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半导体芯片制造混合调度方法
被引量：
1
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作者
胡鸿韬
江志斌
陈侃
《上海交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第3期460-464,共5页
针对半导体制造系统设备性能的多样性、多产品混合加工以及可重入性等特点,采用遗传算法和动态调度规则结合的方法优化生产过程.首先,通过遗传算法优化工件加工路径;然后,通过动态控制策略确定工件加工顺序.最后,进行仿真实验,比较了不...
针对半导体制造系统设备性能的多样性、多产品混合加工以及可重入性等特点,采用遗传算法和动态调度规则结合的方法优化生产过程.首先,通过遗传算法优化工件加工路径;然后,通过动态控制策略确定工件加工顺序.最后,进行仿真实验,比较了不同动态调度规则和遗传算法混合使用的效果.结果表明,通过遗传算法能够得到较优化的结果.
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关键词
遗传算法
动态调度规则
半导体芯片制造系统
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职称材料
题名
半导体芯片制造混合调度方法
被引量：
1
1
作者
胡鸿韬
江志斌
陈侃
机构
上海交通大学机械与动力工程学院
出处
《上海交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第3期460-464,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(50475027)
高等学校博士学科点专项科研基金资助课题(20040248052)
国家高技术研究发展计划(863)项目(2006AA04Z128)
文摘
针对半导体制造系统设备性能的多样性、多产品混合加工以及可重入性等特点,采用遗传算法和动态调度规则结合的方法优化生产过程.首先,通过遗传算法优化工件加工路径;然后,通过动态控制策略确定工件加工顺序.最后,进行仿真实验,比较了不同动态调度规则和遗传算法混合使用的效果.结果表明,通过遗传算法能够得到较优化的结果.
关键词
遗传算法
动态调度规则
半导体芯片制造系统
Keywords
genetic algorithm
dynamic scheduling rule
semiconductor wafer fabrication system （SWFS）
分类号
TP301.6 [自动化与计算机技术—计算机系统结构]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
半导体芯片制造混合调度方法
胡鸿韬
江志斌
陈侃
《上海交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
1
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