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OTS修饰的不同厚度酞菁铜OTFT的研究 被引量:2
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作者 刘向 刘惠 薛钰芝 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2009年第1期66-70,共5页
用十八烷基三氯硅烷(OTS)修饰了不同厚度的酞菁铜(CuPc)有机薄膜晶体管器件,对比酞菁铜厚度为15、40、80nm的3种器件性能后,得到40nm的酞菁铜器件具有最高载流子迁移率。分析了OTS修饰的绝缘层表面对器件性能的影响,得到的40nm厚度酞菁... 用十八烷基三氯硅烷(OTS)修饰了不同厚度的酞菁铜(CuPc)有机薄膜晶体管器件,对比酞菁铜厚度为15、40、80nm的3种器件性能后,得到40nm的酞菁铜器件具有最高载流子迁移率。分析了OTS修饰的绝缘层表面对器件性能的影响,得到的40nm厚度酞菁铜器件载流子迁移率为4.3×10-3cm2/V.s,阈值电压为-9.5V。 展开更多
关键词 酞菁铜 半导体厚度 载流子迁移率
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