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聚焦离子束沉积铂纳米导线的电学失效机理
1
作者
瞿敏妮
乌李瑛
+4 位作者
黄胜利
凌天宇
沈贇靓
权雪玲
王英
《半导体技术》
CAS
北大核心
2021年第5期382-387,共6页
研究了聚焦离子束(FIB)沉积Pt纳米导线的电学失效行为及其机理。FIB沉积Pt纳米导线在集成电路修复和微型电极制备等领域有重要应用,其电学特性及失效行为研究对器件结构设计及性能测试具有重要意义。直流电学测试中电压接近9 V时,电流...
研究了聚焦离子束(FIB)沉积Pt纳米导线的电学失效行为及其机理。FIB沉积Pt纳米导线在集成电路修复和微型电极制备等领域有重要应用,其电学特性及失效行为研究对器件结构设计及性能测试具有重要意义。直流电学测试中电压接近9 V时,电流快速上升并发生断路。经扫描电子显微镜(SEM)和原位X射线能谱(EDS)分析发现,断路后Pt纳米导线中有球状结构析出,球状结构中Pt与C的原子数分数之比是原始薄膜中的4倍,周围物质变得疏松甚至发生局部断裂,且Pt的原子数分数降低,从而形成不导电结构。进一步对样品进行升温电学测试,结果表明,在120℃以上Pt纳米导线在内部电流与外部加热共同作用下发生Pt晶粒生长及团聚,使Pt空缺的间隙变大,从而造成Pt纳米导线的电学失效。
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关键词
聚焦离子束(FIB)
铂纳米导线
电学
失效
铂晶粒团聚
升温电学测试
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职称材料
题名
聚焦离子束沉积铂纳米导线的电学失效机理
1
作者
瞿敏妮
乌李瑛
黄胜利
凌天宇
沈贇靓
权雪玲
王英
机构
上海交通大学电子信息与电气工程学院先进电子材料与器件平台
出处
《半导体技术》
CAS
北大核心
2021年第5期382-387,共6页
基金
2018年度上海研发公共服务平台建设资助项目(18DZ2295400)
上海交通大学决策咨询课题资助项目(JCZXSJB2020-010,JCZXSJB2019-005)。
文摘
研究了聚焦离子束(FIB)沉积Pt纳米导线的电学失效行为及其机理。FIB沉积Pt纳米导线在集成电路修复和微型电极制备等领域有重要应用,其电学特性及失效行为研究对器件结构设计及性能测试具有重要意义。直流电学测试中电压接近9 V时,电流快速上升并发生断路。经扫描电子显微镜(SEM)和原位X射线能谱(EDS)分析发现,断路后Pt纳米导线中有球状结构析出,球状结构中Pt与C的原子数分数之比是原始薄膜中的4倍,周围物质变得疏松甚至发生局部断裂,且Pt的原子数分数降低,从而形成不导电结构。进一步对样品进行升温电学测试,结果表明,在120℃以上Pt纳米导线在内部电流与外部加热共同作用下发生Pt晶粒生长及团聚,使Pt空缺的间隙变大,从而造成Pt纳米导线的电学失效。
关键词
聚焦离子束(FIB)
铂纳米导线
电学
失效
铂晶粒团聚
升温电学测试
Keywords
focused ion beam(FIB)
Pt nanowire
electrical failure
Pt grain agglomeration
heating electrical test
分类号
TN406 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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作者
出处
发文年
被引量
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1
聚焦离子束沉积铂纳米导线的电学失效机理
瞿敏妮
乌李瑛
黄胜利
凌天宇
沈贇靓
权雪玲
王英
《半导体技术》
CAS
北大核心
2021
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