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半导体器件生产车间通风洁净空调系统节能分析
被引量：
1
1
作者
卓平欢
《材料研究与应用》
CAS
2020年第1期51-54,共4页
随着国内半导体器件技术不断发展和广泛应用,使得洁净车间空调系统的节能成为关注和研究的焦点问题.通过对半导体器件生产车间空调系统的特点进行了分析,并以某工程为例,说明该类空调系统能耗大的现状.在此分析基础上,从将室外新风与室...
随着国内半导体器件技术不断发展和广泛应用,使得洁净车间空调系统的节能成为关注和研究的焦点问题.通过对半导体器件生产车间空调系统的特点进行了分析,并以某工程为例,说明该类空调系统能耗大的现状.在此分析基础上,从将室外新风与室内回风分离、调节减小系统送风量,利用变频技术优化控制系统及运行管理等方面,提出解决洁净系统运行节能的思路及措施.
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关键词
半导体器件生产生间
洁净空调系统
风量
节能
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职称材料
题名
半导体器件生产车间通风洁净空调系统节能分析
被引量：
1
1
作者
卓平欢
机构
广东省半导体产业技术研究院
出处
《材料研究与应用》
CAS
2020年第1期51-54,共4页
文摘
随着国内半导体器件技术不断发展和广泛应用,使得洁净车间空调系统的节能成为关注和研究的焦点问题.通过对半导体器件生产车间空调系统的特点进行了分析,并以某工程为例,说明该类空调系统能耗大的现状.在此分析基础上,从将室外新风与室内回风分离、调节减小系统送风量,利用变频技术优化控制系统及运行管理等方面,提出解决洁净系统运行节能的思路及措施.
关键词
半导体器件生产生间
洁净空调系统
风量
节能
Keywords
semiconductor device production room
clean air conditioning system
air volume
energy saving
分类号
TU83 [建筑科学—供热、供燃气、通风及空调工程]
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作者
出处
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1
半导体器件生产车间通风洁净空调系统节能分析
卓平欢
《材料研究与应用》
CAS
2020
1
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