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半导体陶瓷型薄膜气敏传感器的研究进展
被引量：
13
1
作者
杨志华
余萍
肖定全
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第1期4-6,10,共4页
半导体陶瓷型薄膜气敏传感器,具有灵敏度高、与气体反应快、制备成本较低等优点,已经成为近年传感器研究和开发的重点,是未来气敏传感器的发展方向之一。本文介绍了陶瓷型半导体薄膜气敏传感器常见的器件结构、薄膜材料的主要制备方法...
半导体陶瓷型薄膜气敏传感器,具有灵敏度高、与气体反应快、制备成本较低等优点,已经成为近年传感器研究和开发的重点,是未来气敏传感器的发展方向之一。本文介绍了陶瓷型半导体薄膜气敏传感器常见的器件结构、薄膜材料的主要制备方法,部分主要的半导体金属氧化物薄膜气敏材料,以及近期相关的研究进展,并扼要分析了今后的发展方向。
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关键词
半导体陶瓷型
薄膜
气敏传感器
研究进展
金属氧化物
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职称材料
题名
半导体陶瓷型薄膜气敏传感器的研究进展
被引量：
13
1
作者
杨志华
余萍
肖定全
机构
四川大学材料科学系
出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第1期4-6,10,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(50172032)
文摘
半导体陶瓷型薄膜气敏传感器,具有灵敏度高、与气体反应快、制备成本较低等优点,已经成为近年传感器研究和开发的重点,是未来气敏传感器的发展方向之一。本文介绍了陶瓷型半导体薄膜气敏传感器常见的器件结构、薄膜材料的主要制备方法,部分主要的半导体金属氧化物薄膜气敏材料,以及近期相关的研究进展,并扼要分析了今后的发展方向。
关键词
半导体陶瓷型
薄膜
气敏传感器
研究进展
金属氧化物
Keywords
thin film
gas sensor
semiconducting metal oxides
ceramics
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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作者
出处
发文年
被引量
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1
半导体陶瓷型薄膜气敏传感器的研究进展
杨志华
余萍
肖定全
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004
13
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