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非正态分布工艺参数工序能力指数分析
被引量：
4
1
作者
贾新章
宋军建
蒲建斌
《西安电子科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第1期13-15,46,共4页
半导体器件生产中,有些工艺参数为非正态分布,如果采用常规方法计算其工序能力指数,评价生产工艺水平,将可能导致错误的结论.因此提出了一种非正态分布工艺参数计算方法,并开发了相应的软件,可以分析计算非正态分布工艺参数的工序能力...
半导体器件生产中,有些工艺参数为非正态分布,如果采用常规方法计算其工序能力指数,评价生产工艺水平,将可能导致错误的结论.因此提出了一种非正态分布工艺参数计算方法,并开发了相应的软件,可以分析计算非正态分布工艺参数的工序能力指数和工艺不合格品率.
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关键词
半导体器件生产
工序能力指数
成品率
正态分布
非正态分布
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职称材料
题名
非正态分布工艺参数工序能力指数分析
被引量：
4
1
作者
贾新章
宋军建
蒲建斌
机构
西安电子科技大学微电子所
出处
《西安电子科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第1期13-15,46,共4页
基金
重点实验室基金资助项目(514330501)
文摘
半导体器件生产中,有些工艺参数为非正态分布,如果采用常规方法计算其工序能力指数,评价生产工艺水平,将可能导致错误的结论.因此提出了一种非正态分布工艺参数计算方法,并开发了相应的软件,可以分析计算非正态分布工艺参数的工序能力指数和工艺不合格品率.
关键词
半导体器件生产
工序能力指数
成品率
正态分布
非正态分布
Keywords
process capability index
yield
normal distribution
non-normal distribution
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
非正态分布工艺参数工序能力指数分析
贾新章
宋军建
蒲建斌
《西安电子科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004
4
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