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基于Petri网与遗传算法的半导体生产线建模与优化调度 被引量:11
1
作者 曹政才 余红霞 乔非 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第2期340-344,共5页
针对半导体生产线调度复杂、难以优化的问题,本文提出一种基于层次有色赋时Petri网技术和遗传算法相结合的优化调度方法.该方法利用层次化的思想结合自顶向下建模方法对半导体生产线进行模块化建模,模型不仅能够反映生产线待加工产品的... 针对半导体生产线调度复杂、难以优化的问题,本文提出一种基于层次有色赋时Petri网技术和遗传算法相结合的优化调度方法.该方法利用层次化的思想结合自顶向下建模方法对半导体生产线进行模块化建模,模型不仅能够反映生产线待加工产品的多条加工路径及其资源约束,还可以对系统的设备维护、各种优先级等特性进行描述,得到对生产系统更完善更精确的刻画.通过在遗传算法编码中考虑投料策略、工件选设备规则、批加工调度规则和单件加工设备规则等因素得到更加有效的调度方案,提高了模型的优化程度.在此基础上,对实际半导体生产线的不同调度方案分别进行仿真,并对仿真结果进行比较,从而验证了建模方法的正确性及调度策略的有效性. 展开更多
关键词 半导体生产线 层次有色赋时Petri网 遗传算法 建模 优化
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半导体生产过程的Run-to-Run控制技术综述 被引量:4
2
作者 王树青 张学鹏 陈良 《浙江大学学报(工学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第8期1393-1398,1457,共7页
Run-to-Run通过对历史批次过程数据的统计分析改变下一批次的制程方案(recipe),解决间歇过程尤其是半导体生产过程中在线测量手段缺乏造成实时过程控制难以实施的问题,从而降低批次间产品的品质差异.这一方法是统计过程控制和实时控制... Run-to-Run通过对历史批次过程数据的统计分析改变下一批次的制程方案(recipe),解决间歇过程尤其是半导体生产过程中在线测量手段缺乏造成实时过程控制难以实施的问题,从而降低批次间产品的品质差异.这一方法是统计过程控制和实时控制的折中,提供了一个提升产品质量、改善总体设备效能的框架.介绍了Run-to-Run控制的产生背景,阐述了Run-to-Run控制器的一般结构,重点介绍了3类主要的Run-to-Run控制算法,对各种Run-to-Run控制算法进行了评价,并介绍了它们在关键单元操作中的应用,最后探讨了未来的研究方向. 展开更多
关键词 Run-to-Run控制 间歇过程 半导体生产 统计过程控制
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半导体生产规划中的优化决策方法:线性规划 被引量:5
3
作者 李琦 刘大成 +1 位作者 郑力 张涛 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2004年第7期35-39,共5页
半导体制造是一个流程高度复杂,资金高度密集的加工过程,相对于其它制造业来说,其产品种类繁多,工序复杂,对设备的利用率要求较高,因而生产优化也较为复杂。本文利用线性规划(linearprogramming, LP),对半导体制造的封装和测试过程进行... 半导体制造是一个流程高度复杂,资金高度密集的加工过程,相对于其它制造业来说,其产品种类繁多,工序复杂,对设备的利用率要求较高,因而生产优化也较为复杂。本文利用线性规划(linearprogramming, LP),对半导体制造的封装和测试过程进行数学建模,并构建一套决策支持系统。与电子表格手工计算相比,该系统大大缩短了生产计划响应时间,并提高了瓶颈设备利用率。 展开更多
关键词 半导体生产 优化决策 线性规划 决策支持系统
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基于模糊Petri网推理的半导体生产线投料控制策略 被引量:5
4
作者 曹政才 赵会丹 王永吉 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第7期1545-1550,共6页
半导体生产线存在大量随机不确定因素,各种不确定扰动的发生,往往使已获得优化调度方案在执行过程中失去优良性,鉴于模糊Petri网在知识表达和逻辑推理方面的优势,本文研究将该思想用于半导体生产线投料控制,构建投料模糊Petri网推理模型... 半导体生产线存在大量随机不确定因素,各种不确定扰动的发生,往往使已获得优化调度方案在执行过程中失去优良性,鉴于模糊Petri网在知识表达和逻辑推理方面的优势,本文研究将该思想用于半导体生产线投料控制,构建投料模糊Petri网推理模型,建立完整的在线投料机制,以生产线实时信息为依据,决定系统采取的投料控制行为,以便尽可能发挥系统的生产能力,优化系统制造性能.最后,以某半导体生产线为例进行投料控制实验,结果表明,该策略是可行有效的. 展开更多
