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大视场白光干涉测量系统及性能研究被引量：4: 1; 作者刘涛王智彬 +9 位作者胡佳琪何耀楠景炜昌陈恩静周文龙于国明杨宁赵迪张国锋杨树明《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第1期129-141,共13页; 基于国产化的2倍迈克尔逊型干涉物镜组,优选配置0.5倍适配镜,对白光LED照明光源进行带通滤波参数的仿真估算和实验性能比较,构建了整套大视场白光干涉精密测量装置系统并进行了实验测试,通过白光干涉轴向响应实验曲线确定了中心波长。... 展开更多; 关键词白光干涉三维测量大视场滤波半导体检测; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于法兰式光纤传感技术的高压组合电器HF气体在线检测被引量：15: 2; 作者张施令姚强李新田《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第2期402-409,共8页; SF6气体具有优异的绝缘和灭弧性能,因而广泛应用于高压气体绝缘组合电器(GIS)的生产和使用中,但GIS设备运行状态下的放电和过热故障将导致SF6气体分解生成氟化氢(HF)等多种典型特征气体,因此通过检测高压GIS中HF气体体积分数可有效判断... 展开更多; 关键词气体绝缘组合电器过热故障 HF气体半导体激光气体检测光纤传感在线检测; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于TDLAS检测技术的甲烷体积分数场重建研究被引量：7: 3; 作者张旭曹树亚 +4 位作者郭腾霄董力强杨柳原博丁学全《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2018年第4期577-582,共6页; 为了实现对甲烷体积分数场的2维分布重建,基于可调谐半导体激光吸收光谱(TDLAS)检测技术,以甲烷为目标气体,采用直接吸收的测量方式,探测了甲烷氮气混合气的吸收光谱信号,通过代数重建算法对甲烷体积分数进行了模拟重建和实验研究,模拟... 展开更多; 关键词光谱学 2维分布重建代数重建算法可调谐半导体激光吸收光谱检测技术; 在线阅读下载PDF 职称材料

迭代学习在运动台控制系统中的应用研究被引量：2: 4; 作者朱喜张文涛 +1 位作者杜浩熊显名《现代电子技术》 2023年第13期97-102,共6页; 为了满足晶圆缺陷检测设备运动台对运动轨迹的精确跟踪需求,在重复作业的系统中常采用迭代学习控制,缩短运动台运动的稳定时间,提高半导体检测设备的产率。针对普通的全局PD迭代算法的局限性可能造成系统在特定环节的劣化,实际应用中迭... 展开更多; 关键词迭代学习控制系统被控对象建模半导体检测前馈控制运动轨迹跟踪; 在线阅读下载PDF 职称材料

时间双光路红外线气体分析仪的稳态信号传递方程及若干设计问题的探讨: 5; 作者周昌震曹俊杰《仪器仪表学报》 EI CAS 1982年第4期345-351,共7页; 采用半导体检测器的时间双光路红外气体分析仪是近年来国内研制生产的新型红外仪器。它体积小、结构简单、易于维护和生产,有发展前途。本文导出了这类仪器的稳态信号传递方程和零点调节方程,并以此为基础,具体地讨论了仪器的设计问题,... 展开更多; 关键词稳态信号气体分析仪半导体检测器吸收谱带中心波长光学深度浓度测量透过率光谱范围响应率; 在线阅读下载PDF 职称材料

射线式浓度计: 6; 《中国环境监测》 CAS CSSCI CSCD 北大核心 1992年第6期158-163,共6页; 19.1X—射线概述:图19—1左上方是产生X—射线的装置,灯丝发射的电子被高电压加速后,轰击由Mo、W、Cu等制作的阴极靶,于是产生波长为0.1—100（?）的X—射线。图19—2是以Mo为阴极靶时,随所加高压的变化X—射线的波长分布情况。当两极... 展开更多; 关键词线式浓度计放射线阴极靶荧光分析法分光晶体半导体检测器原子序数透过式校准曲线; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名大视场白光干涉测量系统及性能研究被引量：4: 1; 作者刘涛王智彬胡佳琪何耀楠景炜昌陈恩静周文龙于国明杨宁赵迪张国锋杨树明; 机构西安交通大学机械工程学院西安恩科微纳光电科技有限公司麦克奥迪实业集团有限公司陕西省计量科学研究院国家市场监管重点实验室(计量光学及应用); 出处《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第1期129-141,共13页; 基金国家重点研发计划(No.2023YFE0203800) 陕西省重点研发计划(Nos.2021ZDLGY12‒06,2021KY04) +1 种基金国家自然科学基金(No.52305584)。