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Pt/TiO2二极管湿敏传感器
1
作者
孙德明
肖梦秋
+1 位作者
汪荣昌
戎瑞芬
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1998年第5期29-32,42,共5页
Ｐｔ常被用来在金属氧化物半导体上做肖特基接触。在常温下，Ｐｔ／ＴｉＯ２界面处的电子电导对Ｐｔ／ＴｉＯ２肖特基势垒高度的变化非常敏感。本文描述了利用该性质制造的湿敏传感器的性能，并讨论了因水在Ｐｔ／ＴｉＯ２界面处的化学...
Ｐｔ常被用来在金属氧化物半导体上做肖特基接触。在常温下，Ｐｔ／ＴｉＯ２界面处的电子电导对Ｐｔ／ＴｉＯ２肖特基势垒高度的变化非常敏感。本文描述了利用该性质制造的湿敏传感器的性能，并讨论了因水在Ｐｔ／ＴｉＯ２界面处的化学吸附，引起表面Ｆｅｒｍｉ能级改变，影响Ｐｔ／ＴｉＯ２肖特基势垒的高度，从而导致了Ｉ－Ｖ曲线变化的物理过程，对器件制造过程中的工艺问题也有所论述。
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关键词
湿
敏
传感器
肖特基势垒
半导体湿敏器件
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职称材料
题名
Pt/TiO2二极管湿敏传感器
1
作者
孙德明
肖梦秋
汪荣昌
戎瑞芬
机构
复旦大学材料科学系
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1998年第5期29-32,42,共5页
文摘
Ｐｔ常被用来在金属氧化物半导体上做肖特基接触。在常温下，Ｐｔ／ＴｉＯ２界面处的电子电导对Ｐｔ／ＴｉＯ２肖特基势垒高度的变化非常敏感。本文描述了利用该性质制造的湿敏传感器的性能，并讨论了因水在Ｐｔ／ＴｉＯ２界面处的化学吸附，引起表面Ｆｅｒｍｉ能级改变，影响Ｐｔ／ＴｉＯ２肖特基势垒的高度，从而导致了Ｉ－Ｖ曲线变化的物理过程，对器件制造过程中的工艺问题也有所论述。
关键词
湿
敏
传感器
肖特基势垒
半导体湿敏器件
Keywords
Humidity sensor Schottky barrier Pt/TiO 2 contact
分类号
TN379 [电子电信—物理电子学]
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作者
出处
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1
Pt/TiO2二极管湿敏传感器
孙德明
肖梦秋
汪荣昌
戎瑞芬
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1998
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