关键词 半导体生产线 投料策略 模糊PETRI网
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基于AOCPN的半导体生产线多代理交互协议建模技术 被引量:4
5
作者 翟文彬 张洁 +1 位作者 严隽琪 马登哲 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第7期1150-1154,共5页
提出了基于AOCPN的多代理交互协议的建模技术.在建模方面,提出了AUML模型向AOCPN模型的转换规则,以实现AUML模型向AOCPN模型的映射;在交互协议分析方面,对CPN模型简化规则进行了扩展,提出了集成简化规则和可达图的定性分析方法.以基于GP... 提出了基于AOCPN的多代理交互协议的建模技术.在建模方面,提出了AUML模型向AOCPN模型的转换规则,以实现AUML模型向AOCPN模型的映射;在交互协议分析方面,对CPN模型简化规则进行了扩展,提出了集成简化规则和可达图的定性分析方法.以基于GPGP-CN的半导体生产线多代理交互协议为实例,验证了该建模技术的有效性. 展开更多
关键词 半导体生产线 面向代理的有色赋值Petri网 交互协议
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半导体生产线基于DBR和ANFIS相融合的动态调度方法研究 被引量:3
6
作者 曹政才 彭亚珍 +1 位作者 李博 刘民 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第10期2082-2087,共6页
实际半导体制造过程调度问题具有大规模、小确定、带复杂约束及多目标等综合复杂性,要确保上述生产过程优化运行,必须及时有效进行动态调度.鉴于半导体生产线具有多重入特征及紧急订单对常规订单产生影响,本文给出一种基于"鼓-缓冲... 实际半导体制造过程调度问题具有大规模、小确定、带复杂约束及多目标等综合复杂性,要确保上述生产过程优化运行,必须及时有效进行动态调度.鉴于半导体生产线具有多重入特征及紧急订单对常规订单产生影响,本文给出一种基于"鼓-缓冲-绳子"(Drum-Buffer-Rope,DBR)和白适应模糊推理系统(Adaptive Neuro-Fuzzy Inference System,ANFIS)相融合的半导体生产线动态调度方法.首先以最大化瓶颈设备有效产能及保证生产线负荷均衡为目标,将投料控制与工件调度有机结合进行DBR优化算法设计;其次根据生产线运行过程中积累大量的历史数据与实时数据,利用ANFIS构建紧急订单相关信息预测模型;再次结合专家经验知识,利用模糊推理系统将预测结果与相应的DBR算法相融合,使生产线提前调整投料策略,保证紧急订单到来时生产线能够有效完成其加工任务及减小紧急订单与常规订单之间的相互影响;最后通过某半导体生产线进行仿真验证,该方法能够实现生产线的多目标优化,为解决实际半导体生产调度问题提供参考. 展开更多
关键词 半导体生产线 动态调度 紧急订单预测 鼓-缓冲-绳子
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半导体生产线建模方法与调度策略研究进展 被引量:3
7
作者 曹政才 乔非 吴启迪 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第B12期2518-2525,共8页
半导体生产线是典型多重入复杂的制造系统,具有可重入性、复杂性、不确定性、多目标和多约束等特点,其优化调度问题是近年来控制领域的一个重要研究方向.本文根据近些年来这一研究方向上的主要研究成果,系统评述了国内外半导体生产线调... 半导体生产线是典型多重入复杂的制造系统,具有可重入性、复杂性、不确定性、多目标和多约束等特点,其优化调度问题是近年来控制领域的一个重要研究方向.本文根据近些年来这一研究方向上的主要研究成果,系统评述了国内外半导体生产线调度的建模方法和调度策略的研究进展,分析和讨论它们各自的主要优缺点和适用范围,简要介绍了重调度判定依据及所采用的方法,并指出半导体制造领域中值得进一步研究的一些问题和可能发展的方向. 展开更多
关键词 半导体生产线 建模 调度 重调度
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组件化可重构半导体生产线调度体系结构 被引量:2
8
作者 李莉 乔非 吴启迪 《江南大学学报(自然科学版)》 CAS 2006年第4期383-386,共4页
在分析半导体生产线调度分类的基础上,提出了组件化可重构半导体生产线调度体系结构.根据该体系结构,不同类型的企业可以按照自己的生产特点动态选择适合自己的调度结构,以获得最佳的生产性能.
