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基于可视化的真空镀膜装备专利竞争技术分析
被引量:
1
1
作者
叶俊文
黎子辉
+2 位作者
高峰
李晓刚
王鸿志
《真空科学与技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第6期422-429,共8页
针对当前中国精密真空镀膜装备技术与国外差距甚远,存在核心技术缺失、技术发展方向不明确、研发意愿不足等问题,基于可视化技术分析真空镀膜装备国内外专利信息。探索数据处理过程中,通过字段创建与组合以可视化解析当前专利态势和技术...
针对当前中国精密真空镀膜装备技术与国外差距甚远,存在核心技术缺失、技术发展方向不明确、研发意愿不足等问题,基于可视化技术分析真空镀膜装备国内外专利信息。探索数据处理过程中,通过字段创建与组合以可视化解析当前专利态势和技术,聚焦技术壁垒背景下光学领域磁控溅射(MS)与半导体领域原子层沉积(ALD)国外重点装备制造厂商的技术关注,挖掘出关键部件专利布局、技术功效、专利空白、比较优势等竞争信息,由桑基图、实物图、簇状气泡图等可视化图像直观展现分析成果,以期为中国真空镀膜装备制造企业技术创新思路借鉴、企业并购、技术合作、人才引进及产业相关政策制定提供参考策略。
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关键词
数据可视化
真空
镀膜
专利竞争
技术功效
光学
镀膜
半导体镀膜
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职称材料
题名
基于可视化的真空镀膜装备专利竞争技术分析
被引量:
1
1
作者
叶俊文
黎子辉
高峰
李晓刚
王鸿志
机构
广东省中山市质量技术监督标准与编码所
华南理工大学
中山凯旋真空科技股份有限公司
出处
《真空科学与技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第6期422-429,共8页
基金
国家市场监督管理总局科技项目(2020MK082)。
文摘
针对当前中国精密真空镀膜装备技术与国外差距甚远,存在核心技术缺失、技术发展方向不明确、研发意愿不足等问题,基于可视化技术分析真空镀膜装备国内外专利信息。探索数据处理过程中,通过字段创建与组合以可视化解析当前专利态势和技术,聚焦技术壁垒背景下光学领域磁控溅射(MS)与半导体领域原子层沉积(ALD)国外重点装备制造厂商的技术关注,挖掘出关键部件专利布局、技术功效、专利空白、比较优势等竞争信息,由桑基图、实物图、簇状气泡图等可视化图像直观展现分析成果,以期为中国真空镀膜装备制造企业技术创新思路借鉴、企业并购、技术合作、人才引进及产业相关政策制定提供参考策略。
关键词
数据可视化
真空
镀膜
专利竞争
技术功效
光学
镀膜
半导体镀膜
Keywords
Data visualization
Vacuum coating
Patent competition
Technical efficacy
Optical coating
Semiconductor coating
分类号
TB43 [一般工业技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于可视化的真空镀膜装备专利竞争技术分析
叶俊文
黎子辉
高峰
李晓刚
王鸿志
《真空科学与技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2022
1
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