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离子注入半导体的激光退火
1
作者
路福荣
《四川激光》
1983年第2期123-125,共3页
本文报导了半导体激光退火在国内外的进展概况,作为离于注入半导体生产工艺的“伴星”,激光退火有可能取代常规的高温退火工艺而被采用。
关键词
半导体生产工艺
激光退火
离子注入
退火
工艺
国内外
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职称材料
智能化的微细台阶测量系统
2
作者
王云庆
李庆祥
+1 位作者
薛实福
周兆英
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1996年第S1期389-390,共2页
智能化的微细台阶测量系统王云庆,李庆祥,薛实福,周兆英(清华大学)0引言在半导体生产工艺中,对各种微细台阶进行在线检测是保证产品质量、提高生产效率的重要手段。机械触针式台阶测量仪是台阶测量的重要仪器。本文介绍了清华大...
智能化的微细台阶测量系统王云庆,李庆祥,薛实福,周兆英(清华大学)0引言在半导体生产工艺中,对各种微细台阶进行在线检测是保证产品质量、提高生产效率的重要手段。机械触针式台阶测量仪是台阶测量的重要仪器。本文介绍了清华大学精密仪器与机械学系研制的高精度、...
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关键词
微细台阶
智能化
测量系统
测量原理
台阶测量仪
工作台
测量精度
测量软件
半导体生产工艺
触针
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职称材料
睿励科学仪器在SEMICON China2012上推出TFX3000全自动300mm精密薄膜线宽测量系统
3
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第4期326-326,共1页
睿励科学仪器(上海)有限公司在SEMICON China2012期间推出其自主研发的适用于65Ilm和45nm技术节点的全自动300mm精密薄膜线宽测量设备(TFX3000)。该设备适用于先进半导体生产工艺中各种非金属薄膜的厚度及折射率的测量,及其光刻和...
睿励科学仪器(上海)有限公司在SEMICON China2012期间推出其自主研发的适用于65Ilm和45nm技术节点的全自动300mm精密薄膜线宽测量设备(TFX3000)。该设备适用于先进半导体生产工艺中各种非金属薄膜的厚度及折射率的测量,及其光刻和刻蚀等工艺中关键尺寸和形貌的OCD测量。
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关键词
SEMICON
测量系统
金属薄膜
科学仪器
全自动
线宽
半导体生产工艺
测量设备
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职称材料
题名
离子注入半导体的激光退火
1
作者
路福荣
机构
江苏省电子工业综合研究所
出处
《四川激光》
1983年第2期123-125,共3页
文摘
本文报导了半导体激光退火在国内外的进展概况,作为离于注入半导体生产工艺的“伴星”,激光退火有可能取代常规的高温退火工艺而被采用。
关键词
半导体生产工艺
激光退火
离子注入
退火
工艺
国内外
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
TN304.26 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
智能化的微细台阶测量系统
2
作者
王云庆
李庆祥
薛实福
周兆英
机构
清华大学
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1996年第S1期389-390,共2页
文摘
智能化的微细台阶测量系统王云庆,李庆祥,薛实福,周兆英(清华大学)0引言在半导体生产工艺中,对各种微细台阶进行在线检测是保证产品质量、提高生产效率的重要手段。机械触针式台阶测量仪是台阶测量的重要仪器。本文介绍了清华大学精密仪器与机械学系研制的高精度、...
关键词
微细台阶
智能化
测量系统
测量原理
台阶测量仪
工作台
测量精度
测量软件
半导体生产工艺
触针
分类号
TP212.6 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
睿励科学仪器在SEMICON China2012上推出TFX3000全自动300mm精密薄膜线宽测量系统
3
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第4期326-326,共1页
文摘
睿励科学仪器(上海)有限公司在SEMICON China2012期间推出其自主研发的适用于65Ilm和45nm技术节点的全自动300mm精密薄膜线宽测量设备(TFX3000)。该设备适用于先进半导体生产工艺中各种非金属薄膜的厚度及折射率的测量,及其光刻和刻蚀等工艺中关键尺寸和形貌的OCD测量。
关键词
SEMICON
测量系统
金属薄膜
科学仪器
全自动
线宽
半导体生产工艺
测量设备
分类号
TN3-28 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
离子注入半导体的激光退火
路福荣
《四川激光》
1983
0
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职称材料
2
智能化的微细台阶测量系统
王云庆
李庆祥
薛实福
周兆英
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1996
0
在线阅读
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职称材料
3
睿励科学仪器在SEMICON China2012上推出TFX3000全自动300mm精密薄膜线宽测量系统
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2012
0
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