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离子注入半导体的激光退火: 1; 作者路福荣《四川激光》 1983年第2期123-125,共3页; 本文报导了半导体激光退火在国内外的进展概况,作为离于注入半导体生产工艺的“伴星”,激光退火有可能取代常规的高温退火工艺而被采用。; 关键词半导体生产工艺激光退火离子注入退火工艺国内外; 在线阅读下载PDF 职称材料

智能化的微细台阶测量系统: 2; 作者王云庆李庆祥 +1 位作者薛实福周兆英《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第S1期389-390,共2页; 智能化的微细台阶测量系统王云庆，李庆祥，薛实福，周兆英（清华大学）０引言在半导体生产工艺中，对各种微细台阶进行在线检测是保证产品质量、提高生产效率的重要手段。机械触针式台阶测量仪是台阶测量的重要仪器。本文介绍了清华大... 展开更多; 关键词微细台阶智能化测量系统测量原理台阶测量仪工作台测量精度测量软件半导体生产工艺触针; 在线阅读下载PDF 职称材料

睿励科学仪器在SEMICON China2012上推出TFX3000全自动300mm精密薄膜线宽测量系统: 3; 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2012年第4期326-326,共1页; 睿励科学仪器（上海）有限公司在SEMICON China2012期间推出其自主研发的适用于65Ilm和45nm技术节点的全自动300mm精密薄膜线宽测量设备（TFX3000）。该设备适用于先进半导体生产工艺中各种非金属薄膜的厚度及折射率的测量，及其光刻和... 展开更多; 关键词 SEMICON 测量系统金属薄膜科学仪器全自动线宽半导体生产工艺测量设备; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	操作
1	离子注入半导体的激光退火	路福荣	《四川激光》	1983	在线阅读下载PDF 职称材料
2	智能化的微细台阶测量系统	王云庆李庆祥薛实福周兆英	《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心	1996	在线阅读下载PDF 职称材料
3	睿励科学仪器在SEMICON China2012上推出TFX3000全自动300mm精密薄膜线宽测量系统		《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心	2012	在线阅读下载PDF 职称材料