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2004年第1季度各地区半导体制造设备市场的发货金额: 1; 《液晶与显示》 CAS CSCD 2004年第4期273-273,共1页; 关键词半导体制造设备市场发货金额市场统计欧洲日本韩国; 在线阅读下载PDF 职称材料

平面二自由度并联执行机构的设计与实现被引量：1: 2; 作者吴学忠吴宇列李圣怡《国防科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第1期40-43,共4页; 介绍了作者研制的一种用于半导体制造设备上的x-y并联执行机构。通过增加一个冗余运动链 ,使得该机构在工作空间内没有奇异点。该机构的最大特点是可以大大减少现有机构的体积 ,并具有较高的刚度 ,可以在高速运动条件下具有较高的运动... 展开更多; 关键词平面二自由度并联执行机构奇异性冗余设计半导体制造设备; 在线阅读下载PDF 职称材料

新型焊头结构与运动机构的研究及开发被引量：1: 3; 作者袁清珂唐鹏 +1 位作者骆少明曾德东《四川大学学报（工程科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期182-186,共5页; 为实现LED芯片键合机对芯片的高速高精确地拾取、传送和粘贴等功能,本文综合运用曲柄摇杆机构和偏心轮机构开发了一种新型焊头结构与运动机构。首先,分析了焊头总成的工作过程和要求,研究了焊头机构的工作原理,设计了曲柄摇杆结构的运... 展开更多; 关键词半导体设备制造产品开发机构运动学焊头机构; 在线阅读下载PDF 职称材料

焊头机构运动建模与仿真技术的研究被引量：1: 4; 作者袁清珂刘大慧 +1 位作者曾德东颜旭晖《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第2期317-320,共4页; 为了开发高速高精度焊头机构,确保全自动LED键合机的整机性能,在完成运动方案和结构参数设计后,研究了运用Pro/Engineer运动仿真模块Mechanism/Pro对整个焊头机构进行运动建模的技术与方法,包括机构模型创建、驱动控制等,进行了机构运... 展开更多; 关键词键合机产品开发焊头机构运动学半导体设备制造虚拟样机; 在线阅读下载PDF 职称材料

美国应用材料公司西安全球开发中心4月11日开工奠基: 5; 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2006年第5期397-398,共2页; 4月11日，美国应用材料公司西安全球开发中心在西安高新区举行隆重的开工奠基仪式。据了解，此次奠基的美国应用材料西安半导体全球开发中心总面积10600平方米，能够容纳500名员工工作，是200mm半导体制造设备的全球服务中心。这个中心... 展开更多; 关键词应用材料公司全球西安开发美国开工半导体制造设备服务中心软件支持业务提供; 在线阅读下载PDF 职称材料