关键词 半导体生产线 组件化 可重构 调度体系结构
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基于增长修剪型神经网络的半导体生产线动态瓶颈分析方法 被引量:1
9
作者 曹政才 邱明辉 刘民 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第7期1636-1642,共7页
瓶颈设备是制约半导体生产线在制品水平、生产周期及准时交货率的关键因素,对其进行有效地分析能够提高生产线多性能.现有的分析方法主要是将瓶颈设备视为静态瓶颈,未考虑到生产线不确定因素所带来的动态漂移问题,这样容易造成以瓶颈设... 瓶颈设备是制约半导体生产线在制品水平、生产周期及准时交货率的关键因素,对其进行有效地分析能够提高生产线多性能.现有的分析方法主要是将瓶颈设备视为静态瓶颈,未考虑到生产线不确定因素所带来的动态漂移问题,这样容易造成以瓶颈设备控制为核心的调度算法缺乏柔性,降低算法实效性,因此,本文提出一种基于增长修剪型神经网络的动态瓶颈分析方法.该方法从设备相对生产负荷、利用率及缓冲区队列长度等方面,利用复合定义方法描述设备的综合瓶颈度,并结合瓶颈判定机制识别瓶颈;其次,通过构建增长修剪型神经网络模型预测生产线下一时刻瓶颈,借鉴闭环控制思想动态修正网络结构;再次,使用单因子试验法对影响瓶颈的关键参数进行分析以获得设备动态特性;最后,通过仿真验证方法的可行性和有效性. 展开更多
关键词 半导体生产线 动态瓶颈分析 综合瓶颈度 增长修剪型神经网络 单因子试验法
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半导体生产用的高纯气体述评 被引量:1
10
作者 林耀泽 《低温与特气》 CAS 1984年第1期8-14,共7页
半导体、集成电路是项更新换代十分迅速的产业。在六十年代中,电路的集成度每年翻一番,七十年代,平均每三年增加四倍。进入八十年代后,仍将以每二年翻一番的速度增加。伴随这种发展,要求与使用的气体品种、质量和数量也急剧增加和... 半导体、集成电路是项更新换代十分迅速的产业。在六十年代中,电路的集成度每年翻一番,七十年代,平均每三年增加四倍。进入八十年代后,仍将以每二年翻一番的速度增加。伴随这种发展,要求与使用的气体品种、质量和数量也急剧增加和提高。关于国外气体的质量标准已有详细综述,本文仅限于述评近年来高纯气体方面的特点和常用工业气体的供气方式。 展开更多
关键词 高纯气体 半导体生产 述评 集成电路 质量标准 供气方式 工业气体 年代 集成度
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基于Linux的半导体生产设备通用平台的实现 被引量:1
11
作者 戚其丰 黄建荣 胡跃明 《电子工艺技术》 2006年第6期352-354,363,共4页
上芯机、贴片机等是半导体制造行业中非常重要的生产设备,分析了上芯机、贴片机等半导体生产设备的系统控制平台,并且对各个系统的结构进行了比较,在抽取出它们的共同特征的基础上,提出了基于Linux操作系统的实时多任务系统通用平台的... 上芯机、贴片机等是半导体制造行业中非常重要的生产设备,分析了上芯机、贴片机等半导体生产设备的系统控制平台,并且对各个系统的结构进行了比较,在抽取出它们的共同特征的基础上,提出了基于Linux操作系统的实时多任务系统通用平台的构建及其实现方法。 展开更多
关键词 半导体生产设备 控制平台 LINUX操作系统 多线程
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半导体生产废水处理技术研究 被引量:1
12
作者 罗德春 黄宇广 《西安矿业学院学报》 1999年第1期26-30,共5页
作用根据实验研究,提出了半导体生产废水处理的氯酸钠化学氧化法和硫酸铝吸附共沉淀法,并说明了有关处理条件。
关键词 半导体生产 废水处理 氯酸钠 化学氧化 硫酸铝
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GLOBALFOUNDRIES:半导体生产制造的领头羊——访GLOBALFOUNDRIES公司200毫米晶圆业务高级副总裁兼新加坡业务总经理RajKumar先生
13
作者 王喜莲 《中国集成电路》 2011年第5期18-20,共3页
随着社会生产力进一步发展和市场需求量的不断扩大,社会分工更加细化,外包生产模式的推行已经成为众多公司优化资源配置、获得市场份额计划的一个重要手段,实现新的半导体生产制造模式势在必行。GLOBALFOUNDRIES公司便代表了这样一种模... 随着社会生产力进一步发展和市场需求量的不断扩大,社会分工更加细化,外包生产模式的推行已经成为众多公司优化资源配置、获得市场份额计划的一个重要手段,实现新的半导体生产制造模式势在必行。GLOBALFOUNDRIES公司便代表了这样一种模式。在前不久举办的"SEMICONChina2011"期间,我们有机会采访了GLOBALFOUNDRIES公司200毫米晶圆业务高级副总裁兼新加坡业务总经理RajKumar先生,他和我们分析了关于新的半导体生产制造模式、200mm晶圆领域的最新技术产品,创新优势,以及未来的市场挑战等问题。 展开更多
关键词 半导体生产 生产制造 总经理 新加坡 业务 总裁 晶圆 市场需求量
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半导体生产厂房化学液集中供应系统设计
14
