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题名大数据分析在半导体可靠性研究中的应用
被引量：1
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作者
周柯
尹彬锋
高金德
王继华
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机构
上海华力微电子有限公司
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出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第12期954-959,共6页
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文摘
常规复杂耗时的工艺可靠性评估已经成为开发先进工艺的瓶颈问题,为了满足技术开发对可靠性性能的更高要求,提出利用"大数据"的概念,以数据库为手段的一种有效的分析处理流程。通过这种分析方法,可以使滞后、浪费成本的"事后"评估变成有效的"事前"控制,及时发现并改善可靠性问题。研究中通过实例说明该方法可以使可靠性测试评估更高效,进一步解释它对于快速发现并改善工艺缺陷的作用,同时该方法还能对优化电路设计避免可靠性问题提供参考。可以得出,通过对大量有效数据的分析处理,最大程度地挖掘各数据库的价值和相关性,可以协助产品品质和可靠性得到不断提升。
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关键词
大数据
半导体可靠性
统计分析
工艺改善
设计优化
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Keywords
big data
semiconductor reliability
statistical analysis
process improvement
design optimization
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分类号
TN406
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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