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阻变存储阵列的自动化测试系统
被引量：
3
1
作者
董大年
汪毓铎
+3 位作者
吕杭炳
姚志宏
冯雪
余兆安
《半导体技术》
CSCD
北大核心
2017年第12期956-959,共4页
阻变存储器(RRAM)是一种新型的不挥发存储技术,研究阻变存储器阵列规模的存储性能以及可靠性问题是推进RRAM实用化的关键。目前通用的基于微控探针台的半导体参数分析的常规测量系统无法完成对阵列的自动化测试。利用半导体参数分析仪(4...
阻变存储器(RRAM)是一种新型的不挥发存储技术,研究阻变存储器阵列规模的存储性能以及可靠性问题是推进RRAM实用化的关键。目前通用的基于微控探针台的半导体参数分析的常规测量系统无法完成对阵列的自动化测试。利用半导体参数分析仪(4200-SCS)、开关矩阵以及相关外围电路搭建了一套针对阻变存储阵列的自动测试系统,实现了1Mbit RRAM芯片的初始阻态分布的读取、初始化测试、存储单元的自动化编程/擦除操作。测试结果表明,该测试系统可以实现阻变存储阵列的自动化测试,为进一步工艺参数和编程算法的优化设计奠定基础。
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关键词
阻变存储(RRAM)阵列
半导体参数分析仪
自动测试系统
可靠性
开关矩阵
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职称材料
题名
阻变存储阵列的自动化测试系统
被引量：
3
1
作者
董大年
汪毓铎
吕杭炳
姚志宏
冯雪
余兆安
机构
北京信息科技大学信息与通信工程学院
中国科学院微电子研究所微电子器件与集成技术重点实验室
出处
《半导体技术》
CSCD
北大核心
2017年第12期956-959,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(61522408)
文摘
阻变存储器(RRAM)是一种新型的不挥发存储技术,研究阻变存储器阵列规模的存储性能以及可靠性问题是推进RRAM实用化的关键。目前通用的基于微控探针台的半导体参数分析的常规测量系统无法完成对阵列的自动化测试。利用半导体参数分析仪(4200-SCS)、开关矩阵以及相关外围电路搭建了一套针对阻变存储阵列的自动测试系统,实现了1Mbit RRAM芯片的初始阻态分布的读取、初始化测试、存储单元的自动化编程/擦除操作。测试结果表明,该测试系统可以实现阻变存储阵列的自动化测试,为进一步工艺参数和编程算法的优化设计奠定基础。
关键词
阻变存储(RRAM)阵列
半导体参数分析仪
自动测试系统
可靠性
开关矩阵
Keywords
resistive random access memory （RRAM） array
semiconductor parameter analyzer
automatic test system
reliability
switch matrix
分类号
TN407 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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作者
出处
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被引量
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1
阻变存储阵列的自动化测试系统
董大年
汪毓铎
吕杭炳
姚志宏
冯雪
余兆安
《半导体技术》
CSCD
北大核心
2017
3
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