作者 孙敏 《电子工业专用设备》 2014年第12期5-9,共5页
根据半导体厂房的工作环境、化学液类型与用途和系统供应目的等,提出了常用化学液集中供应的基本要求,从而得出半导体厂房化学液集中供应的系统设计,系统设计包括系统类型、基本构成、控制流程以及安全技术措施等。
关键词 化学液供应 半导体生产 系统设计 安全技术措施
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半导体生产的CPS构建及调度可行性分析 被引量:6
15
作者 曹秋实 乔非 《新型工业化》 2016年第12期45-48,共4页
在复杂制造及自动控制领域,半导体生产调度一直是研究的热点。半导体生产制造系统因其特有的复杂性、不确定性、多目标性以及多约束性特征,为优化调度、提高生产性能提出了挑战。信息物理融合系统(Cyber Physical System,CPS)是一种融... 在复杂制造及自动控制领域,半导体生产调度一直是研究的热点。半导体生产制造系统因其特有的复杂性、不确定性、多目标性以及多约束性特征,为优化调度、提高生产性能提出了挑战。信息物理融合系统(Cyber Physical System,CPS)是一种融合计算、通信与控制的新型复杂实时分布式系统,系统中计算过程和物理过程在开放环境下持续交互、深度融合,其特征和功能为离散制造的智能化生产和竞争力的提高提供了有效的思路和途径。本文基于信息融合系统的基本理念,结合其在制造业的应用发展,探讨了针对于半导体生产的CPS构建以及进行调度优化的可行性。 展开更多
关键词 半导体生产 CPS 生产调度
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基于动态数据驱动的半导体生产线调度仿真
16
作者 邓可 《上海管理科学》 CSSCI 2011年第3期52-56,共5页
针对半导体晶圆生产的特点,研究了基于动态数据驱动的半导体生产调度仿真系统。系统通过实时采集半导体生产线上的动态数据监控生产过程,并且根据仿真数据和生产数据的差异,及时识别扰动,驱动系统重调度仿真。系统通过混合知识表示形成... 针对半导体晶圆生产的特点,研究了基于动态数据驱动的半导体生产调度仿真系统。系统通过实时采集半导体生产线上的动态数据监控生产过程,并且根据仿真数据和生产数据的差异,及时识别扰动,驱动系统重调度仿真。系统通过混合知识表示形成基于半导体生产调度因素、调度策略和调度方法的知识网络,运用JESS实现动态调度策略实时推理。并且利用多Agent强大的模型描述能力和分布式问题求解能力提高仿真的实时性。仿真结果表明,系统具有很好的实时性和动态适应性,能够保持生产的稳定运行。 展开更多
关键词 动态数据驱动 半导体生产线 调度 多AGENT 系统仿真
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半导体生产中的静电消除与空气电离化 被引量:1
17
作者 管伟 《中国集成电路》 2005年第2期79-83,共5页
在整个半导体制造过程中,微粒污染;静电放电损坏以及与此相关联的设备停机,是静电带来的三大问题。所以必须对静电加以控制。国际半导体发展路线图和SEMI标准提出了将静电控制在合适水准上的建议。静电控制方案包括了接地,静电耗散材料... 在整个半导体制造过程中,微粒污染;静电放电损坏以及与此相关联的设备停机,是静电带来的三大问题。所以必须对静电加以控制。国际半导体发展路线图和SEMI标准提出了将静电控制在合适水准上的建议。静电控制方案包括了接地,静电耗散材料和空气电离化。为适应快速发展的半导体生产所带来的要求,空气电离器也在不断进行的变化。 展开更多
关键词 半导体生产 空气 静电消除 离化 制造过程 微粒污染 静电放电 静电控制 SEMI 控制方案 相关联 路线图 电离器
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半导体生产企业设备备件管理探讨 被引量:1
18
作者 薛文卿 胡超 尤春 《电子与封装》 2019年第2期45-48,共4页
浅析半导体生产企业备品备件管理的目的性和内容,介绍备品备件的分类及重要备件缺乏时的应急措施等内容。以半导体行业中设备备件管理作为研究对象,对业内备品备件管理模式进行了探讨,并据此提出合理化建议。
关键词 半导体生产企业 备品备件 PM易耗件 应急措施 管理模式
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三星投2.2亿美元增设半导体生产线
19
《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2006年第5期398-398,共1页
据海外媒体最新报道,韩国三星电子日前宣布,该公司计划投资2.2亿美元,在其位于美国德克萨斯州奥斯汀市的现有工厂增设一条半导体生产线,专门生产面向北美市场的存储器芯片。
关键词 半导体生产线 三星电子 美元 德克萨斯州 存储器芯片 北美市场
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武汉12in半导体生产线正式投产
20
《电视技术》 北大核心 2008年第10期6-6,共1页
9月2日,武汉新芯集成电路制造有限公司宣布了12in半导体生产线正式投产。来自美国的飞索半导体成为武汉新芯最重要的战略合作伙伴。
关键词 半导体生产线 武汉 投产 集成电路制造 战略合作伙伴
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