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基于柔性材料的热式MEMS医用输液流量传感器的研发
被引量：
3
1
作者
杨文豪
陈刚荣
胡泓
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2023年第7期83-86,共4页
提出了一种新型的基于柔性基底的用于测量输液速度的热式微机电系统(MEMS)流量传感器。传感器由树脂打印的外壳、柔性元件以及外部电路组成。应用热损失原理,通过控制电路使发热镍(Ni)线恒温工作,通过测温Ni线检测发热Ni线上游的温度变...
提出了一种新型的基于柔性基底的用于测量输液速度的热式微机电系统(MEMS)流量传感器。传感器由树脂打印的外壳、柔性元件以及外部电路组成。应用热损失原理,通过控制电路使发热镍(Ni)线恒温工作,通过测温Ni线检测发热Ni线上游的温度变化来反映输液流速。首先,对传感器进行了仿真验证,确定传感器关键参数。使用光刻、磁控溅射等技术在聚酰亚胺(PI)基底上加工Ni线并在表面镀了一层派瑞林来进行防水处理。传感器核心元件尺寸为1 cm×2 cm,封装后的尺寸为6 cm×2 cm。使用不同温度的生理盐水对传感器进行了标定,在热源温度50℃时,其精度可达5 mL/h,量程可达300 mL/h,满足日常输液使用。
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关键词
微机电系统
医用流量传感器
柔性材料
热损失
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职称材料
题名
基于柔性材料的热式MEMS医用输液流量传感器的研发
被引量：
3
1
作者
杨文豪
陈刚荣
胡泓
机构
哈尔滨工业大学(深圳)机电工程与自动化学院
中国科学院光电技术研究所
出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2023年第7期83-86,共4页
基金
深圳市科技计划资助项目(JSGG20201201100401004)。
文摘
提出了一种新型的基于柔性基底的用于测量输液速度的热式微机电系统(MEMS)流量传感器。传感器由树脂打印的外壳、柔性元件以及外部电路组成。应用热损失原理,通过控制电路使发热镍(Ni)线恒温工作,通过测温Ni线检测发热Ni线上游的温度变化来反映输液流速。首先,对传感器进行了仿真验证,确定传感器关键参数。使用光刻、磁控溅射等技术在聚酰亚胺(PI)基底上加工Ni线并在表面镀了一层派瑞林来进行防水处理。传感器核心元件尺寸为1 cm×2 cm,封装后的尺寸为6 cm×2 cm。使用不同温度的生理盐水对传感器进行了标定,在热源温度50℃时,其精度可达5 mL/h,量程可达300 mL/h,满足日常输液使用。
关键词
微机电系统
医用流量传感器
柔性材料
热损失
Keywords
MEMS
medical flow sensor
flexible materials
heat loss
分类号
TP212.3 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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作者
出处
发文年
被引量
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1
基于柔性材料的热式MEMS医用输液流量传感器的研发
杨文豪
陈刚荣
胡泓
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2023
3
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