; 文摘基于国产化的2倍迈克尔逊型干涉物镜组,优选配置0.5倍适配镜,对白光LED照明光源进行带通滤波参数的仿真估算和实验性能比较,构建了整套大视场白光干涉精密测量装置系统并进行了实验测试,通过白光干涉轴向响应实验曲线确定了中心波长。实验结果表明:通过光谱滤波获得了较为理想的白光干涉轴向响应曲线;系统的水平最大视场达到了14 mm;高度为2.04μm和20.43μm的标准台阶样品的测量结果分别为2.05μm和20.47μm,10次测量重复精度(标准差)分别为12 nm和16 nm。对粗糙度样板、微机电系统传感结构和半导体晶圆膜层进行了实测,表明所研制的系统装置在三维光学无损精密检测领域的应用具有可行性。; 关键词白光干涉三维测量大视场滤波半导体检测; Keywords White light interferometry 3D measurement Large field-of-view Filtering Semiconductor inspection; 分类号 TH741 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于法兰式光纤传感技术的高压组合电器HF气体在线检测被引量：15: 2; 作者张施令姚强李新田; 机构国网重庆市电力公司电力科学研究院河南省日立信股份有限公司; 出处《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第2期402-409,共8页; 基金重庆市基础科学与前沿技术项目(cstc2017jcyjAX0461) 重庆市电力公司科技项目(2017渝电科技5#)~~; 文摘 SF6气体具有优异的绝缘和灭弧性能,因而广泛应用于高压气体绝缘组合电器(GIS)的生产和使用中,但GIS设备运行状态下的放电和过热故障将导致SF6气体分解生成氟化氢(HF)等多种典型特征气体,因此通过检测高压GIS中HF气体体积分数可有效判断其运行状态。通过提出一种基于可调谐半导体激光吸收光谱检测(TDLAS)和法兰式光纤传感技术的高压组合电器HF气体在线检测方法,即将法兰式光纤传感结构固定安装在GIS管道中,实现了HF气体浓度高精度在线监测。实验数据表明,法兰式光纤传感在线监测装置能够实现对HF气体的有效测量。研究结果表明:盆式绝缘子表面最大场强为11.85kV/mm,低于SF6气体绝缘条件下20kV/mm的场强控制要求,因此盆式绝缘子附近电场不影响光纤传感器运行;在1m光程情况下,HF气体体积分数检出限可达5×10–5以下。研究结果可为高压组合电器SF6气体分解产物在线检测提供一种较为新颖的方案,从而实现对高压GIS内部HF气体的实时在线检测。; 关键词气体绝缘组合电器过热故障 HF气体半导体激光气体检测光纤传感在线检测; Keywords GIS overheating fault HF gas TDLAS optical fiber sensing online detection; 分类号 TM595 [电气工程—电器]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于TDLAS检测技术的甲烷体积分数场重建研究被引量：7: 3; 作者张旭曹树亚郭腾霄董力强杨柳原博丁学全; 机构中国人民解放军军事科学院防化研究院国民核生化灾害防护国家重点实验室; 出处《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2018年第4期577-582,共6页; 基金国家九七三重点基础研究发展计划资助项目(2011CB706900); 文摘为了实现对甲烷体积分数场的2维分布重建,基于可调谐半导体激光吸收光谱(TDLAS)检测技术,以甲烷为目标气体,采用直接吸收的测量方式,探测了甲烷氮气混合气的吸收光谱信号,通过代数重建算法对甲烷体积分数进行了模拟重建和实验研究,模拟重建采用了6×6共36个方格的正方形重建区域,假定一个方形区域内具有空穴的体积分数分布,模拟24条光束从4个方向穿过重建区域,获取了模拟光线下的投影值。结果表明,经过重复实验统计均方根误差在2.58%,对模拟投影信号加入不同信噪比(5%,10%,20%)的高斯白噪声之后再进行重建,均方根误差分别在4.17%~9.30%之间;实验研究采取面源泄露式扩散方式,并通过在中心附近放置石英柱的方式人为制造体积分数空穴,形成非均匀体积分数场,通过对放置障碍物前后的重建结果对比,能够看到在空穴位置有明显的体积分数下降。TDLAS技术与计算机断层重建技术在气体体积分数场的局部分布检测上有可行性,具备作为有毒有害气体云团体积分数分布检测手段的潜力。