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1
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半导体制造设备自动化作业系统设计与实现 |
黄浩
杨勇
周时宇
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《中国集成电路》
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2024 |
3
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2
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半导体制造设备自动化作业系统设计研究 |
刘乐
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《通讯世界》
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2024 |
0 |
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3
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半导体自动涂胶显影技术及设备研究 |
黄华佑
杨丹
李运泉
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《电子工业专用设备》
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2025 |
0 |
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4
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一种半导体设备的软件自动化测试平台设计 |
宫晨
付纯鹤
郑佳晶
高荣荣
张叶
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《电子工业专用设备》
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2024 |
0 |
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5
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中艺：致力于半导体自动化生产设备的设计、研发和制造 |
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《集成电路应用》
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2012 |
0 |
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6
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星曜半导体5G射频滤波器芯片晶圆产线项目投产 |
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《中国集成电路》
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2025 |
0 |
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7
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半导体晶圆制造中的设备效率和设备能力 |
梁静
钱省三
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《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
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2004 |
6
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8
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半导体晶圆制造中组合设备运行和控制综述 |
闵雁
伍乃骐
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《工业工程》
北大核心
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2012 |
8
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9
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ASYST—加强中国半导体设备自动化市场领导地位 |
张伟
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《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
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2003 |
0 |
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10
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国外半导体制造设备市场 |
童志义
葛劢冲
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《电子工业专用设备》
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2005 |
5
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11
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半导体制造中的设备效率(OEE) |
梁静
钱省三
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《电子工业专用设备》
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2004 |
3
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12
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自动化生产设备在机械设计制造中的应用研究 |
窦玉瑾
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《造纸装备及材料》
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2024 |
3
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13
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自动化机械设备研发设计及制造流程与要点研究 |
杨银华
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《造纸装备及材料》
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2024 |
1
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14
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远望自动：产品覆盖汽车、半导体封测及非标自动化设备领域 |
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《集成电路应用》
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2012 |
0 |
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15
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半导体设备中的晶圆搬运机械手应用综述 |
吴天尧
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《集成电路应用》
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2024 |
1
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16
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关于发展我国半导体设备制造业的思考 |
王勃华
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《集成电路应用》
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2003 |
2
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17
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数字孪生在半导体测试设备中的实践 |
祁建华
马诗旻
何桂玲
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《电子技术应用》
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2024 |
0 |
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18
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江苏南通将建设10条自动化半导体设备产线,10亿元涌固半导体设备研发生产项目开工 |
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《中国集成电路》
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2020 |
0 |
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19
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半导体专用设备数字制造浅谈 |
杜海文
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《中国电子科学研究院学报》
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2006 |
0 |
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20
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安森美半导体用于办公自动化设备应用的高能效步进电机驱动器方案 |
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《中国集成电路》
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2013 |
0 |
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