。
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关键词
石英玻璃
半球陀螺谐振子
材料缺陷
性能参数
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Keywords
quartz glass
hemispherical resonator
material defects
performance parameters
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分类号
TN61
[电子电信]
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题名精密谐振器件表面导电层原子层沉积制备技术研究
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作者
龚婷
冯昊
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机构
西安近代化学研究所含能材料全国重点实验室
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出处
《表面技术》
北大核心
2025年第12期175-185,共11页
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文摘
目的 利用原子层沉积(ALD)技术在半球陀螺谐振子表面制备Pt导电层。方法 以ALD制备的氧化物/金属薄膜为谐振子过渡层,再沉积Pt为导电层。椭圆偏振光谱仪(SE)用于测试薄膜厚度。利用X-射线光电子能谱(XPS)、掠入射X-射线衍射(GIXRD)、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)分析薄膜组成、晶型、形貌及粗糙度。采用聚焦离子束-透射电子显微镜(FIB-TEM)结合能量色散X射线元素面分布(EDX-mapping)、线扫描分布谱揭示膜层微观结构。采用电子万能试验机测试薄膜和石英片的界面结合强度。结果 SE测试结果表明,Pt/氧化物薄膜体系的Pt平均厚度为123?,不均匀度仅为1.6%,Pt/金属薄膜体系的Pt平均厚度为155?,不均匀度为4%。XPS显示Pt薄膜主要成分由零价Pt构成,XRD检测到在2θ=39.8°处存在明显的Pt(111)衍射峰。SEM观测到薄膜表面Pt纳米颗粒分布均匀。AFM进一步揭示金属及Pt/金属薄膜粗糙度分别为1.47 nm和0.99 nm。FIB-TEM、EDX-mapping及线扫描分布谱结果表明Pt/氧化物和Pt/金属厚度均匀、致密,膜层界面的元素相互扩散。力学测试显示,氧化物过渡层使界面结合强度提升至7.1MPa,较无过渡层体系(3.0MPa)提高1.37倍;金属过渡层体系结合强度最高可达8.4 MPa。结论 ALD技术可以实现半球陀螺谐振子表面高均匀性、高结合强度的Pt薄膜制备。
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关键词
半球陀螺谐振子
原子层沉积
Pt薄膜
过渡层
均匀性
结合强度
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Keywords
hemispherical gyroscope harmonic oscillator
atomic layer deposition
Pt film
transition layer
uniformity
bonding strength
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分类号
TG174
[金属学及工艺—金属表面处理]
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题名惯性传感器技术及发展
被引量：24
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作者
徐景硕
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机构
海军航空工程学院青岛分院航空特设系
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出处
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2001年第5期1-4,共4页
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文摘
论述了惯性传感器的发展过程和其在惯性导航系统中的地位 ,对新型惯性传感器 :壳体谐振陀螺仪、微机械电子系统惯性传感器、光纤陀螺仪的原理、性能和研究现状作了分析 ,最后指出了惯性传感器的发展方向。
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关键词
惯性传感器
半球谐振子陀螺仪
光学陀螺仪
惯性导航系统
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Keywords
inertial measurement unit(IMU)
hemispherical resonatior gyro(HRG)
optical gyroscope
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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