; 关键词光谱学 2维分布重建代数重建算法可调谐半导体激光吸收光谱检测技术; Keywords spectroscopy 2-D distribution reconstruction algebraic reconstruction algorithm tunable diode laser absorption spectroscopy detection technology; 分类号 O433 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名迭代学习在运动台控制系统中的应用研究被引量：2: 4; 作者朱喜张文涛杜浩熊显名; 机构桂林电子科技大学电子工程与自动化学院; 出处《现代电子技术》 2023年第13期97-102,共6页; 基金国家科技重大专项子课题(2017ZX02101007-003) 国家自然科学基金项目(61965005) +3 种基金上海市在线检测与控制技术重点实验室开放基金项目(ZX2021104)。; 文摘为了满足晶圆缺陷检测设备运动台对运动轨迹的精确跟踪需求,在重复作业的系统中常采用迭代学习控制,缩短运动台运动的稳定时间,提高半导体检测设备的产率。针对普通的全局PD迭代算法的局限性可能造成系统在特定环节的劣化,实际应用中迭代时间长、次数多,滤波器型迭代学习应用中被控对象模型难以获得等问题,通过拟合实测传递函数,提出基于模型迭代学习的一种前馈控制算法。给出被控对象建模方法,提出改良后的滤波器型迭代学习控制,有效缩短迭代次数,降低运动台的跟踪误差和运动台稳定时间。实验结果表明,改进滤波器型迭代学习控制算法可以减小原来的轴运动的稳定时间30%左右,轴粗动时位置误差的均方根减小了原来的25%,改善了半导体检测设备运动台的轨迹跟踪性能,可以提高半导体检测设备的产率。; 关键词迭代学习控制系统被控对象建模半导体检测前馈控制运动轨迹跟踪; Keywords iterative learning control system controlled object modeling semiconductor testing feedforward control motion trajectory tracking; 分类号 TN876-34 [电子电信—信息与通信工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名时间双光路红外线气体分析仪的稳态信号传递方程及若干设计问题的探讨: 5; 作者周昌震曹俊杰; 机构天津大学; 出处《仪器仪表学报》 EI CAS 1982年第4期345-351,共7页; 文摘采用半导体检测器的时间双光路红外气体分析仪是近年来国内研制生产的新型红外仪器。它体积小、结构简单、易于维护和生产,有发展前途。本文导出了这类仪器的稳态信号传递方程和零点调节方程,并以此为基础,具体地讨论了仪器的设计问题,给出了确定一些工艺指标的理论原则。; 关键词稳态信号气体分析仪半导体检测器吸收谱带中心波长光学深度浓度测量透过率光谱范围响应率; 分类号 F2 [经济管理—国民经济]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名射线式浓度计: 6; 出处《中国环境监测》 CAS CSSCI CSCD 北大核心 1992年第6期158-163,共6页; 文摘 19.1X—射线概述:图19—1左上方是产生X—射线的装置,灯丝发射的电子被高电压加速后,轰击由Mo、W、Cu等制作的阴极靶,于是产生波长为0.1—100（?）的X—射线。图19—2是以Mo为阴极靶时,随所加高压的变化X—射线的波长分布情况。当两极间电压高达18KV时,将产生白色X—射线（连续X—射线）。此时,波长入（?）,普朗克常数h(=6.55×10<sup>-27</sup>,ev/s),光速C(3×10<sup>10</sup>cm/s),电子电荷e,放电电压V（kv）之间存在下式关系:; 关键词线式浓度计放射线阴极靶荧光分析法分光晶体半导体检测器原子序数透过式校准曲线; 分类号 X83 [环境科学与工程—环境工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	大视场白光干涉测量系统及性能研究	刘涛王智彬胡佳琪何耀楠景炜昌陈恩静周文龙于国明杨宁赵迪张国锋杨树明	《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2024	4	在线阅读下载PDF 职称材料
2	基于法兰式光纤传感技术的高压组合电器HF气体在线检测	张施令姚强李新田	《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心	2019	15	在线阅读下载PDF 职称材料
3	基于TDLAS检测技术的甲烷体积分数场重建研究	张旭曹树亚郭腾霄董力强杨柳原博丁学全	《激光技术》 CAS CSCD 北大核心	2018	7	在线阅读下载PDF 职称材料
4	迭代学习在运动台控制系统中的应用研究	朱喜张文涛杜浩熊显名	《现代电子技术》	2023	2	在线阅读下载PDF 职称材料
5	时间双光路红外线气体分析仪的稳态信号传递方程及若干设计问题的探讨	周昌震曹俊杰	《仪器仪表学报》 EI CAS	1982	0	在线阅读下载PDF 职称材料
6	射线式浓度计		《中国环境监测》 CAS CSSCI CSCD 北大核心	1992	0	在线阅读下载PDF 职称材料