非磁性耐蚀钛合金轴承: 6; 作者张小明《稀有金属快报》 CSCD 2005年第1期40-40,共1页; 近年来,随着IT技术的进步,半导体的集成度年年增加,纳米级晶片的加工技术和检验技术也越来越重要.在传统的半导体晶片的加工和检验中使用的是激光技术,为了适应高密度化,目前正在开发使用波长更短的电子束的半导体制造设备.; 关键词半导体晶片半导体制造设备激光技术高密度化集成度电子束纳米级耐蚀钛合金轴承磁性; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名2004年第1季度各地区半导体制造设备市场的发货金额: 1; 出处《液晶与显示》 CAS CSCD 2004年第4期273-273,共1页; 关键词半导体制造设备市场发货金额市场统计欧洲日本韩国; 分类号 F764.6 [经济管理—产业经济]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名平面二自由度并联执行机构的设计与实现被引量：1: 2; 作者吴学忠吴宇列李圣怡; 机构国防科技大学机电工程与自动化学院; 出处《国防科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第1期40-43,共4页; 基金海外青年学者合作研究基金! (5 0 0 2 95 0 1); 文摘介绍了作者研制的一种用于半导体制造设备上的x-y并联执行机构。通过增加一个冗余运动链 ,使得该机构在工作空间内没有奇异点。该机构的最大特点是可以大大减少现有机构的体积 ,并具有较高的刚度 ,可以在高速运动条件下具有较高的运动精度和跟踪性能。实验结果表明 ,该系统的轨迹跟踪误差均低于 0 5mm。; 关键词平面二自由度并联执行机构奇异性冗余设计半导体制造设备; Keywords parallel manipulator singularity redundancy; 分类号 TH112 [机械工程—机械设计及理论] TN305 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名新型焊头结构与运动机构的研究及开发被引量：1: 3; 作者袁清珂唐鹏骆少明曾德东; 机构广东工业大学机电工程学院; 出处《四川大学学报（工程科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期182-186,共5页; 基金国家863计划资助项目(2002AA415190) 广东省科技计划资助项目(2008B010400011 +1 种基金 2009B090300340) 广州市科技计划项目(2008Z1-D371); 文摘为实现LED芯片键合机对芯片的高速高精确地拾取、传送和粘贴等功能,本文综合运用曲柄摇杆机构和偏心轮机构开发了一种新型焊头结构与运动机构。首先,分析了焊头总成的工作过程和要求,研究了焊头机构的工作原理,设计了曲柄摇杆结构的运动参数,开发了端面偏心轮机构,讨论了焊头机构的运动时间序列。接着,应用pro/Engineer进行了零件和机构总成的结构设计,运用M echan ism/Pro建立了机构运动模型、驱动模型,实现了机构的运动仿真,分析了仿真结果,优化了焊头结构和机构参数。最后,通过实物样机的实际测试,验证了设计开发和仿真模型的正确性,所开发的焊头机构已成功应用于设备生产,提高了整机性能。; 关键词半导体设备制造产品开发机构运动学焊头机构; Keywords semiconductor device manufacture product development mechanism kinematics head mechanism; 分类号 TN305 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名焊头机构运动建模与仿真技术的研究被引量：1: 4; 作者袁清珂刘大慧曾德东颜旭晖; 机构广东工业大学机电工程学院; 出处《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第2期317-320,共4页; 基金国家863计划(2002AA415190) 广东省科技计划(2008B010400011) +1 种基金 2006168201); 文摘为了开发高速高精度焊头机构,确保全自动LED键合机的整机性能,在完成运动方案和结构参数设计后,研究了运用Pro/Engineer运动仿真模块Mechanism/Pro对整个焊头机构进行运动建模的技术与方法,包括机构模型创建、驱动控制等,进行了机构运动仿真;并对仿真结果进行了分析,验证了所设计的焊头机构的可行性和合理性。成功地将设计出的焊头机构应用到整机设备开发,满足了整机功能和性能的要求。该设备已投入实际生产运行。; 关键词键合机产品开发焊头机构运动学半导体设备制造虚拟样机; Keywords die bonder dynamics product development head mechanism kinematics semiconductor device manufacture virtual prototyping; 分类号 TP391.9 [自动化与计算机技术—计算机应用技术] TH122 [机械工程—机械设计及理论]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名美国应用材料公司西安全球开发中心4月11日开工奠基: 5; 出处《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2006年第5期397-398,共2页; 文摘 4月11日，美国应用材料公司西安全球开发中心在西安高新区举行隆重的开工奠基仪式。据了解，此次奠基的美国应用材料西安半导体全球开发中心总面积10600平方米，能够容纳500名员工工作，是200mm半导体制造设备的全球服务中心。这个中心将于明年初建成，主要为应用材料公司遍布世界各地的业务提供工程和软件支持。; 关键词应用材料公司全球西安开发美国开工半导体制造设备服务中心软件支持业务提供; 分类号 TN305 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名非磁性耐蚀钛合金轴承: 6; 作者张小明; 出处《稀有金属快报》 CSCD 2005年第1期40-40,共1页; 文摘近年来,随着IT技术的进步,半导体的集成度年年增加,纳米级晶片的加工技术和检验技术也越来越重要.在传统的半导体晶片的加工和检验中使用的是激光技术,为了适应高密度化,目前正在开发使用波长更短的电子束的半导体制造设备.; 关键词半导体晶片半导体制造设备激光技术高密度化集成度电子束纳米级耐蚀钛合金轴承磁性; 分类号 TG146.23 [金属学及工艺—金属材料] TN305 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	2004年第1季度各地区半导体制造设备市场的发货金额		《液晶与显示》 CAS CSCD	2004	0	在线阅读下载PDF 职称材料
2	平面二自由度并联执行机构的设计与实现	吴学忠吴宇列李圣怡	《国防科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2001	1	在线阅读下载PDF 职称材料
3	新型焊头结构与运动机构的研究及开发	袁清珂唐鹏骆少明曾德东	《四川大学学报（工程科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心	2009	1	在线阅读下载PDF 职称材料
4	焊头机构运动建模与仿真技术的研究	袁清珂刘大慧曾德东颜旭晖	《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2009	1	在线阅读下载PDF 职称材料
5	美国应用材料公司西安全球开发中心4月11日开工奠基		《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心	2006	0	在线阅读下载PDF 职称材料
6	非磁性耐蚀钛合金轴承	张小明	《稀有金属快报》 CSCD	2005	0	在线阅读下载PDF 职称材料