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半导体材料器件生产工艺中废气废水的综合治理方法及设备的研究 被引量:5
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作者 闻瑞梅 杜国栋 《中国工程科学》 2001年第2期71-78,共8页
针对半导体材料、器件生产工艺中的废气和废水的治理 ,介绍了三种不同的方法和相关设备。①利用碘盐、铜盐和锰盐以及多级逆向喷淋的设备对实验室MOVPE工艺尾气及砷化镓材料制备中砷烷、磷烷污染的治理。②生产规模的半导体材料砷化镓 ... 针对半导体材料、器件生产工艺中的废气和废水的治理 ,介绍了三种不同的方法和相关设备。①利用碘盐、铜盐和锰盐以及多级逆向喷淋的设备对实验室MOVPE工艺尾气及砷化镓材料制备中砷烷、磷烷污染的治理。②生产规模的半导体材料砷化镓 ,磷化姻 ,重掺砷硅单晶材料及器件的工艺中 ,腐蚀间排放的废气中砷、磷、硫、氟、氯及氮氧化物酸根离子的治理。用椭圆隔板式喷淋吸收塔或双塔式喷淋吸收设备 ,用氧化剂及碱液吸收的治理方法。③治理半导体工艺废水中砷、总磷、各种酸及重金属等的污染。用碳酸钙中和后 ,加铁盐经絮凝沉降一体化装置治理废水。经治理后的废气、废水经环保部门检测均达到国家排放标准[1~ 3] 展开更多
关键词 废水 废气 砷烷 磷烷 半导体材料器件 生产工艺 综合治理 设备
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硬X射线光电子能谱在半导体材料和器件中的应用 被引量:1
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作者 宋华平 杨安丽 《半导体技术》 CAS 北大核心 2024年第6期505-513,共9页
与常规X射线光电子能谱(XPS,能量E<2 keV))相比,硬X射线光电子能谱(HAXPES)由于采用较高能量的X射线(E>2 keV),具有更大的探测深度,已经成为研究复杂材料体系的体性质,以及多层薄膜结构和纳米复合结构界面性质的重要分析工具。简... 与常规X射线光电子能谱(XPS,能量E<2 keV))相比,硬X射线光电子能谱(HAXPES)由于采用较高能量的X射线(E>2 keV),具有更大的探测深度,已经成为研究复杂材料体系的体性质,以及多层薄膜结构和纳米复合结构界面性质的重要分析工具。简要论述了HAXPES的主要特点及其发展现状,重点介绍其在半导体材料和器件研究中的典型应用,包含亚表面性质、极性判定、异质结能带结构、掺杂原子空间位置信息、器件层中界面态、介质层厚度评估等方面。随着硬X射线光源技术的不断发展,HAXPES的性能将进一步提高,其应用范围也会快速拓展,这将极大地促进功能材料的发展和应用。 展开更多
关键词 硬X射线光电子能谱(HAXPES) 硬X射线光电子衍射 半导体材料器件 能带结构 亚表面性质
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上海有机所在阻转异构类有机半导体材料与器件研究中取得进展
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作者 新型 《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 2022年第7期290-291,共2页
近期,中国科学院上海有机化学研究所高希珂课题组等将立体化学中“阻转异构”的概念应用到有机半导体材料与器件中,设计合成并分离得到系列室温构象稳定的共轭二酰亚胺类阻转异构体(Syn-NDI、Anti-NDI、Syn-PDI和AntiPDI),将其作为有机... 近期,中国科学院上海有机化学研究所高希珂课题组等将立体化学中“阻转异构”的概念应用到有机半导体材料与器件中,设计合成并分离得到系列室温构象稳定的共轭二酰亚胺类阻转异构体(Syn-NDI、Anti-NDI、Syn-PDI和AntiPDI),将其作为有机半导体应用于热刺激-响应型有机场效应晶体管(OFET)器件。研究发现,在热溶液中,这些阻转异构体间均可快速相互转化,而在固态加热条件下。 展开更多
关键词 半导体材料器件 有机半导体 热刺激 加热条件 概念应用 二酰亚胺 立体化学 PDI
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《半导体技术》征稿启事
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作者 《半导体技术》编辑部 《半导体技术》 CAS 北大核心 2023年第2期101-101,共1页
