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题名基于单壁碳纳米管的压阻式柔性传感器
被引量：6
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作者
郑富中
吴英
张杰
杨兴
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机构
四川轻化工大学机械工程学院
清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室
重庆科技学院智能技术与工程学院
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2019年第7期1009-1015,共7页
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基金
四川省重点实验室开放基金项目(2018CL03)
北京市国家自然科学基金项目(L172040)
重庆市基础科学与前沿技术研究专项项目(cstc2018jcyjAX0519)
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文摘
一维纳米材料与微结构结合的纳器件制造过程,实现了微纳加工工艺上的创新升级,有可能突破微米级器件的性能极限。首先利用传统的硅微加工技术,在综合性能优异的聚酰亚胺PI(Polyimide)薄膜上制作金(Au)微电极,形成排列有序的平行电极对;然后通过交流介电电泳的方法在微电极对间实现单壁碳纳米管SWNTs(Single-Walled Carbon Nanotubes)一维定向排布;接着采用区域选择性电沉积技术定域沉积Au压覆SWNTs,改善SWNTs与电极的接触特性。最后,针对基于SWNTs的柔性微纳传感器进行了力电特性测试。结果表明:在环境温度为(23±5)℃,湿度为65±15%RH,0.1 V工作电压下,压阻因子约为443,精度约为5.16%。上述研究结果在柔性微纳器件的制作方面显示了一定的应用前景,为实现超微型化和高功能密度化的柔性器件铺平道路。
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关键词
柔性传感器
单壁碳纳米管
介电电泳
区域选择性电沉积au
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Keywords
dielectrophoresis
regional selective electrodeposition
flexible sensor
single-walled carbon nanotubes
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分类号
TH823
[机械工程—精密仪器及机械]
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