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半导体氢传感器工作温度特性
被引量:
4
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作者
刘丹峰
周海燕
文勇
《传感器与微系统》
CSCD
2018年第11期60-62,共3页
半导体氢传感器的气敏材料在工作过程中需要较高的工作温度,工作温度的不同对测量精度和响应时间也有一定的影响。采用以掺杂贵金属的Sn O2为气敏材料的氢传感器,考察其在不同温度下对不同浓度氢气的测量情况,研究氢传感器的工作温度特性。
关键词
半导体氢传感器
气敏材料
温度
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职称材料
题名
半导体氢传感器工作温度特性
被引量:
4
1
作者
刘丹峰
周海燕
文勇
机构
中国工程物理研究院总体工程研究所
出处
《传感器与微系统》
CSCD
2018年第11期60-62,共3页
文摘
半导体氢传感器的气敏材料在工作过程中需要较高的工作温度,工作温度的不同对测量精度和响应时间也有一定的影响。采用以掺杂贵金属的Sn O2为气敏材料的氢传感器,考察其在不同温度下对不同浓度氢气的测量情况,研究氢传感器的工作温度特性。
关键词
半导体氢传感器
气敏材料
温度
Keywords
semiconductor hydrogen sensor
gas sensitive material
temperature
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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作者
出处
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被引量
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1
半导体氢传感器工作温度特性
刘丹峰
周海燕
文勇
《传感器与微系统》
CSCD
2018
4
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