《半导体技术》是由中国电子科技集团公司主管、中国电子科技集团公司第十三研究所主办的中文科技期刊(月刊)。我刊是北大版中文核心期刊、中国科技核心期刊,并被国内外多家数据库收录。2023年设置栏目:趋势与展望;半导体材料与器件;半... 《半导体技术》是由中国电子科技集团公司主管、中国电子科技集团公司第十三研究所主办的中文科技期刊(月刊)。我刊是北大版中文核心期刊、中国科技核心期刊,并被国内外多家数据库收录。2023年设置栏目:趋势与展望;半导体材料与器件;半导体制备技术;集成电路设计与应用;封装、检测与设备。投稿前须征得所有作者同意,在校学生须征得导师同意。投稿应保证不涉及泄密问题,否则责任自负。 展开更多
关键词 中文核心期刊 中文科技期刊 半导体技术 责任自负 中国科技核心期刊 数据库收录 半导体材料器件 泄密问题
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《半导体技术》征稿启事
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作者 《半导体技术》编辑部 《半导体技术》 CAS 北大核心 2023年第6期538-538,共1页
《半导体技术》是由中国电子科技集团公司主管、中国电子科技集团公司第十三研究所主办的中文科技期刊(月刊)。我刊是北大版中文核心期刊、中国科技核心期刊,并被国内外多家数据库收录。2023年设置栏目:趋势与展望;半导体材料与器件;半... 《半导体技术》是由中国电子科技集团公司主管、中国电子科技集团公司第十三研究所主办的中文科技期刊(月刊)。我刊是北大版中文核心期刊、中国科技核心期刊,并被国内外多家数据库收录。2023年设置栏目:趋势与展望;半导体材料与器件;半导体制备技术;集成电路设计与应用;封装、检测与设备。投稿前须征得所有作者同意,在校学生须征得导师同意。 展开更多
关键词 中文核心期刊 中文科技期刊 半导体技术 中国科技核心期刊 数据库收录 半导体材料器件 趋势与展望 集成电路
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晶格失配对InAs基室温中波红外探测器性能的影响 被引量:1
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作者 段永飞 张振宇 +1 位作者 陈泽中 胡淑红 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2023年第3期402-407,共6页
采用液相外延技术生长了InAs基室温红外探测器件材料,通过光学显微镜、扫描电子显微镜、X射线衍射仪分析了外延材料表面形貌、截面形貌与晶格失配的关系。分析发现,不恰当的晶体晶格常数匹配度会导致材料表面形貌变差,降低材料的结晶质... 采用液相外延技术生长了InAs基室温红外探测器件材料,通过光学显微镜、扫描电子显微镜、X射线衍射仪分析了外延材料表面形貌、截面形貌与晶格失配的关系。分析发现,不恰当的晶体晶格常数匹配度会导致材料表面形貌变差,降低材料的结晶质量,晶格失配在0.22%左右的InAs基外延材料表面形貌较好,缺陷少,晶体质量较好。在此基础上,成功制备出室温探测率D^(*)为6.8×10^(9)cm·Hz^(1/2)·W^(-1)的InAs基室温中波红外探测器,这一性能与国际上红外探测器领军企业美国Teledyne Judson Technologies和日本滨松株式会社的商用InAs基红外探测器性能处于同等水平。 展开更多
关键词 外延薄膜 半导体材料器件 光伏探测器 红外材料器件
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编者按
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作者 陈小龙 牛智川 +1 位作者 李忠辉 芦红 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2023年第5期I0005-I0006,共2页
1947年,世界上第一个晶体管诞生,开启了以硅半导体为代表的信息时代。“一代材料、一代器件、一代技术”。半个多世纪来,半导体材料与器件支撑了信息技术的飞速发展,而信息技术的发展需求又驱动了半导体材料与器件工艺的进步。元素半导体。
关键词 元素半导体 半导体 半导体材料器件 信息技术 信息时代 晶体管 编者按
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